一种多用途透明吸附载台的制作方法

1.本实用新型涉及吸附技术领域，尤其涉及一种多用途透明吸附载台。


背景技术：

2.在液晶显示面板加工制程中，通常会利用一载台来承载及固定该液晶显示面板，载台大多采用抽真空方式的方式带走载台内的空气，使得载台吸入空气的位置处的压强小于工件外表面的压强，达到将产品吸附在载台上的目的。但是这种采用抽真空方式的吸附载台有很大的局限性，其无法在真空环境中使用。现有技术中为了解决吸附载台无法在真空环境中使用的问题，通常会在载台的下方设置静电吸附膜来吸附工件，当工件被吸附在载台的下方时，载台会阻挡光线投射在工件上，不便于用户对工件本体进行快速直观的外观检测。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种多用途透明吸附载台。
4.为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：
5.一种多用途透明吸附载台，包括真空吸附部和静电吸附部，所述静电吸附部设置在真空吸附部的下方；所述真空吸附部包括透明基座和形成在透明基座内的真空通道；所述静电吸附部包括透明电极层和透明介电层，所述透明电极层通过透明粘接层接合至透明基座的底面上，所述透明介电层接合在透明电极层上以用于吸附工件；其中，所述真空吸附部和静电吸附部配置为，其适于由真空吸附部的上侧射入的光线能够照亮吸附在静电吸附部下侧的工件。
6.优选地，所述静电吸附部内形成有与所述真空通道连通的抽气通道。
7.优选地，所述抽气通道贯穿所述静电吸附部设置。
8.优选地，所述透明基座的表面设置有与所述真空通道连通的真空气孔，所述真空气孔连接有真空泵。
9.优选地，所述透明介电层为透明pi膜或者复合陶瓷膜，其表面能够形成吸附工件的静电。
10.优选地，所述透明电极层为具有导电性的ito膜或pedot膜以使所述静电吸附部电连接静电发生器。
11.优选地，所述透明粘接层配置为两面均具有粘性以连接所述静电吸附部和所述透明基座。
12.优选地，所述透明基座为石英块或pvc块。
13.由于采用了以上技术方案，本实用新型具有以下有益效果：
14.1.本实用新型的真空吸附部具有透明基座，静电吸附部由透明电极层、透明介电层和透明粘接层构成，静电吸附部位于真空吸附部的下方，透明介电层能够用以吸附并固
定工件，当从真空吸附部的上侧射入光线时能够照亮被吸附的工件，便于对工件进行直观的外观检测，提高了外观检测的效率。
15.2.本实用新型的透明基座下方设置有能够产生静电吸附力的静电吸附部来吸附工件，使工件在真空环境下也能被固定，而真空吸附部能够在非真空环境下为工件补充吸附力，两者协同作用时工件不易从载台滑脱。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本实用新型的一些实施例，而非对本实用新型的限制。
17.图1为现有技术中吸附载台的结构示意图；
18.图2为本实用新型实施例一的结构示意图；
19.图3为本实用新型另一角度的结构示意图；
20.图4为本实用新型中静电吸附部的结构示意图。
21.附图标记：
22.1.真空吸附部；11.透明基座；111.真空气孔；12.真空通道；2.静电吸附部；21.透明电极层；22.透明介电层；23.透明粘接层；24.抽气通道；3.工件。
具体实施方式
23.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型做进一步详细说明。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以各种不同的配置来布置和设计。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
25.除非另作定义，本专利文件中所使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变，其仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
26.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术
语在本实用新型中的具体含义。
27.下面结合附图，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例中的特征可以相互组合。
28.实施例一：
29.请参阅图1和图2，本实用新型提供一种多用途透明吸附载台，包括真空吸附部1和静电吸附部2，静电吸附部2设置在真空吸附部1的下方；真空吸附部1包括透明基座11和形成在透明基座11内的真空通道12；静电吸附部2包括透明电极层21和透明介电层22，透明电极层21通过透明粘接层23接合至透明基座11的底面上，透明介电层22接合在透明电极层21上以用于吸附工件3；其中，真空吸附部1和静电吸附部2配置为，其适于由真空吸附部1的上侧射入的光线能够照亮吸附在静电吸附部2下侧的工件3。
30.在本实施例中，真空吸附部1具有能够透光的透明基座11，静电吸附部2的电极层、介电层和粘接层也均配置为透明，静电吸附部2粘接在透明基座11的下方，透明介电层22能够用以吸附并固定住工件3，方便对工件3进行拍照以进行外观检测，由于透明基座11和透明静电吸附部2都能透光，所以当从透明基座11的上侧射入光线时能够照亮被吸附的工件3，方便清楚的拍到工件3并检查工件3有无瑕疵。
31.在本实施例中，工件3为显示面板，当然，在另一实施例中，工件3也可以为其他适用的元件。静电吸附部2适用于多种使用环境，使工件3在真空环境下也能被固定，而真空吸附部1能够在非真空环境下为工件3补充吸附力，两者协同作用使工件3不易从载台滑脱。
32.静电吸附部2内形成有与真空通道12连通的抽气通道24，具体地，抽气通道24贯穿静电吸附部2设置，抽气通道24竖直贯穿静电吸附部2，抽气通道24的底部抵接在被吸附的工件3上，在非真空的环境下，真空通道12和抽气通道24能够吸附并固定工件3。
33.透明基座11为矩形结构，静电吸附部2设置有与真空吸附部1连通的抽气通道24，本实用新型能够同时对工件3进行静电吸附和真空吸附，也可以单独对工件3进行静电吸附或真空吸附，本实用新型适用于多种使用环境。
34.在本实施例中，如图3所示，透明基座11开设有三条真空通道12和两条抽气通道24。
35.透明基座11的表面设置有与真空通道12连通的真空气孔111，真空气孔111连接有真空泵，真空泵能够通过真空通道12和抽气通道24进行抽真空以吸附工件3。
36.请参阅图4，静电吸附部2包括依次设置的透明介电层22、透明电极层21和透明粘接层23。在本实施例中，静电吸附部2从下往上包括透明介电层22、透明电极层21和透明粘接层23，透明介电层22和透明电极层21固接并通过透明粘接层23粘合在透明基座11的底部。
37.透明介电层22为透明pi膜或者复合陶瓷膜，其表面能够形成吸附工件3的静电，作为优选地，透明介电层22为透明pi膜，在工件3的外表面形成与透明介电层22表面极性相反的电荷以使工件3和静电吸附部2贴合。
38.透明电极层21为具有导电性的ito膜或pedot膜以使静电吸附部2电连接静电发生器。ito膜由氧化铟锡制作而成、pedot膜由3,4-乙烯二氧噻吩单体的聚合物制作而成。
39.透明粘接层23配置为两面均具有粘性以连接静电吸附部2和透明基座11,具体地，粘接层为透明硅胶、透明双面胶带等，其一面与透明基座11粘接，另一面与透明介电层22粘
接。
40.透明基座11为石英块或pvc块，作为优选地，透明基座11为石英块。石英是一种物理性质和化学性质均十分稳定的矿产资源。在其他实施例中，透明基座11也可以由其他具有良好透光性的物质制作。基座也可以不是透明状态，只要具备透光性使用户能清楚观察到工件3即可。
41.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。