一种真空环境作业操作机构的制作方法

1.本实用新型涉及一种真空环境内部作业操作机构，应用于半导体、医疗、太阳能电池等行业，属于真空作业技术领域。


背景技术：

2.在半导体、医疗及太阳能电池等行业实际生产过程中，常常涉及到真空环境内装配操作；目前常见的做法有两种，手套箱式以及普通气缸采用活塞杆部密封伸入真空环境作业。手套箱式作业，手套长度固定不变，且很占用空间，灵活度不足，无法实现装配细小零部件，精度也不足，且生产效率较低；普通气缸采用活塞杆部密封形式，基本实现自动操作，但结构本身就决定势必存在微漏，无法用于高真空场合；且活塞杆往复动作均和密封圈摩擦，造成密封圈磨损，一定时间之后导致真空泄漏，必须进行维修，影响生产效率，增加维修成本。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术存在的缺陷，提供一种真空环境作业操作机构，避免真空泄漏，提高装置使用寿命和生产效率。
4.为解决这一技术问题，本实用新型提供了一种真空环境作业操作机构，包括执行机构和驱动机构，所述执行机构包括外部滑块、前端盖、端盖密封、活塞杆、活塞套、磁性圆环和磁性活塞，所述外部滑块为长方体空心结构，其内部镶嵌有磁性圆环；所述活塞套设置在外部滑块空心结构内，其一端与前端盖连接，另一端与后端盖连接；所述活塞杆置于活塞套内，一端固定在与磁性圆环配合的磁性活塞上、另一端穿过前端盖伸入真空环境箱内部并与内部的作业装置机械连接；所述驱动机构固定在外部滑块上、可带动外部滑块沿活塞套做往复运动，镶嵌在外部滑块内的磁性圆环带动磁性活塞、进而带动活塞杆往复运动；所述驱动机构的驱动方式为自动驱动或手动驱动。
5.所述外部滑块上设有自动驱动机构，所述自动驱动机构为活塞套筒结构，其活塞的两端设有连杆，分别固定在前端盖和后端盖上，通过切换活塞筒两端的气源，实现自动驱动机构带动外部滑块沿活塞套做往复运动。
6.所述外部滑块上设置有手动驱动手柄，推动手动驱动手柄可带动外部滑块沿活塞套做往复运动。
7.所述外部滑块上设有导向孔，导向杆穿过外部滑块，一端与前端盖连接，另一端固定在后端盖上，外部滑块可沿导向杆滑动。
8.所述真空环境箱端部设有通孔，通孔周围设有固定孔，前端盖通过固定孔与真空环境箱固定，前端盖与真空环境箱之间设有端盖密封。
9.有益效果：本实用新型可通过自动或者手动两种驱动方式实现真空环境内部作业，灵活高效完成预定动作；本实用新型避免了因密封圈磨损造成的真空泄漏，提高了装置使用寿命和生产效率，也可提高真空环境作业精度，降低劳动强度，可应用于半导体、医疗、
太阳能电池等行业涉及真空作业的领域，具有结构简单，操作便捷的特点。
附图说明
10.图1为本实用新型自动执行机构示意图；
11.图2为本实用新型手动执行机构示意图；
12.图3为本实用新型执行机构纵向剖切示意图；
13.图4为本实用新型自动执行机构与外部驱动机构示意图；
14.图5为本实用新型手动执行机构与驱动手柄示意图；
15.图6为本实用新型自动执行机构真空环境作业示意图；
16.图7为本实用新型手动执行机构真空环境作业示意图。
17.图中：1、外部滑块；2、前端盖；3、端盖密封；4、活塞杆；5、活塞套； 6、导向杆；7、后端盖；8、磁性圆环；9、磁性活塞；10、自动驱动机构； 11、手动驱动手柄；12、真空环境箱。
具体实施方式
18.下面结合附图及实施例对本实用新型做具体描述。
19.如图1-图7所示，本实用新型提供了一种真空环境操作机构，包括执行机构和驱动机构，所述执行机构包括外部滑块1、前端盖2、端盖密封3、活塞杆4、活塞套5、磁性圆环8、磁性活塞9，所述外部滑块1为长方体空心结构，其内部镶嵌有磁性圆环8；所述活塞套5设置在外部滑块1空心结构内，其一端与前端盖2连接，另一端与后端盖7连接；所述活塞杆4置于活塞套5 内，一端固定在与磁性圆环8配合的磁性活塞9上、另一端穿过前端盖2伸入真空环境箱12内部并与真空环境箱12内部作业装置机械连接，通过本机构运作带动真空环境箱内部机构进行正常作业，避免真空泄漏；所述驱动机构固定在外部滑块1上、可带动外部滑块1沿活塞套5做往复运动，镶嵌在外部滑块1内的磁性圆环8带动磁性活塞9、进而带动活塞杆4往复运动；所述驱动机构的驱动方式为自动驱动或手动驱动。
20.所述外部滑块1上设有自动驱动机构10，所述自动驱动机构10为活塞套筒结构，其活塞的两端设有连杆，分别固定在前端盖2和后端盖7上，通过切换活塞筒两端的气体动力源，可实现自动驱动机构10带动外部滑块1沿活塞套5做往复运动，从而实现自动驱动方式。
21.所述外部滑块1上设置有手动驱动手柄11，推动手动驱动手柄11带动外部滑块1沿活塞套5做往复运动，从而实现手动驱动方式。
22.所述外部滑块1上设有导向孔，导向杆6穿过外部滑块1，一端与前端盖 2连接，另一端固定在后端盖7上，外部滑块1可沿导向杆6滑动。
23.所述真空环境箱12端部设有通孔，通孔周围设有固定孔，前端盖2通过固定孔与真空环境箱12固定，前端盖2与真空环境箱12之间设有端盖密封3。
24.工作时，操作者可根据生产环境需要，自行决定使用自动驱动方式或手动驱动方式。当使用自动驱动方式时，自动驱动机构接通气体动力源，通过切换活塞筒两端的气体动力源，可实现自动驱动机构带动外部滑块沿活塞套做往复运动，活塞套内的磁性活塞受磁性圆环的磁场作用随外部滑块随外部滑块一起运动，从而带动活塞杆往复运动，完成真空环境内的搬运、装配等动作；当使用手动驱动方式时，操作者通过推拉外部驱动手柄推动外部滑块运动，从而在磁场的作用下，磁性活塞带动活塞杆往复运动，完成真空环境内的搬
运、装配等动作。
25.本实用新型占用空间体积小，灵活度高；依靠前端盖密封圈和箱体实现端密封，因为不存在可动磨损，其寿命等同于材料寿命。
26.本实用新型可通过自动或者手动两种驱动方式实现真空环境内部作业，灵活高效完成预定动作；本实用新型避免了因密封圈磨损造成的真空泄漏，提高了装置使用寿命和生产效率，也可提高真空环境作业精度，降低劳动强度，可应用于半导体、医疗、太阳能电池等行业涉及真空作业的领域，具有结构简单，操作便捷的特点。
27.本实用新型上述实施方案，只是举例说明，不是仅有的，所有在本实用新型范围内或等同本实用新型的范围内的改变均被本实用新型包围。


