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一种VGF法彩色宝石晶体生长坩埚支撑平台固定方法与流程

2022-10-26 05:14:18 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚支撑平台,包括晶体生长坩埚主体(1)、保温机构(2)、加热机构(3)和支撑机构(4),其特征在于:所述保温机构(2)位于晶体生长坩埚主体(1)的外部,所述加热机构(3)位于保温机构(2)的内部,所述支撑机构(4)位于晶体生长坩埚主体(1)的底端,所述支撑机构(4)包括石墨杆(401)、石墨支撑板(402)和支撑柱(403),所述石墨杆(401)固定安装于晶体生长坩埚主体(1)的底端,所述石墨杆(401)的数量为若干个,所述石墨杆(401)呈对称分布。2.根据权利要求1所述的一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚支撑平台,其特征在于:所述石墨支撑板(402)固定安装于石墨杆(401)的底端且位于保温机构(2)的顶端,所述石墨支撑板(402)的数量为若干个,所述石墨支撑板(402)呈对称分布。3.根据权利要求2所述的一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚支撑平台,其特征在于:所述支撑柱(403)安装于保温机构(2)保温机构(2)的底端,所述支撑柱(403)与保温机构(2)保温机构(2)为可拆卸连接,所述支撑柱(403)的数量为若干个,所述支撑柱(403)呈对称分布。4.根据权利要求3所述的一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚支撑平台,其特征在于:所述保温机构(2)包括石墨烯保温罩(201)和底部保温板(202),所述石墨烯保温罩(201)安装于支撑柱(403)的顶端且位于晶体生长坩埚主体(1)的外部,所述石墨烯保温罩(201)与支撑柱(403)为可拆卸连接。5.根据权利要求4所述的一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚支撑平台,其特征在于:所述保温板安装于支撑柱(403)的内端且位于石墨支撑板(402)的底端,所述保温板与支撑柱(403)为可拆卸连接。6.根据权利要求5所述的一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚支撑平台,其特征在于:所述加热机构(3)包括加热器(301)和热交换器(302),所述加热器(301)安装于石墨烯保温罩(201)且位于晶体生长坩埚主体(1)的外部,所述加热器(301)的数量为若干个,所述加热器(301)呈对称分布。7.根据权利要求6所述的一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚支撑平台,其特征在于:所述热交换器(302)固定安装于晶体生长坩埚主体(1)的底端且贯穿石墨支撑板(402)和底部保温板(202)。8.一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚支撑平台固定方法,其特征在于:包括以下步骤:s1:将对称分布的多个石墨杆(401)安装在晶体生长坩埚主体(1)底端,石墨支撑板(402)安装在支撑石墨杆(401)底端。s2:将石墨烯保温罩(201)套在晶体生长坩埚主体(1)的外部,支撑柱(403)支撑石墨烯保温罩(201)。

技术总结
本发明涉及坩埚支撑技术领域,且公开了一种VGF法彩色宝石晶体生长坩埚支撑平台固定方法,包括晶体生长坩埚主体、保温机构、加热机构和支撑机构,所述保温机构位于晶体生长坩埚主体的外部,所述加热机构位于保温机构的内部,所述支撑机构位于晶体生长坩埚主体的底端,所述支撑机构包括石墨杆、石墨支撑板和支撑柱。该VGF法彩色宝石晶体生长坩埚支撑平台固定方法,安装了支撑机构,通过石墨杆支撑晶体生长坩埚主体,使晶体生长坩埚主体稳固站立,避免晶体生长坩埚主体外道倾斜,多个石墨杆可以更好的支撑晶体生长坩埚,石墨支撑板用于支撑石墨杆,石墨支撑板固定支撑石墨杆的位置,避免石墨杆位移而影响对晶体生长坩埚主体的支撑。石墨杆位移而影响对晶体生长坩埚主体的支撑。石墨杆位移而影响对晶体生长坩埚主体的支撑。


技术研发人员:李伦 周长城
受保护的技术使用者:河南铭镓半导体有限公司
技术研发日:2022.08.03
技术公布日:2022/10/25
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