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一种铜丝加工用高效节能退火炉的制作方法

2022-11-14 18:42:26 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型属于退火炉技术领域,具体涉及一种铜丝加工用高效节能退火炉。


背景技术:

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种设备,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的,可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。一般的铜丝加工用高效节能退火炉在使用的过程中不利于根据需要分隔退火炉内部的空间,影响铜丝的放置。
3.因此针对这一现状,迫切需要设计和生产一种铜丝加工用高效节能退火炉,以满足实际使用的需要。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种铜丝加工用高效节能退火炉,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种铜丝加工用高效节能退火炉,包括退火炉本体和设在退火炉本体内的多个支撑件,所述退火炉本体的底端可拆卸连接有底座,所述退火炉本体的一侧固定有防护件,退火炉本体内设有多个支撑件;
6.所述支撑件包括螺纹柱和多孔板,所述多孔板的底端的四角处均固定有螺纹柱,四个所述螺纹柱的底端均螺纹连接有螺纹套筒,所述多孔板的顶端的四角处均开设有与螺纹套筒适配的插槽,多孔板的侧壁固定有把手。
7.在进一步的实施例中,所述防护件包括挡块以及通过铰链与挡块连接的外框,所述外框内固定有玻璃,所述外框远离退火炉本体的一侧固定有拉手,所述外框远离拉手的一侧固定有防护框。
8.在进一步的实施例中,所述外框远离挡块的一侧固定有连接块,所述退火炉本体的外壁固定有外壳,外壳内设有插块和两个弹簧,插块的顶端与拉杆连接,连接块的顶端开设有与插块适配的插槽。
9.在进一步的实施例中,所述底座的两侧均固定有两个支座,四个支座内均固定有液压缸,四个所述液压缸的活塞杆的底端均安装有滚轮。
10.在进一步的实施例中,所述底座的底端的四角处均固定有防滑垫,所述底座与四个支座焊接。
11.在进一步的实施例中,所述多孔板与四个螺纹柱焊接,所述多孔板的表面涂覆有防腐漆。
12.本实用新型的技术效果和优点:该铜丝加工用高效节能退火炉,四个液压缸的活塞杆带动四个滚轮下移,方便整体的移动,四个液压缸的活塞杆带动四个滚轮上移,底座底
端的防滑垫接触地面,提高了整体的稳定性;
13.多孔板顶端的插槽利于多个支撑件的堆放,旋转螺纹套筒,能够根据需要调节相邻两个多孔板的间距,利于放置铜丝,进而合理利用退火炉本体内部的空间;
14.外框与玻璃能够对退火炉本体的控制面板进行保护,避免误触控制面板,上移拉杆并拉动外框即可露出控制面板,方便操作,该铜丝加工用高效节能退火炉,方便铜丝的放置,方便移动。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图;
16.图2为本实用新型的退火炉本体的剖面图;
17.图3为本实用新型的外壳与连接块结合的剖面图。
18.图中:1、退火炉本体;2、支座;3、液压缸;4、外壳;40、连接块;41、拉杆;42、弹簧;43、插块;5、底座;6、玻璃;7、外框;8、挡块;9、防护件;10、螺纹柱;11、多孔板;12、把手;13、支撑件;14、螺纹套筒。
具体实施方式
19.在下文的描述中,给出了大量具体的细节以便提供对本实用新型更为彻底的理解。然而,对于本领域技术人员而言显而易见的是,本实用新型可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中,为了避免与本实用新型发生混淆,对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
20.为了方便分隔退火炉本体1内部的空间,如图1和图2所示的一种铜丝加工用高效节能退火炉,包括退火炉本体1和设在退火炉本体1内的多个支撑件13,退火炉本体1选用常见的型号为mxq1700-30的高效节能退火炉,属于现有技术,不再赘述,退火炉本体1的底端可拆卸连接有底座5,退火炉本体1的一侧固定有防护件9,退火炉本体1内设有多个支撑件13;
21.支撑件13包括螺纹柱10和多孔板11,多孔板11的底端的四角处均固定有螺纹柱10,四个螺纹柱10的底端均螺纹连接有螺纹套筒14,多孔板11的顶端的四角处均开设有与螺纹套筒14适配的插槽,多孔板11的侧壁固定有把手12,多孔板11与四个螺纹柱10焊接,多孔板11的表面涂覆有防腐漆,多孔板11顶端的插槽利于多个支撑件13的堆放,旋转螺纹套筒14,能够根据需要调节相邻两个多孔板11的间距,利于放置铜丝,进而合理利用退火炉本体1内部的空间。
22.为了对退火炉本体1的控制面板进行保护,如图1所示,防护件9包括挡块8以及通过铰链与挡块8连接的外框7,挡块8通过螺栓与退火炉本体1连接,外框7内固定有玻璃6,外框7远离退火炉本体1的一侧固定有拉手,外框7远离拉手的一侧固定有橡胶材质的防护框,外框7与玻璃6能够对退火炉本体1的控制面板进行保护,避免误触控制面板。
23.为了方便外框7的转动或固定,如图1和图3所示,外框7远离挡块8的一侧固定有连接块40,退火炉本体1的外壁固定有外壳4,外壳4内设有插块43和两个弹簧42,插块43的顶端与拉杆41连接,连接块40的顶端开设有与插块43适配的插槽,上移拉杆41并拉动外框7即可露出控制面板,方便操作,上移拉杆41,转动外框7,连接块40位于外壳4下方后松开拉杆
41,两个弹簧42推动插块43下移,插块43插入连接块40,方便外框7的固定。
24.为了方便移动,如图1所示,底座5的两侧均固定有两个支座2,四个支座2内均通过螺栓固定有单活塞杆式的液压缸3,四个液压缸3的活塞杆的底端均安装有滚轮,底座5的底端的四角处均固定有防滑垫,底座5与四个支座2焊接,四个液压缸3的活塞杆带动四个滚轮下移,方便整体的移动,四个液压缸3的活塞杆带动四个滚轮上移,底座5底端的防滑垫接触地面,提高了整体的稳定性。
25.工作原理,该铜丝加工用高效节能退火炉,四个液压缸3的活塞杆带动四个滚轮下移,方便整体的移动,四个液压缸3的活塞杆带动四个滚轮上移,底座5底端的防滑垫接触地面,提高了整体的稳定性;
26.多孔板11顶端的插槽利于多个支撑件13的堆放,旋转螺纹套筒14,能够根据需要调节相邻两个多孔板11的间距,利于放置铜丝,进而合理利用退火炉本体1内部的空间;
27.外框7与玻璃6能够对退火炉本体1的控制面板进行保护,避免误触控制面板,上移拉杆41并拉动外框7即可露出控制面板,方便操作,上移拉杆41,转动外框7,连接块40位于外壳4下方后松开拉杆41,两个弹簧42推动插块43下移,插块43插入连接块40,方便外框7的固定。
28.最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型。


