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具有载具定向机制的湿制程机台的制作方法

2022-10-29 13:49:34 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种具有载具定向机制的湿制程机台,其特征在于,包括:一主体,具有一载具移动通道;一载具,包括一外框及一内环框,该外框间隔设置有数个滚轮,该内环框可旋转性地设置在各该滚轮之间,且该内环框包括一环形体及固定在该环形体的至少一受导构件,该环形体具有一基板夹固区;以及一导向构件,设置在该载具移动通道并形成于该内环框的一侧边;其中该载具沿着该载具移动通道平移过程中,该受导构件碰触到该导向构件后将被其所导引,从而驱使该内环框相对于该外框产生定向旋转。2.根据权利要求1所述的具有载具定向机制的湿制程机台,其特征在于,该导向构件包括一倾斜杆,于该倾斜杆的两端分别具有一导入段和一导出段。3.根据权利要求2所述的具有载具定向机制的湿制程机台,其特征在于,在该导入段向下延伸有一挡块,于该导出段向下延伸有一下斜杆。4.根据权利要求1所述的具有载具定向机制的湿制程机台,其特征在于,有两个受导构件,该内环框为一圆形内环框,各该受导构件的连接线是通过该圆形内环框的圆心。5.根据权利要求1所述的具有载具定向机制的湿制程机台,其特征在于,该外框包括两支横向杆和连接各该横向杆的两支纵向杆,其中所述滚轮包括三个从动滚轮和两个驱动滚轮,各该从动滚轮分别设置于其中的一该横向杆及各该纵向杆上,各该驱动滚轮则间隔设置在另一该横向杆上。6.根据权利要求1所述的具有载具定向机制的湿制程机台,其特征在于,该载具还包括一挂架,该挂架连接该外框。7.根据权利要求1所述的具有载具定向机制的湿制程机台,其特征在于,该载具还包括数个护环,各该护环固定在该外框,通过各该护环使该内环框被局限在该外框和各该护环之间。8.根据权利要求1所述的具有载具定向机制的湿制程机台,其特征在于,该载具还包括一传动机构,该传动机构设置在该外框和该内环框之间。9.根据权利要求8所述的具有载具定向机制的湿制程机台,其特征在于,该传动机构包括一叶轮及一齿轮组,该齿轮组包括一第一斜齿轮和一第二斜齿轮,该第一斜齿轮连接该叶轮,该第二斜齿轮则连接部分的各该滚轮,并与该第一斜齿轮相互啮合传动。10.根据权利要求1所述的具有载具定向机制的湿制程机台,其特征在于,该主体配置有一喷射装置,该喷射装置包括有间隔排列的数个喷嘴。

技术总结
本实用新型是关于一种具有载具定向机制的湿制程机台,包括主体、载具及导向构件,主体具有载具移动通道;载具包括外框及内环框,外框间隔设置有数个滚轮,内环框可旋转性地设置在各滚轮之间,且内环框包括环形体及固定在环形体的受导构件,环形体具有基板夹固区;导向构件设置在载具移动通道并形成于内环框的一侧边;其中载具沿着载具移动通道平移过程中,受导构件碰触到导向构件后将被其所导引,从而驱使内环框相对于外框产生定向旋转。导向构件的角度可以依照需求自由设计,以让载具的旋转角度达成预定的角度。角度达成预定的角度。角度达成预定的角度。


技术研发人员:苏胜义 巫坤星 吕理榕 黄世达
受保护的技术使用者:扬博科技股份有限公司
技术研发日:2022.06.30
技术公布日:2022/10/28
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