一种大平面龙门式修盘机的制作方法

1.本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，特别涉及一种大平面龙门式修盘机。


背景技术：

2.半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,对科技与经济发展都非常重要。
3.化学机械抛光技术是目前能实现集成电路制造中晶圆表面全局平坦化的唯一技术，化学机械抛光的效果直接影响到芯片最终的质量和成本,结合研磨抛光液的研磨，逐渐使半导体晶圆达到理想的平坦化,由于在研磨过程中，盘面也逐渐消耗，当研磨到一定程度后，盘面状况发生改变，从而需要对下盘盘面进行修整，对下盘盘面修整的设备就是修盘机。
4.在实际使用过程中，要保证优良的修盘质量，必须保证修盘机的导轨和导轨臂直线度稳定,目前常用的研磨设备下盘直径大约在2m到3m之间，这就意味着，在实际的修盘过程中，修盘机的悬臂最大伸长约1m左右，一方面悬臂过长自然带来悬臂的受力变形，另一方面，过长的悬臂也使修盘车刀抖动，从而导致远端修盘质量差；也会造成修盘车刀打刀，刀具的使用寿命短；另外，在修盘的过程中，由于悬臂远端和近段的悬臂变形差异，往往使研磨盘无法修成标准的盘形，如形成s盘形或凹凸盘形。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是提供一种大平面龙门式修盘机，具有使修盘机的整体稳定性得到根本性的改变,修盘时近远端的变形挠度大大降低，使修盘车刀不会再出现抖动现象的效果。
6.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种大平面龙门式修盘机，包括机架，所述机架的顶部固定连接有下调节座，所述下调节座的内部螺纹连接有调角螺丝，所述调角螺丝的外表面螺纹连接有固定螺母，所述下调节座的顶部设置有上调节座，所述上调节座的内部设置有测量头，所述上调节座的内部螺纹连接有固定螺丝，所述上调节座的顶部设置有横梁导轨，所述横梁导轨的外表面设置有移动安装平台，所述移动安装平台的底部设置有车刀，所述横梁导轨的一端转动连接有旋转销，所述横梁导轨的一侧面设置有伺服电机，所述横梁导轨的底部设置有研磨设备。
7.通过采用上述技术方案，具体工作时，可将整体修盘机构移动到合适的位置，调整好横梁导轨的水平度，使横梁导轨与研磨设备的研磨平台保持平行，然后利用专用测量工具测量研磨设备的表面平面度计算与规划详细的修盘方案，再调整横梁导轨的角度到合适的修盘角度，调整结束后，即可设定具体修盘参数，如进刀量，进给速度与下盘转速等，最后检查所有参数的初始设定，即可开始实施修盘，横梁导轨自身也是一套滑动导轨，安装在滑动导轨上的移动安装平台在伺服电机的驱动下，可以左右往复运动，当调角螺丝做出调整
时，横梁导轨可以沿旋转销在一定的角度范围内旋转，测量头为千分表，当调整调角螺丝时，千分表为调整的示值做出显示，改变原有的悬臂结构为两端支撑结构，由于其结构刚性的差异，使装置的整体稳定性得到根本性的改变，在修盘时近远端的变形挠度大大降低，使车刀不会再出现抖动现象，设备打刀的情况不再容易发生，大大提高了车刀的使用寿命，近远端的稳定性得到改善，使所修整盘面不再出现s形或凹凸型。
8.本实用新型的进一步设置为：所述机架的内壁开设有伸缩槽，所述伸缩槽的内壁固定连接有气缸，所述气缸的输出端固定连接有伸缩杆。
9.通过采用上述技术方案，工作人员在修盘使可启动气缸，使得伸缩杆在伸缩槽向外延伸。
10.本实用新型的进一步设置为：所述伸缩杆的一端固定连接有风箱，所述风箱的底部固定连接有滑块，所述伸缩槽内壁的底部固定连接有滑槽。
11.通过采用上述技术方案，带动风箱底部的滑块在滑槽内滑动，将风箱推出伸缩槽。
12.本实用新型的进一步设置为：所述风箱的内部设置有风机，所述风机的一侧面设置有进风管，所述风机的顶部设置有出风管。
13.通过采用上述技术方案，工作人员启动风机，风机内部运转驱动气流从进风管进入，再从出风管吹出。
