一种用于探针机的晶圆承载台的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆技术领域，具体是一种用于探针机的晶圆承载台。


背景技术：

2.探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本；现有的探针台一般可以固定一种形状的硅晶，当有不同形状的硅晶时，固定时会出现固定不稳的情况。
3.现有专利cn201920331392.8提出了一种适用于多尺寸芯片使用的硅晶圆探针台，通过设置限位装置、顶动机构与弹性机构相互配合，简化了固定的操作流程，只要操作人员同时拧动两个螺钉即可实现对硅晶的固定，简单快捷；通过设置t型槽与t型限位板相互配合，可以随时更换限位板，方便探针台固定不同形状的硅晶，具有通用性。
4.但是该实用新型在使用时仍存在一定的缺陷，在调整时需要分别拧动两个螺钉进行调节，在使用时无法保证两个螺钉的旋转量相同，容易导致两个弧形板中心位置偏移，同时由于不同直径的晶圆，边缘的弧度均不相同，若使用固定尺寸的弧形板会出现与晶圆边缘不贴合的情况，进而导致限位效果不好，为此，我们提供一种用于探针机的晶圆承载台。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种用于探针机的晶圆承载台，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种用于探针机的晶圆承载台，包括台体，所述台体上端面中间位置开设有圆槽，所述台体上端面以顶块为中心阵列开设有至少六个限位槽，所述限位槽内均滑动连接有滑动块，所述滑动块上端穿出限位槽的位置固定连接有限位块，台体内部远离圆槽的一侧靠近限位槽的位置均开设有安装腔，所述安装腔和限位槽之间均开设有连接孔，所述安装腔内安装有用于调整滑动块位置的调整组件；
8.所述圆槽内还安装有用于对放置的晶圆顶出的顶出组件。
9.作为本实用新型进一步的方案：所述调整组件包括螺纹套，所述螺纹套转动连接在连接孔内，所述连接孔远离螺纹套的一端安装有第一锥齿轮，所述螺纹套内螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆靠近限位槽的一端与滑动块固定连接，所述台体上端面均设有用于驱动第一锥齿轮进行转动的驱动组件。
10.作为本实用新型再进一步的方案：所述驱动组件包括转动轴，所述安装腔靠近限位槽的一侧均转动连接有转动轴，转动轴上端穿出台体的位置固定连接有同步带轮，所述转动轴下端固定连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮相啮合，所述同步带轮之间安装有同步带，所述台体一侧的转动轴上端穿出同步带轮的位置固定连接有转动柄。
11.作为本实用新型再进一步的方案：所述顶出组件包括滑动腔，两个所述滑动腔分
别开设在台体中间和台体一侧的位置，所述台体中间的滑动腔内滑动连接有第一活塞块，第一活塞块上端面中间位置固定连接有推杆，推杆与台体滑动连接，推杆上端位于圆槽内的一端固定连接有顶块，所述推杆位于第一活塞块和滑动腔上端面之间的位置穿设有弹簧，所述台体上还设有用于推动第一活塞块上下移动的推动组件。
12.作为本实用新型再进一步的方案：所述推动组件包括第二活塞块，所述第二活塞块滑动连接在台体一侧的滑动腔内，两个滑动腔之间还设有导液通道，导液通道内设有液压油，所述第二活塞块上端面中间固定连接有压杆，压杆与台体滑动连接。
13.作为本实用新型再进一步的方案：所述压杆上端固定连接有压片。
14.作为本实用新型再进一步的方案：所述台体下端面贴设有橡胶材质的防滑垫。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
16.1、本实用新型通过设置的调整组件，可在使用时对滑动块和限位块的位置进行同步调整，进而避免了会出现限位块的调整不一致导致的中心位置偏离的情况。
17.2、本实用新型通过设置的多个限位块共同对晶圆进行限位，可满足多种形状以及直径不同的晶圆限位，避免了采用弧形板会出现的弧度不贴合的情况。
18.3、本实用新型通过设置的顶块可在使用时通过推动组件进行推动上升，进而可在晶圆测试完成后将晶圆从限位块组成的限位区内顶出，使得对晶圆的取拾更加的方便。
附图说明
19.图1为一种用于探针机的晶圆承载台的结构示意图。
20.图2为一种用于探针机的晶圆承载台的剖视结构示意图。
21.图3为一种用于探针机的晶圆承载台图2中a处的结构示意图。
22.图4为一种用于探针机的晶圆承载台中螺纹套的结构示意图。
23.图5为一种用于探针机的晶圆承载台中限位块的结构示意图。
24.图6为一种用于探针机的晶圆承载台中限位槽的截面结构示意图。