技术特征：
1.一种真空环境作业操作机构，其特征在于：包括执行机构和驱动机构，所述执行机构包括外部滑块(1)、前端盖(2)、端盖密封(3)、活塞杆(4)、活塞套(5)、磁性圆环(8)和磁性活塞(9)，所述外部滑块(1)为长方体空心结构，其内部镶嵌有磁性圆环(8)；所述活塞套(5)设置在外部滑块(1)空心结构内，其一端与前端盖(2)连接，另一端与后端盖(7)连接；所述活塞杆(4)置于活塞套(5)内，一端固定在与磁性圆环(8)配合的磁性活塞(9)上、另一端穿过前端盖(2)伸入真空环境箱(12)内部并与内部的作业装置机械连接；所述驱动机构固定在外部滑块(1)上、可带动外部滑块(1)沿活塞套(5)做往复运动，镶嵌在外部滑块(1)内的磁性圆环(8)带动磁性活塞(9)、进而带动活塞杆(4)往复运动；所述驱动机构的驱动方式为自动驱动或手动驱动。2.根据权利要求1所述的真空环境作业操作机构，其特征在于：所述外部滑块(1)上设有自动驱动机构(10)，所述自动驱动机构(10)为活塞套筒结构，其活塞的两端设有连杆，分别固定在前端盖(2)和后端盖(7)上，通过切换活塞筒两端的气源，实现自动驱动机构(10)带动外部滑块(1)沿活塞套(5)做往复运动。3.根据权利要求1所述的真空环境作业操作机构，其特征在于：所述外部滑块(1)上设置有手动驱动手柄(11)，推动手动驱动手柄(11)可带动外部滑块(1)沿活塞套(5)做往复运动。4.根据权利要求1所述的真空环境作业操作机构，其特征在于：所述外部滑块(1)上设有导向孔，导向杆(6)穿过外部滑块(1)，一端与前端盖(2)连接，另一端固定在后端盖(7)上，外部滑块(1)可沿导向杆(6) 滑动。5.根据权利要求1-4任一项所述的真空环境作业操作机构，其特征在于：所述真空环境箱(12)端部设有通孔，通孔周围设有固定孔，前端盖(2)通过固定孔与真空环境箱(12)固定，前端盖(2)与真空环境箱(12)之间设有端盖密封(3)。

技术总结
本实用新型公开了一种真空环境作业操作机构，包括执行机构和驱动机构，所述执行机构包括外部滑块、前端盖、端盖密封、活塞杆、活塞套、磁性圆环和磁性活塞，外部滑块为长方体空心结构，内部镶嵌有磁性圆环；活塞套设在外部滑块空心结构内，一端与前端盖连接，另一端与后端盖连接；活塞杆置于活塞套内，一端固定在磁性活塞上、另一端伸入真空环境箱内与作业装置机械连接；驱动机构固定在外部滑块上、可带动外部滑块沿活塞套做往复运动，镶嵌在外部滑块内的磁性圆环带动磁性活塞、进而带动活塞杆往复运动；所述驱动方式为自动驱动或手动驱动。本实用新型避免了真空泄漏，可灵活完成预定动作，提高了寿命和生产效率，结构简单，操作便捷。便捷。便捷。


技术研发人员：何文斌 刁统武 党泽民 孙硕硕 陈阳 韦胜波 郁章振 亓宏伟 杨镇南 贾明旭
受保护的技术使用者：中国重汽集团济南动力有限公司
技术研发日：2022.05.05
技术公布日：2022/10/28