一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱的制作方法

技术特征：
1.一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，包括运输箱(1)，其特征在于：所述运输箱(1)内部底面固定安装有硅片固定座(2)，所述硅片固定座(2)上表面开设有储存凹槽(201)，所述储存凹槽(201)内部开设有限位凹槽(3)，所述限位凹槽(3)内部固定安装有电磁铁(301)，所述电磁铁(301)一侧且位于限位凹槽(3)内部活动安装有限位块(302)，所述限位块(302)外表面活动安装有挤压滚轮(303)，所述运输箱(1)内部底面开设有连接通孔(4)，所述运输箱(1)内部开设有清洗液储存仓(5)，所述连接通孔(4)与清洗液储存仓(5)内部相通。2.根据权利要求1所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：所述运输箱(1)上表面活动安装有保护盖(101)，所述运输箱(1)内部固定安装有加热棒(102)。3.根据权利要求1所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：所述硅片固定座(2)上表面且位于储存凹槽(201)两侧固定安装有柔性清洗刷(202)，所述硅片固定座(2)内部固定安装有动力电机(203)，所述动力电机(203)输出端固定安装有旋转滚轮(204)。4.根据权利要求1所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：所述限位块(302)正表面开设有固定凹槽(304)，所述固定凹槽(304)内部固定安装有磁石(305)，所述磁石(305)与电磁铁(301)相互配合。5.根据权利要求1所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：所述连接通孔(4)内部活动安装有过滤器(401)，所述连接通孔(4)内部且位于过滤器(401)下方固定安装有电磁阀(402)。6.根据权利要求1所述的一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，其特征在于：所述清洗液储存仓(5)内部固定安装有小型水泵(501)。

技术总结
本实用新型公开了一种配合于硅片清洗机的硅片清洗转运箱，包括运输箱，所述运输箱内部底面固定安装有硅片固定座，所述硅片固定座上表面开设有储存凹槽，所述储存凹槽内部开设有限位凹槽，所述限位凹槽内部固定安装有电磁铁，所述电磁铁一侧且位于限位凹槽内部活动安装有限位块，所述限位块外表面活动安装有挤压滚轮，所述运输箱内部底面开设有连接通孔，所述运输箱内部开设有清洗液储存仓，所述连接通孔与清洗液储存仓内部相通。通过启动电磁铁会产生磁场，带动挤压滚轮在限位凹槽内部移动，挤压滚轮挤压硅片，从而使硅片贴合旋转滚轮表面，启动动力电机可以带动旋转滚轮旋转，旋转滚轮旋转会带动硅片旋转，可以清洗不同厚度的硅片。硅片。硅片。


技术研发人员：叶信广 刘鹏 左鹏
受保护的技术使用者：晶芯半导体（黄石）有限公司
技术研发日：2022.06.08
技术公布日：2022/11/10