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高透过率镜片真空镀膜设备的制作方法

2022-11-16 07:34:31 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体是高透过率镜片真空镀膜设备。


背景技术:

2.镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面。
3.但是,现有的真空镀膜设备在进行对要镀膜物品进行安装时,由于真空室内部空间狭小,在进行安装镀膜物品进行安装时导致安装过于繁琐,且设备在进行工作时,无法提高镀膜高透过率镜片的加工效率,导致设备在进行蒸发电束管对设备进行镀膜时无法对镀膜物品进行一定的翻转工作来增加设备的工作效率,因此,针对上述问题提出高透过率镜片真空镀膜设备。


技术实现要素:

4.为了弥补现有技术的不足,解决真空镀膜设备在进行对要镀膜物品进行安装时,由于真空室内部空间狭小,在进行安装镀膜物品进行安装时导致安装过于繁琐,且设备在进行工作时,无法提高镀膜高透过率镜片的加工效率,导致设备在进行蒸发电束管对设备进行镀膜时无法对镀膜物品进行一定的翻转工作来增加设备的工作效率的问题,本实用新型提出高透过率镜片真空镀膜设备。
5.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:本实用新型所述的高透过率镜片真空镀膜设备,包括安装底座和设置在安装底座上方的调节机构,所述调节机构包括转动组件和夹持组件;
6.所述转动组件包括连接滑板、第二螺纹轴和连接凹槽,所述安装底座的内部设置有连接凹槽,所述连接凹槽,的内部转动连接有第二螺纹轴,所述第二螺纹轴的内部转动连接滑板;
7.所述夹持组件包括连接转盘、固定座、第二转动机、第一夹板、第二夹板、连接卡槽、弹簧和第二轴承,所述连接滑板的上方固定连接有连接转盘,所述连接转盘的外壁固定连接有固定座,所述固定座的右壁固定连接有第二转动机,所述第二转动机的内部转动连接有第二夹板,所述固定座的左壁固定连接有第二轴承,所述第二轴承的内部固定连接有弹簧,所述弹簧的一端固定连接有第一夹板,所述第一夹板的内部设置有连接卡槽。
8.优选的,所述安装底座的表面固定连接有真空室,所述真空室的内部转动连接有转轴,所述转轴的内部固定连接有保护盖,所述保护盖的内部转动连接有第一螺纹轴,所述真空室的上端固定连接有顶盖,所述顶盖的内部固定连接有第一转动机,所述第一转动机的内部转动连接有连接轴,所述连接轴内部转动连接有蒸发电束管,所述连接轴的下端转动连接有第一轴承,所述保护盖的内壁设置有橡胶板。
9.优选的,所述连接滑板通过第二螺纹轴与连接凹槽之间构成滑动结构。
10.优选的,所述第一夹板通过弹簧与固定座构成弹性结构,所述第一夹板通过第二轴承与固定座之间为转动连接。
11.优选的,所述第二夹板与第二转动机为转动连接,所述第一夹板与第二夹板之间紧密贴合,所述第一夹板与第二夹板内部设置一组连接卡槽。
12.优选的,所述连接转盘通过连接轴和第一轴承与连接滑板之间为转动连接,所述蒸发电束管通过连接轴与第一转动机之间为转动连接。
13.优选的,所述保护盖通过转轴与真空室之间为转动连接,所述保护盖的内壁设置一组橡胶板,所述保护盖通过第一螺纹轴与真空室之间为固定连接。
14.本实用新型的有益之处在于:
15.1.本实用新型通过设置连接凹槽,在设备进行工作时,为了避免设备在进行对需要进行镀膜的物品在放入真空室中之间造成的不方便,安装的连接滑板可以通过第二螺纹轴与连接凹槽之间进行一定的滑动工作,便于对真空室内部的连接滑板进行一定的滑动排出,便于在进行镀膜物品安装时更加的快捷方便;
16.2.本实用新型通过设置连接卡槽,安装的第二夹板与第二转动机为转动连接,然后第一夹板通过弹簧与第二夹板之间紧密贴合吗,最后第一夹板与第二夹板内部设置一组连接卡槽将镀膜物品进行卡合固定,然后第二夹板与第二转动机为转动连接进行设备的翻转工作调节,提高设备的镀膜效率。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
18.图1为本实用新型的整体结构示意图;
19.图2为本实用新型的真空室内部结构示意图;
20.图3为本实用新型的顶盖内部结构示意图;
21.图4为本实用新型的固定座结构示意图。
22.图中:1、安装底座;2、真空室;3、顶盖;4、转轴;5、保护盖;6、第一螺纹轴;7、橡胶板;8、连接轴;9、连接转盘;10、第一轴承;11、连接滑板;12、第二螺纹轴;13、连接凹槽;14、第一转动机;15、蒸发电束管;16、固定座;17、第二转动机;18、第一夹板;19、第二夹板;20、连接卡槽;21、弹簧;22、第二轴承。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
24.实施例一
25.请参阅图1-4所示,高透过率镜片真空镀膜设备,包括安装底座1和设置在安装底座1上方的调节机构,调节机构包括转动组件和夹持组件;
