折射率可控设备的相位校准装置和相位校准方法与流程

1.本公开的实施例涉及一种折射率可控设备的相位校准装置和相位校准方法。


背景技术：

2.相位型空间光调制器具有在可变电信号的驱动下对光波的相位进行调制的功能，即具有相位调制特性。该相位调制的功能直接关系到待使用器件的使用效果，因此，在使用该器件之前，需要对空间光调制器得到的相位调制进行测试，以获取相位调制曲线。通常相位调制的测试方法包括衍射法和干涉法，衍射法受外界环境的影响小，但运算的过程比较复杂。干涉法主要是基于干涉的原理进行测试，大部分的测试方法都是通过给空间光调制器逐次加载不同的灰度图像进行干涉，从而得到干涉图像的偏移量，再根据该偏移量进行后期的数据处理。
3.例如，反射式相位型空间光调制器的测试方法通常为：将显示图像划分为上部分和下部分，上部分的灰阶保持不变，下部分的灰阶在0～255变化，这种干涉条纹的计算结果实际上是下部分相对于上部分的相移，通过该种方法测试得到的相移特性具有测试不均匀和测试结果具有局部性的缺陷。


技术实现要素：

4.本公开的实施例涉及一种折射率可控设备的相位校准装置和相位校准方法，该折射率可控设备的相位校准装置的结构简单，且采用该相位校准装置进行测试的过程简单，测试的结果的稳定性高，使得相位校准的过程变得更易实施，该种相位校准装置还可以降低光路的复杂程度，结构稳定且测试结果可靠，可以消除普通干涉仪对于高稳定性设备平台的依赖，且通过该种结构进行相位校准时对环境振动等会导致干涉条纹抖动的因素不敏感。
5.本公开至少一实施例提供一种折射率可控设备的相位校准装置,该折射率可控设备的相位校准装置包括：光路系统；图像施加模块，配置为对所述折射率可控设备加载光栅图像和灰度图像的混合图像；和图像接收模块，配置为接收由所述混合图像经干涉成的干涉图像。
6.例如，在本公开至少一实施例提供的折射率可控设备的相位校准装置中，所述光路系统包括依次设置的激光发生模块和准直模块，所述激光发生模块配置为形成激光束；所述准直模块配置为对所述激光束进行准直处理。
7.例如，在本公开至少一实施例提供的折射率可控设备的相位校准装置中，所述光路系统还包括设置在所述准直模块的远离所述激光发生模块一侧的宽度调整模块，所述宽度调整模块配置为对所述干涉图像的宽度进行调整。
8.例如，本公开至少一实施例提供的折射率可控设备的相位校准装置还包括灰度调节模块，其中，所述灰度调节模块与所述折射率可控设备电连接，且所述灰度调节模块配置为调节所述灰度图像的灰度发生变化。
9.例如，在本公开至少一实施例提供的折射率可控设备的相位校准装置中，所述灰度图像的灰阶在0～255的范围内变化。
10.例如，在本公开至少一实施例提供的折射率可控设备的相位校准装置中，所述激光发生模块包括发射红光的红色激光器。
11.本公开至少一实施例还提供一种折射率可控设备的相位校准方法，该折射率可控设备的相位校准方法包括：形成激光束；对所述激光束进行准直处理；在所述折射率可控设备上加载并排设置的光栅图像和灰度图像的混合图像；接收由所述混合图像经干涉成的干涉图像；对测试区域的所述灰度图像的灰度进行调节以改变亮条纹的位置以对相位进行校准。
12.例如，在本公开至少一实施例提供的相位校准方法中，所述加载灰度图像包括：将所述灰度图像的灰阶从零灰度级增加至255灰度级。
13.例如，本公开至少一实施例提供的相位校准方法，还包括从所述干涉图像中获取亮度数据，并通过所述亮度数据确定所述干涉图像对应的相位位移量
14.例如，在本公开至少一实施例提供的相位校准方法中，通过所述亮度数据确定所述干涉图像对应的相位位移量包括：将从所述干涉图像中获取的离散的亮度数据平均后再进行拟合形成波形线，通过傅里叶变换确定所述波形线频谱中幅值最大的主频率，然后从相位谱中确定所述干涉图像对应的相位位移量。
