负型抗蚀剂组合物的制作方法

技术特征：
1.一种负型抗蚀剂组合物，其特征在于，包含着色剂和树脂，所述着色剂含有呫吨染料，由所述负型抗蚀剂组合物形成的固化膜的分光光谱满足下述条件1，条件1：在波长范围500nm～580nm具有极大吸收波长，将该波长处的透射率设为5％时，波长440nm处的透射率为80％以上，且波长620nm处的透射率为80％以上。2.根据权利要求1所述的负型抗蚀剂组合物，其中，所述波长620nm处的透射率为90％以上。3.根据权利要求1或2所述的负型抗蚀剂组合物，其中，所述呫吨染料为式(i)表示的化合物，式(i)中，r1～r4各自独立地表示氢原子、可具有取代基的碳原子数1～20的一价饱和烃基、或可具有取代基的碳原子数6～20的一价芳香族烃基，该饱和烃基中包含的－ch2－可以被－o－、－co－或－nr
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－取代，r5表示－oh、－so
3-、－so3h、－so
3-z

、－co2h、－co
2-z

、－co2r8、－so3r8、或－so2nr9r
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，r6和r7各自独立地表示氢原子或碳原子数1～6的烷基，m表示0～5的整数，m为2以上时，多个r5可以相同或不同，a表示0或1的整数，x表示卤素原子，z

表示

n(r
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)4、na

、或k

，4个r
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可以相同或不同，r8表示碳原子数1～20的一价饱和烃基，该饱和烃基中包含的氢原子可以被卤素原子取代，r9和r
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各自独立地表示氢原子或可具有取代基的碳原子数1～20的一价饱和烃基，该饱和烃基中包含的－ch2－可以被－o－、－co－、－nh－、或－nr8－取代，r9和r
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可以键合并与邻接的氮原子一起形成三～十元环的杂环，r
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表示氢原子、碳原子数1～20的一价饱和烃基、或碳原子数7～10的芳烷基。4.根据权利要求3所述的负型抗蚀剂组合物，其中，所述呫吨染料为式(ia)和/或式(ib1)表示的化合物，
式(ia)中，r
a1
和r
a4
各自独立地为可以具有2个以下的碳原子数1～4的一价饱和脂肪族烃基的一价芳香族烃基，r
a2
和r
a3
各自独立地为氢原子、甲基、或乙基，r5～r7、m、a和x表示与前述相同的含义，式(ib1)中，r
b1
～r
b4
各自独立地表示氢原子、可具有取代基的碳原子数1～20的一价饱和烃基、或可具有取代基的碳原子数6～20的一价芳香族烃基，r
b1
～r
b4
中包含的至少一个饱和烃基或芳香族烃基具有卤素原子、－oh、－or8、－co2h、－co2r8、－so
3-、－so3h、－so
3-z

、－sr8、－so2r8、－so3r8、－so2nr9r
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、或－si(or
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)(or
13
)(or
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)作为取代基，或者r
b1
～r
b4
中包含的至少一个芳香族烃基具有3个以上的碳原子数1～4的一价饱和脂肪族烃基作为取代基，r
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、r
13
和r
14
各自独立地表示碳原子数1～4的一价饱和烃基，该饱和烃基中包含的氢原子可以被卤素原子取代，r5～r
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、m、a和x表示与前述相同的含义。5.根据权利要求4所述的负型抗蚀剂组合物，其中，所述呫吨染料为选自所述式(ib1)表示的化合物中的2种以上的组合、或者所述式(ib1)表示的化合物与所述式(ia)表示的化合物的组合。6.根据权利要求1～5中任一项所述的负型抗蚀剂组合物，其中，所述着色剂仅为染料，或者为染料与红色颜料或紫色颜料的组合。7.根据权利要求1～6中任一项所述的负型抗蚀剂组合物，其中，进一步包含聚合性化合物和聚合引发剂。8.根据权利要求1～7中任一项所述的负型抗蚀剂组合物，其中，能够形成膜厚为1.5μm以下的固化膜。9.一种滤色器，是由权利要求1～8中任一项所述的负型抗蚀剂组合物形成的。10.一种显示装置，包含权利要求9所述的滤色器。

技术总结
本发明的课题在于提供一种用于制造波长440nm的光的透射率高的滤色器的负型抗蚀剂组合物。本发明的负型抗蚀剂组合物包含着色剂和树脂，上述着色剂含有呫吨染料，由上述负型抗蚀剂组合物形成的固化膜的分光光谱满足下述条件1。[条件1]在波长范围500nm～580nm具有极大吸收波长，将该波长处的透射率设为5％时，波长440nm处的透射率为80％以上，且波长620nm处的透射率为80％以上。的透射率为80％以上。


技术研发人员：中山智博 赤坂哲郎 青木拓磨 宫泽拓
受保护的技术使用者：住友化学株式会社
技术研发日：2021.03.11
技术公布日：2022/11/11