技术特征:
1.一种铜丝加工用高效节能退火炉,包括退火炉本体(1)和设在退火炉本体(1)内的多个支撑件(13),其特征在于:所述退火炉本体(1)的底端可拆卸连接有底座(5),所述退火炉本体(1)的一侧固定有防护件(9),退火炉本体(1)内设有多个支撑件(13);所述支撑件(13)包括螺纹柱(10)和多孔板(11),所述多孔板(11)的底端的四角处均固定有螺纹柱(10),四个所述螺纹柱(10)的底端均螺纹连接有螺纹套筒(14),所述多孔板(11)的顶端的四角处均开设有与螺纹套筒(14)适配的插槽,多孔板(11)的侧壁固定有把手(12)。2.根据权利要求1所述的一种铜丝加工用高效节能退火炉,其特征在于:所述防护件(9)包括挡块(8)以及通过铰链与挡块(8)连接的外框(7),所述外框(7)内固定有玻璃(6),所述外框(7)远离退火炉本体(1)的一侧固定有拉手,所述外框(7)远离拉手的一侧固定有防护框。3.根据权利要求2所述的一种铜丝加工用高效节能退火炉,其特征在于:所述外框(7)远离挡块(8)的一侧固定有连接块(40),所述退火炉本体(1)的外壁固定有外壳(4),外壳(4)内设有插块(43)和两个弹簧(42),插块(43)的顶端与拉杆(41)连接,连接块(40)的顶端开设有与插块(43)适配的插槽。4.根据权利要求1所述的一种铜丝加工用高效节能退火炉,其特征在于:所述底座(5)的两侧均固定有两个支座(2),四个支座(2)内均固定有液压缸(3),四个所述液压缸(3)的活塞杆的底端均安装有滚轮。5.根据权利要求4所述的一种铜丝加工用高效节能退火炉,其特征在于:所述底座(5)的底端的四角处均固定有防滑垫,所述底座(5)与四个支座(2)焊接。6.根据权利要求1所述的一种铜丝加工用高效节能退火炉,其特征在于:所述多孔板(11)与四个螺纹柱(10)焊接,所述多孔板(11)的表面涂覆有防腐漆。

技术总结
本实用新型公开了一种铜丝加工用高效节能退火炉,属于退火炉技术领域,包括退火炉本体和设在退火炉本体内的多个支撑件,所述退火炉本体的底端可拆卸连接有底座,所述退火炉本体的一侧固定有防护件,退火炉本体内设有多个支撑件;所述支撑件包括螺纹柱和多孔板,所述多孔板的底端的四角处均固定有螺纹柱,四个所述螺纹柱的底端均螺纹连接有螺纹套筒,所述多孔板的顶端的四角处均开设有与螺纹套筒适配的插槽,多孔板的侧壁固定有把手。该铜丝加工用高效节能退火炉,方便铜丝的放置,方便移动。方便移动。方便移动。


技术研发人员:李强
受保护的技术使用者:康瑞新材料科技(沭阳)有限公司
技术研发日:2022.02.22
技术公布日:2022/11/10
再多了解一些

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