技术特征：
1.一种多用途透明吸附载台，包括真空吸附部和静电吸附部，所述静电吸附部设置在真空吸附部的下方；其特征在于：所述真空吸附部包括透明基座和形成在透明基座内的真空通道；所述静电吸附部包括透明电极层和透明介电层，所述透明电极层通过透明粘接层接合至透明基座的底面上，所述透明介电层接合在透明电极层上以用于吸附工件；其中，所述真空吸附部和静电吸附部配置为，其适于由真空吸附部的上侧射入的光线能够照亮吸附在静电吸附部下侧的工件。2.根据权利要求1所述的多用途透明吸附载台，其特征在于，所述静电吸附部内形成有与所述真空通道连通的抽气通道。3.根据权利要求2所述的多用途透明吸附载台，其特征在于，所述抽气通道贯穿所述静电吸附部设置。4.根据权利要求1所述的多用途透明吸附载台，其特征在于，所述透明基座的表面设置有与所述真空通道连通的真空气孔，所述真空气孔连接有真空泵。5.根据权利要求2所述的多用途透明吸附载台，其特征在于，所述透明介电层为透明pi膜或者复合陶瓷膜，其表面能够形成吸附工件的静电。6.根据权利要求2所述的多用途透明吸附载台，其特征在于，所述透明电极层为具有导电性的ito膜或pedot膜以使所述静电吸附部电连接静电发生器。7.根据权利要求2所述的多用途透明吸附载台，其特征在于，所述透明粘接层配置为两面均具有粘性以连接所述静电吸附部和所述透明基座。8.根据权利要求1所述的多用途透明吸附载台，其特征在于，所述透明基座为石英块或pvc块。
技术总结
本实用新型涉及吸附技术领域，其具体公开一种多用途透明吸附载台，包括真空吸附部和静电吸附部，所述静电吸附部设置在真空吸附部的下方；所述真空吸附部包括透明基座和形成在透明基座内的真空通道；所述静电吸附部包括透明电极层和透明介电层，所述透明电极层通过透明粘接层接合至透明基座的底面上，所述透明介电层接合在透明电极层上以用于吸附工件；其中，所述真空吸附部和静电吸附部配置为，其适于由真空吸附部的上侧射入的光线能够照亮吸附在静电吸附部下侧的工件。静电吸附部下侧的工件。静电吸附部下侧的工件。
技术研发人员：陈高龙 李有亮 丁威 廖林
受保护的技术使用者：成都骏创科技有限公司
技术研发日：2022.03.15
技术公布日：2022/10/24
再多了解一些
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