14.本实用新型的进一步设置为：所述风箱的外表面设置有进风口，所述风箱的顶部固定连接有出风罩。
15.通过采用上述技术方案，气流从出风罩吹出，吹向研磨设备的研磨盘，从而在修盘时或者修盘结束后，对研磨设备进行散热降温，避免修盘过程中使研磨设备温度过高，使用后可将风箱收回伸缩槽。
16.本实用新型的进一步设置为：所述风箱的数量为两个，所述滑块的外表面与滑槽滑动连接。
17.通过采用上述技术方案，两个风箱同时吹风，在研磨设备的转动下，使研磨设备底部受到气流吹动的面积和范围更大。
18.本实用新型的有益效果是：
19.1、本实用新型，通过机架、下调节座、调角螺丝、固定螺母、上调节座、测量头、固定螺丝、横梁导轨、移动安装平台、车刀、旋转销、伺服电机和研磨设备之间的配合设置，能够使得本装置在使用时，具体工作时，可将整体修盘机构移动到合适的位置，调整好横梁导轨的水平度，使横梁导轨与研磨设备的研磨平台保持平行，然后利用专用测量工具测量研磨设备的表面平面度计算与规划详细的修盘方案，再调整横梁导轨的角度到合适的修盘角度，调整结束后，即可设定具体修盘参数，如进刀量，进给速度与下盘转速等，最后检查所有参数的初始设定，即可开始实施修盘，横梁导轨自身也是一套滑动导轨，安装在滑动导轨上的移动安装平台在伺服电机的驱动下，可以左右往复运动，当调角螺丝做出调整时，横梁导轨可以沿旋转销在一定的角度范围内旋转，测量头为千分表，当调整调角螺丝时，千分表为调整的示值做出显示，改变原有的悬臂结构为两端支撑结构，由于其结构刚性的差异，使装置的整体稳定性得到根本性的改变，在修盘时近远端的变形挠度大大降低，使车刀不会再出现抖动现象，设备打刀的情况不再容易发生，大大提高了车刀的使用寿命，近远端的稳定性得到改善，使所修整盘面不再出现s形或凹凸型。
20.2、本实用新型，通过伸缩槽、气缸、伸缩杆、风箱、滑块、滑槽、风机、进风管、出风管、进风口和出风罩之间的配合设置，能够使得本装置在使用时，工作人员在修盘使可启动气缸，使得伸缩杆在伸缩槽向外延伸，带动风箱底部的滑块在滑槽内滑动，将风箱推出伸缩槽，工作人员启动风机，风机内部运转驱动气流从进风管进入，再从出风管吹出，气流从出风罩吹出，吹向研磨设备的研磨盘，从而在修盘时或者修盘结束后，对研磨设备进行散热降温，避免修盘过程中使研磨设备温度过高，使用后可将风箱收回伸缩槽。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本实用新型结构示意图；
23.图2为本实用新型图1中a处的放大结构示意图；
24.图3为本实用新型图1中b处的放大结构示意图；
25.图4为本实用新型风箱结构示意图。
26.图中，1、机架；2、下调节座；3、调角螺丝；4、固定螺母；5、上调节座；6、测量头；7、固定螺丝；8、横梁导轨；9、移动安装平台；10、车刀；11、旋转销；12、伺服电机；13、研磨设备；14、伸缩槽；15、气缸；16、伸缩杆；17、风箱；18、滑块；19、滑槽；20、风机；21、进风管；22、出风管；23、进风口；24、出风罩。
具体实施方式
27.下面将结合具体实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
28.参照图1-4，一种大平面龙门式修盘机，包括机架1，机架1的顶部固定连接有下调节座2，下调节座2的内部螺纹连接有调角螺丝3，调角螺丝3的外表面螺纹连接有固定螺母4，下调节座2的顶部设置有上调节座5，上调节座5的内部设置有测量头6，上调节座5的内部螺纹连接有固定螺丝7，上调节座5的顶部设置有横梁导轨8，横梁导轨8的外表面设置有移动安装平台9，移动安装平台9的底部设置有车刀10，横梁导轨8的一端转动连接有旋转销11，横梁导轨8的一侧面设置有伺服电机12，横梁导轨8的底部设置有研磨设备13，具体工作时，可将整体修盘机构移动到合适的位置，调整好横梁导轨8的水平度，使横梁导轨8与研磨设备13的研磨平台保持平行，然后利用专用测量工具测量研磨设备13的表面平面度计算与规划详细的修盘方案，再调整横梁导轨8的角度到合适的修盘角度，调整结束后，即可设定具体修盘参数，如进刀量，进给速度与下盘转速等，最后检查所有参数的初始设定，即可开始实施修盘，横梁导轨8自身也是一套滑动导轨，安装在滑动导轨上的移动安装平台9在伺服电机12的驱动下，可以左右往复运动，当调角螺丝3做出调整时，横梁导轨8可以沿旋转销11在一定的角度范围内旋转，测量头6为千分表，当调整调角螺丝3时，千分表为调整的示值