15.例如，在本公开至少一实施例提供的相位校准方法中，所述光栅图像和所述灰度图像形成的所述干涉图像的亮度分布产生位置移动，所述干涉图像的亮条纹的周期性强弱随着图像接收模块上的位置变化的表达式为i(x，g)＝i0 δi
·
cos(2π
·
x/p φ0 δφ(g))，其中，i0为标准光的平均强度，δi为亮度变化最大值的一半，δφ(g)为灰阶导致的相位变化，φ0为灰阶为0的相位，p为亮条纹的周期，x为所述干涉图像的亮条纹在所述图像接收模块上的位置。
16.例如，在本公开至少一实施例提供的相位校准方法中，在对所述激光束进行准直处理之前，还包括采用显微镜进行扩束，以及采用针孔进行滤波。
附图说明
17.为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本公开的限制。
18.图1为一种迈克耳孙干涉仪的结构示意图；
19.图2为本公开至少一实施例提供的一种折射率可控设备的相位校准装置的结构示意图；
20.图3为本公开一实施例中光栅图像和灰度图像的混合图像的示意图；
21.图4为本公开至少一实施例提供的一种相位校准方法的流程图；
22.图5为本公开至少一实施例提供的灰阶为零时的干涉图像；
23.图6为对从图5中对应y1等于850的直线和y2等于950的直线之间提取的数据平均后再进行拟合得到的曲线；
24.图7为图6中的干涉图像通过信号处理后提取出的主要频率的波形线；
25.图8为本公开至少一实施例提供的不同的灰阶下在y1等于850的直线与y2等于950
的直线之间的干涉图像通过信号处理后提取出的主要频率的波形线；以及
26.图9为本公开至少一实施例提供的相位与灰阶对应的关系图。
具体实施方式
27.为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
28.除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
29.超表面光相控阵的相位随着设备的折射率的改变而变化，相位可以通过设备的折射率来进行标定。通常，折射率的测试方法为干涉法，比较常见的用于检测折射率的光学干涉仪为迈克耳孙干涉仪，折射率的改变会改变干涉仪所产生的干涉图样，然后根据干涉图样来对相位进行校准。但是，迈克耳孙干涉仪的搭建需要十分精密的操作过程和良好的测试平台，最终得到的实验结果对微小的位移十分敏感，并且基于激光器的相干长度对光程有一定的要求，采用迈克耳孙干涉仪进行测试所需要的人力和物力的成本都相当高。
30.例如，图1为一种迈克耳孙干涉仪的结构示意图，如图1所示，激光光源011发射激光光束，激光光束到达准直器012进行准直处理，经过准直处理的激光光束到达分束器013，分束器013将激光光束分为测试光束022和参考光束021，参考光束021通过第一反射镜016反射后到达第二反射镜017，并通过第二反射镜017反射后到达第一光电探测器019，然后通过第一光电探测器019进行检测；测试光束022通过相位控阵014后到达第三反射镜015，测试光束022通过第三反射镜015反射后到达第二光电探测器018，并通过第二光电探测器018对测试光束022进行检测，该迈克耳孙干涉仪中所用到的光学结构很多，而且光路相对复杂，容易出现微小的位移偏差带来的测试不准确的问题，即不仅设备成本高，测试所需要的周期长，而且还会出现测试结果不准确的问题，因此，需要设计一种折射率可控设备的相位校准装置使得测试方案变得简单，让校准过程变得更容易实施。相位校准装置的结构还需要十分稳固，不容易出现微小的位移带来的测试误差的问题。本公开的发明人注意到可以基于结构更简单的相位校准装置，根据所施加的图像的不同进行测试，以使得测试方案变得简单，且使得测试结果的信赖性更高。
