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一种大平面龙门式修盘机的制作方法

2022-11-14 20:14:08 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种大平面龙门式修盘机,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)的顶部固定连接有下调节座(2),所述下调节座(2)的内部螺纹连接有调角螺丝(3),所述调角螺丝(3)的外表面螺纹连接有固定螺母(4),所述下调节座(2)的顶部设置有上调节座(5),所述上调节座(5)的内部设置有测量头(6),所述上调节座(5)的内部螺纹连接有固定螺丝(7),所述上调节座(5)的顶部设置有横梁导轨(8),所述横梁导轨(8)的外表面设置有移动安装平台(9),所述移动安装平台(9)的底部设置有车刀(10),所述横梁导轨(8)的一端转动连接有旋转销(11),所述横梁导轨(8)的一侧面设置有伺服电机(12),所述横梁导轨(8)的底部设置有研磨设备(13)。2.根据权利要求1所述的一种大平面龙门式修盘机,其特征在于:所述机架(1)的内壁开设有伸缩槽(14),所述伸缩槽(14)的内壁固定连接有气缸(15),所述气缸(15)的输出端固定连接有伸缩杆(16)。3.根据权利要求2所述的一种大平面龙门式修盘机,其特征在于:所述伸缩杆(16)的一端固定连接有风箱(17),所述风箱(17)的底部固定连接有滑块(18),所述伸缩槽(14)内壁的底部固定连接有滑槽(19)。4.根据权利要求3所述的一种大平面龙门式修盘机,其特征在于:所述风箱(17)的内部设置有风机(20),所述风机(20)的一侧面设置有进风管(21),所述风机(20)的顶部设置有出风管(22)。5.根据权利要求3所述的一种大平面龙门式修盘机,其特征在于:所述风箱(17)的外表面设置有进风口(23),所述风箱(17)的顶部固定连接有出风罩(24)。6.根据权利要求3所述的一种大平面龙门式修盘机,其特征在于:所述风箱(17)的数量为两个,所述滑块(18)的外表面与滑槽(19)滑动连接。

技术总结
本实用新型涉及半导体生产设备技术领域,公开了一种大平面龙门式修盘机,包括机架,所述机架的顶部固定连接有下调节座,所述下调节座的内部螺纹连接有调角螺丝,所述调角螺丝的外表面螺纹连接有固定螺母,所述下调节座的顶部设置有上调节座,所述上调节座的内部设置有测量头。本实用新型具有以下优点和效果:横梁导轨可以沿旋转销在一定的角度范围内旋转,测量头为千分表,当调整调角螺丝时,千分表为调整的示值做出显示,改变原有的悬臂结构为两端支撑结构,使装置的整体稳定性得到根本性的改变,在修盘时近远端的变形挠度大大降低,使车刀不会再出现抖动现象,设备打刀的情况不再容易发生,大大提高了车刀的使用寿命。大大提高了车刀的使用寿命。大大提高了车刀的使用寿命。


技术研发人员:万明
受保护的技术使用者:苏州赛万玉山智能科技有限公司
技术研发日:2022.05.16
技术公布日:2022/11/10
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