做出显示，改变原有的悬臂结构为两端支撑结构，由于其结构刚性的差异，使装置的整体稳定性得到根本性的改变，在修盘时近远端的变形挠度大大降低，使车刀10不会再出现抖动现象，设备打刀的情况不再容易发生，大大提高了车刀10的使用寿命，近远端的稳定性得到改善，使所修整盘面不再出现s形或凹凸型，机架1的内壁开设有伸缩槽14，伸缩槽14的内壁固定连接有气缸15，气缸15的输出端固定连接有伸缩杆16，工作人员在修盘使可启动气缸15，使得伸缩杆16在伸缩槽14向外延伸，伸缩杆16的一端固定连接有风箱17，风箱17的底部固定连接有滑块18，伸缩槽14内壁的底部固定连接有滑槽19，带动风箱17底部的滑块18在滑槽19内滑动，将风箱17推出伸缩槽14，风箱17的内部设置有风机20，风机20的一侧面设置有进风管21，风机20的顶部设置有出风管22，工作人员启动风机20，风机20内部运转驱动气流从进风管21进入，再从出风管22吹出，风箱17的外表面设置有进风口23，风箱17的顶部固定连接有出风罩24，气流从出风罩24吹出，吹向研磨设备13的研磨盘，从而在修盘时或者修盘结束后，对研磨设备13进行散热降温，避免修盘过程中使研磨设备13温度过高，使用后可将风箱17收回伸缩槽14，风箱17的数量为两个，滑块18的外表面与滑槽19滑动连接，两个风箱17同时吹风，在研磨设备13的转动下，使研磨设备13底部受到气流吹动的面积和范围更大。
29.本实用新型中，通过机架1、下调节座2、调角螺丝3、固定螺母4、上调节座5、测量头6、固定螺丝7、横梁导轨8、移动安装平台9、车刀10、旋转销11、伺服电机12和研磨设备13之间的配合设置，能够使得本装置在使用时，具体工作时，可将整体修盘机构移动到合适的位置，调整好横梁导轨8的水平度，使横梁导轨8与研磨设备13的研磨平台保持平行，然后利用专用测量工具测量研磨设备13的表面平面度计算与规划详细的修盘方案，再调整横梁导轨8的角度到合适的修盘角度，调整结束后，即可设定具体修盘参数，如进刀量，进给速度与下盘转速等，最后检查所有参数的初始设定，即可开始实施修盘，横梁导轨8自身也是一套滑动导轨，安装在滑动导轨上的移动安装平台9在伺服电机12的驱动下，可以左右往复运动，当调角螺丝3做出调整时，横梁导轨8可以沿旋转销11在一定的角度范围内旋转，测量头6为千分表，当调整调角螺丝3时，千分表为调整的示值做出显示，改变原有的悬臂结构为两端支撑结构，由于其结构刚性的差异，使装置的整体稳定性得到根本性的改变，在修盘时近远端的变形挠度大大降低，使车刀10不会再出现抖动现象，设备打刀的情况不再容易发生，大大提高了车刀10的使用寿命，近远端的稳定性得到改善，使所修整盘面不再出现s形或凹凸型，通过伸缩槽14、气缸15、伸缩杆16、风箱17、滑块18、滑槽19、风机20、进风管21、出风管22、进风口23和出风罩24之间的配合设置，能够使得本装置在使用时，工作人员在修盘使可启动气缸15，使得伸缩杆16在伸缩槽14向外延伸，带动风箱17底部的滑块18在滑槽19内滑动，将风箱17推出伸缩槽14，工作人员启动风机20，风机20内部运转驱动气流从进风管21进入，再从出风管22吹出，气流从出风罩24吹出，吹向研磨设备13的研磨盘，从而在修盘时或者修盘结束后，对研磨设备13进行散热降温，避免修盘过程中使研磨设备13温度过高，使用后可将风箱17收回伸缩槽14。
30.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。