31.本公开的实施例涉及一种折射率可控设备的相位校准装置和相位校准方法，该折射率可控设备的相位校准装置包括：光路系统、图像施加模块和图像接收模块；该图像施加模块配置为对折射率可控设备加载光栅图像和灰度图像的混合图像；该图像接收模块配置为接收由混合图像经干涉成的干涉图像。该折射率可控设备的相位校准装置的结构简单，
且采用该相位校准装置进行测试的过程简单，测试的结果的稳定性高，使得相位校准的过程变得更易实施，该种相位校准装置还可以降低光路的复杂程度，结构稳定且测试结果可靠，可以消除普通干涉仪对于高稳定性设备平台的依赖，且通过该种结构进行相位校准时对环境振动等会导致干涉条纹抖动的因素不敏感。
32.例如，图2为本公开至少一实施例提供的一种折射率可控设备的相位校准装置的结构示意图，如图2所示，该折射率可控设备的相位校准装置100包括：光路系统110、图像施加模块120和图像接收模块130，该图像施加模块120配置为对折射率可控设备加载光栅图像和灰度图像的混合图像，该图像接收模块130配置为接收由混合图像经干涉成的干涉图像。例如，该光路系统110、图像施加模块120和图像接收模块130可以沿着一条直线设置，即该光路系统110、图像施加模块120和图像接收模块130同轴设置，也可以在中间通过设置反射结构以使得光路系统110、图像施加模块120和图像接收模块130不设置在一条直线上，本公开的实施例对此不作限定。
33.需要说明的是，该折射率可控设备的相位校准装置也可以称作为相位测试装置，即可以实现对在不同的灰阶下对相位的测试。
34.例如，该折射率可控设备的相位校准装置不仅可以在一维方向上对折射率可控设备的不同区域进行控制，还可以在二维方向上对折射率可控设备的不同区域进行控制。
35.例如，该光栅图像可以为二元垂直的衍射光栅，以使得后续能够在图像接收模块130上接收由混合图像经干涉成的干涉图像。
36.例如，如图2所示，该光路系统110包括依次设置的激光发生模块111和准直模块112，该激光发生模块111固定在平台上且配置为形成激光束，该准直模块112配置为对激光束进行准直处理。例如，该激光发生模块111固定在平台上，可以将起到滤波作用的针孔放置在准直模块112的焦点位置处，还可以将偏振模块放置在准直模块112之后，激光发生模块111形成的激光束通过准直模块112后得到平行光束，该平行光束小角度入射至图像施加模块120，图像接收模块130采集出射光束的干涉条纹。
37.例如，如图2所示，该光路系统110还包括设置在准直模块112的远离激光发生模块111一侧的宽度调整模块113，该宽度调整模块113配置为对干涉图像的宽度进行调整。在一些情况下，从图像施加模块120出射的光束的宽度很窄，如果不对该光束的宽度进行放大，图像接收模块130上接收的干涉图像中的干涉条纹不清晰，从而无法准确地进行后续的计算工作。即该宽度调整模块113可以使得单个条纹占据更多的图像接收模块上的像素，以提高实验结果的精度，并可以分析微小的相位变化。在另一些情况下，如果从图像施加模块120出射的光束的宽度合适，就不需要对光束的宽度进行放大。
