一种用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，其ph值为9
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14，按质量百分含量由以下组分组成：氧化铝：20％
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30％；络合剂：1％
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10％；ph调节剂：0.5％
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2％；分散剂：0.1％
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5％；水：余量；其中，所述氧化铝为煅烧氧化铝，通过选自烧结法、拜耳法或烧结-拜耳联合法制备得到；所述络合剂选自15-冠醚-5、18-冠醚-6、二苯丙-18-冠醚-6、1,4-二羧基苯丙-15-冠醚-5、12-冠醚-4、羟基乙叉二磷酸、二乙烯三胺五乙酸、谷氨酸二乙酸、次氮基三乙酸、2-膦酸丁烷-1、2,4-三羧酸中的一种或多种。2.根据权利要求1所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述煅烧氧化铝的粒径为0.3
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3um，选自球形、类球形、片状、珊瑚状、米粒状或层状中的一种。3.根据权利要求2所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述煅烧氧化铝的粒径为0.3
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1um，通过拜耳法制备得到，其中α转化率为70％
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99％，煅烧温度为900
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1300℃。4.根据权利要求2所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述煅烧氧化铝为无定形，通过拜耳法制备得到，其中α转化率为80％
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95％，煅烧温度为1200℃。5.根据权利要求1所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述络合剂选自15-冠醚-5或18-冠醚-6。6.根据权利要求1所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述ph调节剂为无机碱和有机碱复合；其中：所述无机碱选自氢氧化钠或氢氧化钾；所述有机碱选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、amp-95、三亚乙基二胺中的一种或多种。7.根据权利要求6所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述无机碱为氢氧化钾，所述有机碱选自乙醇胺、三乙醇胺、amp-95中的一种。8.根据权利要求1所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，所述分散剂选自毕克化学dispersant-154、190、191、2055、420、h7625vf，或天津赫普菲乐ds-195l、ds-165a、ds-162g，或禾大5980，或巴斯夫cp-88、pa-25、lf-900、lf-901，或索尔维re-610，或陶氏850e中的一种。9.根据权利要求8所述的用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液，其特征在于，所述分散剂选自天津赫普菲乐ds-195l、巴斯夫cp-88、禾大5980中的一种。10.权利要求1至9任一项所述用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将氧化铝、水和分散剂进行砂磨，制备氧化铝浆料；(2)砂磨后的氧化铝浆料添加水、络合剂和ph调节剂，上述原料混合搅拌均匀，即得。

技术总结
本发明公开了一种用于化学机械抛光的碱性氧化铝分散液及其制备方法，该碱性氧化铝分散液按质量百分含量由以下组分组成：氧化铝20％


技术研发人员：彭诗月 张泽芳
受保护的技术使用者：上海映智研磨材料有限公司 湖州博来纳润电子材料有限公司
技术研发日：2022.09.06
技术公布日：2022/11/11