标准试样膜、标准试样膜的制造方法、标准试样、试样组、定量分析方法、转印薄膜

技术特征：
1.一种标准试样膜，其用于激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法，其中，所述标准试样膜含有聚合物及金属元素，所述标准试样膜的膜厚的最大高低差为0.50μm以下。2.根据权利要求1所述的标准试样膜，其中，通过以下方法x求出的所述标准试样膜的元素浓度偏差为30％以下，方法x：在所述标准试样膜的表面的10个部位，从所述标准试样膜的一个表面朝向另一个表面实施飞行时间型2次离子质谱法，得到所述金属元素的二次离子强度的深度方向剖析图，当将从所述标准试样膜的一个表面朝向另一个表面侧，所述标准试样膜的总厚度的20％的位置作为第1位置，将从所述标准试样膜的一个表面朝向另个一表面侧，所述标准试样膜的总厚度的80％的位置作为第2位置时，计算出各部位的从所述第1位置至所述第2位置为止的所述金属元素的二次离子强度的合计值，并计算出所得到的10个二次离子强度的合计值的相对标准偏差，以该相对标准偏差作为元素浓度偏差。3.根据权利要求1或2所述的标准试样膜，其中，所述标准试样膜的平均膜厚为3.5μm以下。4.根据权利要求1至3中任一项所述的标准试样膜，其中，所述金属元素源自有机酸金属盐或源自无机酸金属盐。5.根据权利要求1至4中任一项所述的标准试样膜，其含有2种以上所述金属元素。6.根据权利要求1至5中任一项所述的标准试样膜，其中，所述聚合物为(甲基)丙烯酸类聚合物。7.一种标准试样膜的制造方法，其具有涂布标准试样膜形成用组合物来形成标准试样膜的工序，所述标准试样膜形成用组合物包含：烃、有机酸金属盐、与所述烃的sp值之差的绝对值在3.5mpa
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以内的聚合物及溶剂。8.根据权利要求7所述的标准试样膜的制造方法，其中，所述有机酸具有烃基，所述烃基的sp值与所述烃的sp值之差的绝对值在3.5mpa
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以内。9.一种试样组，其组合多个权利要求1至6中任一项所述的标准试样而成，其中，所述多个标准试样膜含有相同种类的金属元素，所述多个标准试样膜中的所述金属元素的浓度互不相同。10.一种基于激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法的定量分析方法，其具有：工序a，使用多个金属元素的浓度互不相同的权利要求1至6中任一项所述的标准试样膜，通过激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法来测定从各个所述标准试样膜得到的所述金属元素的离子的信号强度；工序b，绘制出校准曲线，该校准曲线基于所述多个标准试样膜中的所述金属元素的浓度及所述工序a中得到的所述多个标准试样膜的各个所述金属元素的离子的信号强度；及工序c，使用含有与所述标准试样膜中的所述金属元素相同种类的金属元素的测定试
样，通过激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法来测定所述测定试样中的所述金属元素的离子的信号强度，并基于所述校准曲线来求出所述测定试样中的所述金属元素的浓度。11.一种转印薄膜，其具有：临时支撑体；及配置于所述临时支撑体上的权利要求1至6中任一项所述的标准试样膜。12.一种标准试样，其用于激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法，所述标准试样包含：烃；有机酸金属盐；及与所述烃的sp值之差的绝对值在3.5mpa
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以内的聚合物。13.根据权利要求12所述的标准试样，其中，与所述烃的sp值之差的绝对值在2.5mpa
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以内。14.根据权利要求12或13所述的标准试样，其中，所述聚合物为(甲基)丙烯酸类聚合物。15.根据权利要求12至14中任一项所述的标准试样，其中，所述烃包括碳原子数10以上的脂肪族饱和烃。16.根据权利要求12至15中任一项所述的标准试样，其中，所述烃包括石蜡。17.根据权利要求12至16中任一项所述的标准试样，其中，所述有机酸具有磺酸基。18.根据权利要求12至17中任一项所述的标准试样，其中，所述有机酸具有烃基。19.根据权利要求12至18中任一项所述的标准试样，其中，所述标准试样含有金属元素的种类不同的2种以上的所述有机酸金属盐。20.一种试样组，其组合多个权利要求12至19中任一项所述的标准试样而成，其中，所述多个标准试样含有相同种类的有机酸金属盐，所述多个标准试样中的源自所述相同种类的有机酸金属盐的金属元素的浓度互不相同。21.一种基于激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法的定量分析方法，其具有：工序1，使用多个源自所述有机酸金属盐的金属元素的浓度互不相同的权利要求12至19中任一项所述的标准试样，通过激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法来测定从各个所述标准试样得到的所述金属元素的离子的信号强度；工序2，绘制出校准曲线，该校准曲线基于所述多个标准试样中的源自所述有机酸金属盐的金属元素的浓度及所述工序1中得到的所述多个标准试样的各个所述金属元素的离子的信号强度；及工序3，使用含有与所述标准试样中的源自有机酸金属盐的金属元素相同种类的金属元素的测定试样，通过激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法来测定所述金属元素的离子的信号强度，并基于所述校准曲线来求出所述测定试样中的所述金属元素的浓度。22.一种转印薄膜，其具有：临时支撑体；及
试样膜，由配置于所述临时支撑体上的权利要求12至19中任一项所述的标准试样构成。

技术总结
本发明提供一种标准试样膜、标准试样、标准试样膜的制造方法、试样组、定量分析方法及转印薄膜，所述标准试样膜用于激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法，其含有有机物，且基于测定位置的金属元素的离子的信号强度的偏差小。本发明的标准试样膜用于激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法，所述标准试样膜含有聚合物及金属元素，且标准试样膜的膜厚的最大高低差为0.50μm以下。μm以下。


技术研发人员：椙山卓郎 寺尾祐子 平兮康彦 大塚徹郎 杉岛明典 白石康晴 平田岳史 槙纳好岐
受保护的技术使用者：国立大学法人东京大学
技术研发日：2021.01.25
技术公布日：2022/9/14