38.例如，在一个示例中，该折射率可控设备的相位校准装置100还包括灰度调节模块121，该灰度调节模块121与折射率可控设备电连接，且该灰度调节模块121配置为调节灰度图像的灰度发生变化，该灰度调节模块121通过改变施加的电压的大小，使得灰度图像的灰度发生变化，从而该图像接收模块130可以接收清晰的明暗相间的条纹图案。该光栅图像没有经过相位调制，但是灰度图像经过了相位调制，光栅图像和灰度图像的混合图像经干涉形成干涉图像，随着灰度调节模块121施加的电压值的增大，即随着加载的灰阶的递增，干涉条纹将发生向沿着垂直于干涉条纹的延伸方向的方向移动，然后采用相对条纹移动法可以计算出相位调制量。
39.例如，在一个示例中，该光栅图像和灰度图像并排设置，且该光栅图像和灰度图像并排设置是指在一个混合图像中，左半部分为光栅图像，右半部分为灰度图像；或者，左半部分为灰度图像，右半部分为光栅图像。
40.例如，在一个示例中，在该折射率可控设备的相位校准装置中，该灰度图像的灰阶在0～255的范围内变化，例如，可以是灰阶在0～255的范围内依次变化，即通过灰度调节模块121施加到折射率可控设备上的电压值发生变化，从而使得灰度图像的灰度发生变化，以使得最终形成的干涉图像发生变化，出现亮条纹向沿着垂直于干涉条纹的延伸方向的方向移动。当灰度级为零时，其显示为黑色，其他数值的灰度级对应的灰度图像显示为灰色。例如，图3为本公开一实施例中光栅图像和灰度图像的混合图像的示意图，在图3中示出了四个混合图像，从上到下依次为第一个混合图像(图3中(a)所示)、第二个混合图像(图3中(b)所示)、第三个混合图像(图3中(c)所示)和第四个混合图像(图3中(d)所示)，从上到下灰度图像的灰度逐渐增加，第一个混合图像中灰度级为零，为全黑状态；第二个混合图像、第三个混合图像、第四个混合图像的灰度级逐渐增大，直到第四个混合图像中显示为全白状态。随着灰度级的增加，干涉条纹将发生向沿着垂直于干涉条纹的延伸方向的方向移动，通过干涉条纹的向沿着垂直于干涉条纹的延伸方向的方向移动的距离可以计算对应的相位调制量。
41.例如，在一个示例中，在该折射率可控设备的相位校准装置中，该激光发生模块111包括发射红光的红色激光器，该发射的红光的波长为638nm。当然，在本公开的实施例中，还可以选择发射绿光的绿色激光器，该发射的绿光的波长为532nm；或者，还可以选择发射蓝光的蓝色激光器，该发射的蓝光的波长为445nm；或者，还可以选择发射红外光的红外光激光器；或者，还可以选择发射紫外光的紫外光激光器，本公开的实施例对此不作限定，其中，红色激光器发射的红色激光的能量相对于绿色激光器发射的绿色激光和蓝色激光器发射的蓝色激光的能量更大。
42.本公开至少一实施例还提供一种折射率可控设备的相位校准方法，例如，图4为本公开至少一实施例提供的一种相位校准方法的流程图，如图4所示，该折射率可控设备的相位校准方法包括以下步骤。
43.s11：形成激光束。
44.s12：对激光束进行准直处理。
45.s13：在折射率可控设备上加载并排设置的光栅图像和灰度图像的混合图像。
46.s14：接收由混合图像经干涉成的干涉图像。
47.s15：对测试区域的灰度图像的灰度进行调节以改变亮条纹的位置以对相位进行校准。
48.例如，可以采用激光发生模块形成激光束，该激光发生模块可以为发射红光的红色激光器，该发射的红光的波长为638nm；也可以选择为发射绿光的绿色激光器，该发射的绿光的波长为532nm；或者，还可以选择发射蓝光的蓝色激光器，该发射的蓝光的波长为445nm；或者，还可以选择发射红外光的红外光激光器；或者，还可以选择发射紫外光的紫外光激光器，本公开的实施例对此不作限定。
49.例如，可以采用准直模块对由激光发生模块形成的激光束进行准直处理，激光束通过准直模块进行准直处理后可以得到平行光束。