25.其中：1、台体；2、压杆；3、同步带轮；4、限位块；5、顶块；6、转动轴；7、同步带；8、圆槽；9、限位槽；10、转动柄；11、连接孔；12、第一锥齿轮；13、第一活塞块；14、弹簧；15、液压油；16、第二活塞块；17、推杆；18、滑动块；19、螺纹套；20、螺纹杆；21、安装腔；22、滑动腔；23、第二锥齿轮。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.实施例1
28.请参阅图1-图6，本实用新型实施例中，一种用于探针机的晶圆承载台，包括台体1，所述台体1上端面中间位置开设有圆槽8，所述台体1上端面以顶块5为中心阵列开设有至少六个限位槽9，所述限位槽9内均滑动连接有滑动块18，所述滑动块18上端穿出限位槽9的位置固定连接有限位块4，台体1内部远离圆槽8的一侧靠近限位槽9的位置均开设有安装腔
21，所述安装腔21和限位槽9之间均开设有连接孔11，所述安装腔21内安装有用于调整滑动块18位置的调整组件；本实用新型通过设置的多个限位块4共同对晶圆进行限位，可满足多种形状以及直径不同的晶圆限位，避免了采用弧形板会出现的弧度不贴合的情况。
29.所述调整组件包括螺纹套螺纹套19，所述螺纹套螺纹套19转动连接在连接孔11内，所述连接孔11远离螺纹套螺纹套19的一端安装有第一锥齿轮12，所述螺纹套螺纹套19内螺纹连接有螺纹杆20，所述螺纹杆20靠近限位槽9的一端与滑动块18固定连接，所述台体1上端面均设有用于驱动第一锥齿轮12进行转动的驱动组件。本实用新型通过设置的调整组件，可在使用时对滑动块18和限位块4的位置进行同步调整，进而避免了会出现限位块4的调整不一致导致的中心位置偏离的情况。
30.所述驱动组件包括转动轴6，所述安装腔21靠近限位槽9的一侧均转动连接有转动轴6，转动轴6上端穿出台体1的位置固定连接有同步带轮3，所述转动轴6下端固定连接有第二锥齿轮23，所述第二锥齿轮23与第一锥齿轮12相啮合，所述同步带轮3之间安装有同步带7，所述台体1一侧的转动轴6上端穿出同步带轮3的位置固定连接有转动柄10。在调整时通过旋转转动柄10使转动轴6进行转动，在同步带轮3和同步带7的作用下可使六个转动轴6进行同步转动，转动轴6转动驱动第二锥齿轮23转动，第二锥齿轮23转动驱动第一锥齿轮12和螺纹套19转动，螺纹套19转动驱动螺纹杆20进行移动，进而实现对滑动块18和限位块4的同步调整。
31.所述圆槽8内还安装有用于对放置的晶圆顶出的顶出组件；所述顶出组件包括滑动腔22，两个所述滑动腔22分别开设在台体1中间和台体1一侧的位置，所述台体1中间的滑动腔22内滑动连接有第一活塞块13，第一活塞块13上端面中间位置固定连接有推杆17，推杆17与台体1滑动连接，推杆17上端位于圆槽8内的一端固定连接有顶块5，所述推杆17位于第一活塞块13和滑动腔22上端面之间的位置穿设有弹簧14，所述台体1上还设有用于推动第一活塞块13上下移动的推动组件；本实用新型通过设置的顶块5可在使用时通过推动组件进行推动上升，进而可在晶圆测试完成后将晶圆从限位块4组成的限位区内顶出，使得对晶圆的取拾更加的方便。
32.所述推动组件包括第二活塞块16，所述第二活塞块16滑动连接在台体1一侧的滑动腔22内，两个滑动腔22之间还设有导液通道，导液通道内设有液压油15，所述第二活塞块16上端面中间固定连接有压杆2，压杆2与台体1滑动连接；所述压杆2上端固定连接有压片；通过按压压杆2上端的压片，使压杆2和第二活塞块16向下移动，第二活塞块16向下移动推动液压油15，液压油15推动第一活塞块13上升，第一活塞块13上升驱动推杆17和顶块5上升，进而可通过顶块5将晶圆顶起，方便对晶圆取拾。
33.实施例2
34.与实施例1相区别的是：所述台体1下端面贴设有橡胶材质的防滑垫；通过设置的防滑垫，可增加台体1与放置面的摩擦力，避免在使用时因打滑出现移动。
35.本实用新型的工作原理是：本实用新型在使用时，现根据晶圆的大小对限位块4的位置进行调整，在调整时通过旋转转动柄10使转动轴6进行转动，在同步带轮3和同步带7的作用下可使六个转动轴6进行同步转动，转动轴6转动驱动第二锥齿轮23转动，第二锥齿轮23转动驱动第一锥齿轮12和螺纹套19转动，螺纹套19转动驱动螺纹杆20进行移动，进而实现对滑动块18和限位块4的同步调整，可使该承载台能适用于不同大小的晶圆，当晶圆测试
完成后，可通过按压压杆2上端的压片，使压杆2和第二活塞块16向下移动，第二活塞块16向下移动推动液压油15，液压油15推动第一活塞块13上升，第一活塞块13上升驱动推杆17和顶块5上升，进而可通过顶块5将晶圆顶起，方便工作人员取拾，取拾后松开压杆2，第一活塞块13和顶块5在弹簧14的作用下恢复到初始位置，使得在使用上更加方便。
36.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。