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一种硅片防连片装置的制作方法

2022-10-29 16:16:59 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及一种硅片分片装置,尤其是一种硅片防连片装置。


背景技术:

2.硅片分片时在水下通过水刀分片,水刀从硅片的两侧进行分片,然后通过接近竖直设置的输送带将硅片向上依次送出,送料装置将硅片推向输送带,水刀与输送带之间有一端距离,防止水刀影响硅片吸附到输送带上。由于硅片之间的间隙较小,并且位于水下,硅片之间的吸附力较大,前一个硅片吸附到输送带上升时,容易发生后一个硅片吸附到前一个硅片上跟随上升,造成叠片,叠片影响后续的送片和插片,容易造成送片失败,导致停机,需要人工干预,影响了生产效率,导致连续生产的可靠性降低。


技术实现要素:

3.为解决上述问题,本实用新型提供一种能够将保证硅片之间相互分离,不易发生叠片、能保证生产连续性的一种硅片防连片装置,具体技术方案为:
4.一种硅片防连片装置,包括喷水装置,所述喷水装置与输送带相对设置,且位于液面下方,所述喷水装置还位于未输送的硅片上方,所述喷水装置用于向吸附在所述输送带上的硅片喷水使相邻的硅片分离。
5.优选的,所述喷水装置包括喷水管,所述喷水管上设有若干个喷水孔,所述喷水孔与所述输送带相对设置。
6.进一步的,所述喷水管水平设置。
7.优选的,所述喷水装置包括喷嘴,所述喷嘴设有若干个,若干所述喷嘴与所述输送带相对设置。
8.优选的,还包括:连接管,所述连接管与所述喷水装置连接;及阀门,所述阀门与所述连接管和水泵连接。
9.其中,所述阀门为球阀。
10.与现有技术相比本实用新型具有以下有益效果:
11.本实用新型提供的一种硅片防连片装置通过位于水下的喷嘴正对着硅片喷水,从而使相邻硅片之间产生分离,不易吸附在一起,进而保证硅片依次吸附在输送带上输送,不会产生叠片,减少了人工干预,提高了生产效率,保证了生产的连续性和可靠性。
附图说明
12.图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
13.现结合附图对本实用新型作进一步说明。
14.实施例一
15.如图1所示,一种硅片防连片装置,包括喷水装置、连接管5和阀门6,其中,喷水装置包括喷水管4,阀门6分别与所述连接管5和水泵连接,阀门6方便喷水装置的开关,而连接管5与喷水连接,喷水管4沿轴线设有若干喷水孔,喷水管4水平设置在水箱的液面7下方,并且喷水孔与输送带1相对设置,且位于未输送的硅片上方。
16.喷水孔用于向吸附在输送带1上的第一硅片2喷水。
17.阀门6为球阀,球阀方便调整流量,进而控制喷水的压力。
18.喷水管4可以通过连接杆固定在水箱上。
19.工作时,先打开阀门6,喷水孔喷水,然后进水硅片的输送,当第一硅片2吸附到输送带1上时,第一硅片2上升,喷水孔喷出的水遇到第一硅片2,由于第一硅片2的阻挡,喷到第一硅片2表面的水沿第一硅片2的表面扩散,从而使第一硅片2下方的待输送的第二硅片3与第一硅片2分离,进而防止第二硅片3粘附在第一硅片2上,避免连片。
20.实施例二
21.如图1所示,本实施例与实施例一的不同之处在于所述喷水装置包括喷嘴,所述喷嘴设有若干个,若干个喷嘴通过连接杆固定在水箱上,喷嘴位于水箱的液面7下方,且与所述输送带1相对设置。
22.喷嘴用于向第一硅片2喷水。
23.以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理,而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释,本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式,这些方式都将落入本实用新型权利要求的保护范围之内。


技术特征:
1.一种硅片防连片装置,其特征在于,包括喷水装置,所述喷水装置与输送带(1)相对设置,且位于液面(7)下方,所述喷水装置还位于未输送的硅片上方,所述喷水装置用于向吸附在所述输送带(1)上的硅片喷水使相邻的硅片分离。2.根据权利要求1所述的一种硅片防连片装置,其特征在于,所述喷水装置包括喷水管(4),所述喷水管(4)上设有若干个喷水孔,所述喷水孔与所述输送带(1)相对设置。3.根据权利要求2所述的一种硅片防连片装置,其特征在于,所述喷水管(4)水平设置。4.根据权利要求1所述的一种硅片防连片装置,其特征在于,所述喷水装置包括喷嘴,所述喷嘴设有若干个,若干所述喷嘴与所述输送带(1)相对设置。5.根据权利要求1至4任一项所述的一种硅片防连片装置,其特征在于,还包括:连接管(5),所述连接管(5)与所述喷水装置连接;及阀门(6),所述阀门(6)与所述连接管(5)和水泵连接。6.根据权利要求5所述的一种硅片防连片装置,其特征在于,所述阀门(6)为球阀。

技术总结
本实用新型涉及一种硅片分片装置,尤其是一种硅片防连片装置,包括喷水装置,所述喷水装置与输送带相对设置,且位于液面下方,所述喷水装置还位于未输送的硅片上方,所述喷水装置用于向吸附在所述输送带上的硅片喷水使相邻的硅片分离。本实用新型提供的一种硅片防连片装置通过位于水下的喷嘴正对着硅片喷水,从而使相邻硅片之间产生分离,不易吸附在一起,进而保证硅片依次吸附在输送带上输送,不会产生叠片,减少了人工干预,提高了生产效率,保证了生产的连续性和可靠性。了生产的连续性和可靠性。了生产的连续性和可靠性。


技术研发人员:刘真
受保护的技术使用者:无锡喆创科技有限公司
技术研发日:2022.07.31
技术公布日:2022/10/28
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