50.例如，该加载灰度图像包括：将灰度图像的灰阶从零灰度级增加至255灰度级，例如，可以是将灰阶从零灰度级逐步增加至255灰度级。例如，通过灰度调节模块施加到折射率可控设备上的电压值发生变化，从而使得灰度图像的灰度发生变化，以使得最终形成的干涉图像发生变化，出现亮条纹向沿着垂直于干涉条纹的延伸方向的方向移动。当灰度级为零时，其显示为黑色，其他数值的灰度级对应的灰度图像显示为灰色。
51.例如，在折射率可控设备上加载的光栅图像可以为二元垂直的衍射光栅，该光栅图像没有经过相位调制，但是灰度图像经过了相位调制，光栅图像和灰度图像的混合图像经干涉形成干涉图像，随着灰度调节模块施加的电压值的增大，即随着加载的灰阶的递增，干涉条纹将发生向沿着垂直于干涉条纹的延伸方向的方向移动，然后采用相对条纹移动法可以计算出相位调制量。
52.例如，光栅图像和灰度图像并排设置是指在一个混合图像中，左半部分为光栅图像，右半部分为灰度图像；或者，左半部分为灰度图像，右半部分为光栅图像。
53.例如，图5为本公开至少一实施例提供的灰阶为零时的干涉图像，如图5所示，在灰阶为零时，横坐标示出了0～1200个像素，纵坐标示出了0～1000个像素，y1表示在纵坐标上的第850个像素时横坐标上第800个像素到第1150个像素对应的直线，y2表示在纵坐标上的第950个像素时横坐标上第800个像素到第1150个像素对应的直线。图6为对从图5中对应y1等于850的直线和y2等于950的直线之间提取的数据在同一个横坐标的数值下对纵坐标的数据平均后得到的散点再进行拟合得到的曲线，图7为图6中的干涉图像通过信号处理后提取出的主要频率的波形线。
54.例如，如图5所示，y1等于850的直线对应于横坐标的范围为x等于800～1150，y2等于950的直线对应于横坐标的范围为x等于800～1150，即在图5中示出的两条直线相互平行且沿着横坐标覆盖的范围相同。从图5中可以看出，y1等于850的直线对应于4条亮条纹，并对应于3条半的暗条纹。在x等于820左右、925左右、1010左右和1100左右时显示出亮条纹，且在x等于1010左右时，亮条纹的亮度最大；在x等于875左右、970左右、1060左右和1140左右时显示出暗条纹，且在x等于875左右时，暗条纹的亮度最小。
55.例如，在图6中，各个散点为从图5中对应y1等于850的直线和y2等于950的直线之间提取的数据在同一个横坐标的数值下对纵坐标的数据进行平均后得到的，波形线是通过上述平均后的各个散点进行拟合形成的。在图6中横坐标表示第800个像素到第1150个像素的位置，纵坐标表示的是图像接受模块接收信号的强度值，信号的强度值越大亮度越高，信号的强度值越小亮度越暗。从图6中可以看出，散点分布在横坐标为800～1150的各个位置处，且在拟合的曲线的波峰或者波谷的位置处散点的分布较密集。在横坐标分别为x等于820左右、925左右、1010左右和1100左右时显示出波峰，即对应于图5中亮条纹的位置处，且在x等于1010左右时，显示出的波峰最高，即对应的图5中亮条纹的亮度最大；在x等于875左右、970左右、1060左右和1140左右时显示出波谷，即对应于图5中暗条纹的位置处，且在x等于875左右时，暗条纹的亮度最小。
56.例如，从图6中可以看出，x等于820左右、925左右、1010左右和1100左右时，对应的强度值分别为23、16、29和21；x等于875左右、970左右、1060左右和1140左右时，对应的强度值分别为4、8、6.5和6。
57.例如，如图7所示，将从干涉图像中获取的离散的亮度数据平均后再进行拟合形成