26.转动组件包括连接滑板11、第二螺纹轴12和连接凹槽13,安装底座1的内部设置有连接凹槽13,连接凹槽13,的内部转动连接有第二螺纹轴12,第二螺纹轴12的内部转动连接滑板11;
27.夹持组件包括连接转盘9、固定座16、第二转动机17、第一夹板18、第二夹板19、连接卡槽20、弹簧21和第二轴承22,连接滑板11的上方固定连接有连接转盘9,连接转盘9的外壁固定连接有固定座16,固定座16的右壁固定连接有第二转动机17,第二转动机17的内部转动连接有第二夹板19,固定座16的左壁固定连接有第二轴承22,第二轴承22的内部固定连接有弹簧21,弹簧21的一端固定连接有第一夹板18,第一夹板18的内部设置有连接卡槽20。
28.进一步的,连接滑板11通过第二螺纹轴12与连接凹槽13之间构成滑动结构,在设备进行工作时,为了避免设备在进行对需要进行镀膜的物品在放入真空室2中之间造成的不方便,安装的连接滑板11可以通过第二螺纹轴12与连接凹槽13之间进行一定的滑动工作,便于对真空室2内部的连接滑板11进行一定的滑动排出,便于在进行镀膜物品安装时更加的快捷方便。
29.进一步的,第一夹板18通过弹簧21与固定座16构成弹性结构,所述第一夹板18通过第二轴承22与固定座16之间为转动连接,安装的第一夹板18可以通过弹簧21与固定座16构成的弹性结构进行一定的收缩工作,然后第一夹板18可以通过第二轴承22与固定座16之间为转动连接进行设备的翻转工作调节。
30.进一步的,第二夹板19与第二转动机17为转动连接,所述第一夹板18与第二夹板19之间紧密贴合,所述第一夹板18与第二夹板19内部设置一组连接卡槽20,安装的第二夹板19与第二转动机17为转动连接,然后第一夹板18通过弹簧21与第二夹板19之间紧密贴合吗,最后第一夹板18与第二夹板19内部设置一组连接卡槽20将镀膜物品进行卡合固定,然后第二夹板19与第二转动机17为转动连接进行设备的翻转工作调节,提高设备的镀膜效率。
31.实施例二
32.请参阅图1和图4所示,对比实施例一,作为本实用新型的另一种实施方式,安装底座1的表面固定连接有真空室2,真空室2的内部转动连接有转轴4,转轴4的内部固定连接有保护盖5,保护盖5的内部转动连接有第一螺纹轴6。真空室2的上端固定连接有顶盖3,顶盖3的内部固定连接有第一转动机14,第一转动机14的内部转动连接有连接轴8,连接轴8内部转动连接有蒸发电束管15,连接轴8的下端转动连接有第一轴承10,保护盖5的内壁设置有橡胶板7。
33.进一步的,连接转盘9通过连接轴8和第一轴承10与连接滑板11之间为转动连接,所述蒸发电束管15通过连接轴8与第一转动机14之间为转动连接,安装的蒸发电束管15通过连接轴8与第一转动机14之间为转动连接工作时,连接转盘9可以通过连接轴8和第一轴承10与连接滑板11之间进行转动工作,保证设备在进行镀膜时更加的高效,且蒸发电束管15可以在高温下蒸发落在工件表面结晶对膜体进行镀膜工作。
34.进一步的,保护盖5通过转轴4与真空室2之间为转动连接,所述保护盖5的内壁设
置一组橡胶板7,所述保护盖5通过第一螺纹轴6与真空室2之间为固定连接,安装的保护盖5通过转轴4与真空室2之间为转动连接,然后通过第一螺纹轴6与真空室2之间为固定连接,且保护盖5的内壁设置一组橡胶板7保证设备内部的密封性。
35.工作原理,首先,对设备进行一定的调节工作,安装的连接滑板11可以通过第二螺纹轴12与连接凹槽13之间进行一定的滑动工作,便于对真空室2内部的连接滑板11进行一定的滑动排出,便于在进行镀膜物品安装时更加的快捷方便,然后对膜体进行加工固定,安装的第一夹板18可以通过弹簧21与固定座16构成的弹性结构进行一定的收缩工作,然后第一夹板18可以通过第二轴承22与固定座16之间为转动连接进行设备的翻转工作调节,然后安装的第二夹板19与第二转动机17为转动连接,然后第一夹板18通过弹簧21与第二夹板19之间紧密贴合吗,最后第一夹板18与第二夹板19内部设置一组连接卡槽20将镀膜物品进行卡合固定,然后第二夹板19与第二转动机17为转动连接进行设备的翻转工作调节,提高设备的镀膜效率。
36.最后,对设备进行一定的转动式镀膜工作,安装的蒸发电束管15通过连接轴8与第一转动机14之间为转动连接工作时,连接转盘9可以通过连接轴8和第一轴承10与连接滑板11之间进行转动工作,保证设备在进行镀膜时更加的高效,且蒸发电束管15可以在高温下蒸发落在工件表面结晶对膜体进行镀膜工作,然后安装的保护盖5通过转轴4与真空室2之间为转动连接,然后通过第一螺纹轴6与真空室2之间为固定连接,且保护盖5的内壁设置一组橡胶板7保证设备内部的密封性。
37.在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
38.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
再多了解一些

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