波形线，通过低通滤波器得到单一的波形线，然后通过傅里叶变换确定波形线频谱中幅值最大的主频率，即确定最高点，然后从相位谱中确定干涉图像对应的相位位移量。图7中的横坐标表示第800个像素到第1150个像素的位置，纵坐标表示灰阶为零时相对的强度值，即图7示出了强度值和亮条纹中心位置的关系。在图7中，是灰阶为0时的波形图，在横坐标为830时对应于第一个峰值，在横坐标为925时对应于第二个峰值，在横坐标为1010时对应于第三个峰值，在横坐标为1100时对应于第四个峰值。
58.图8为本公开至少一实施例提供的不同的灰阶下在y1等于850的直线与y2等于950的直线之间的干涉图像通过信号处理后提取出的主要频率的波形线，即信号的强度值和亮条纹中心位置关系图。y1等于850的直线对应于横坐标的范围为x等于800～1150，y2等于950的直线对应于横坐标的范围为x等于800～1150。例如，在图8中示出了灰阶分别为0、20、40、60、80和100时的波形线。如图8所示，当灰阶为0时，在横坐标x等于925时出现峰值；当灰阶为20时，在横坐标x等于932时出现峰值；当灰阶为40时，在横坐标x等于940时出现峰值；当灰阶为60时，在横坐标x等于948时出现峰值；当灰阶为80时，在横坐标x等于955时出现峰值；当灰阶为100时，在横坐标x等于958时出现峰值。例如，图8中所示的灰阶为零的峰值对应于图7中的第二个峰值。
59.例如，在一个示例中，该光栅图像和灰度图像形成的干涉图像的亮度分布产生位置移动，该干涉图像的亮条纹的周期性强弱随着图像接收模块上的位置变化的表达式为i(x，g)＝i0 δi
·
cos(2π
·
x/p φ0 δφ(g))，其中，i0为标准光的平均强度，δi为亮度变化最大值的一半，δφ(g)为灰度导致的相位变化，φ0为灰阶为0的相位，p为亮条纹的周期，x为干涉图像的亮条纹在图像接收模块上的位置。例如，结合图8，i0为标准光的平均强度，即为亮条纹和暗条纹的亮度的平均值，是标量，i0可以通过图8中各个位置的平均值进行计算得出，δi为亮度变化最大值的一半，即为曲线在y轴上的中间位置的数值与最大值之间的差值。δφ(g)为灰度导致的相位变化，即为上述计算出的相位调制量φ。
60.例如，可以通过图像接收模块接收的干涉图像在计算机程序上运行得到不同的灰阶值对应的相位，再根据相位得出折射率可控设备对应的折射率。
61.例如，图9为本公开至少一实施例提供的相位与灰阶对应的关系图，如图9所示，n1线为在相位为0π时，指示的纵坐标为0的直线；n2线为在相位为0.617π时，指示的纵坐标为0.617π的直线；n3线为在相位为0.7π时，指示的纵坐标为0.7π的的直线。其他的散点为对应的相位在0π和0.617π之间时，不同的灰阶值对应的相位的数值，即类似于查询表，在已知某个灰阶数值的条件下，可以查询对应的相位的数值。
62.例如，在一个示例中，当灰阶为0时，对应的相位为1.7；当灰阶为50时，对应的相位为0.8；当灰阶为100时，对应的相位为0.3；当灰阶为150时，对应的相位为0.15；当灰阶为200时，对应的相位为0.01；当灰阶为250时，对应的相位为0。即不加电压，灰阶为0时，对应的相位为1.7，通过施加的电压的改变，可以使得折射率可控设备的折射率发生变化，从而可以获得其他的灰阶值，以及其他的灰阶值对应的相位。
63.例如，在一个示例中，灰阶为0时的相位为1.7，灰阶为50时的相位为0.8，则可以得出灰阶为0和灰阶为50之间的相位变化为0.9。
64.例如，在一个示例中，灰阶为50时的相位为0.8，灰阶为100时的相位为0.3，则可以得出灰阶为50和灰阶为100之间的相位变化为0.5。
65.例如，在一个示例中，灰阶为100时的相位为0.3，灰阶为150时的相位为0.15，则可以得出灰阶为100和灰阶为150之间的相位变化为0.15。
66.例如，在一个示例中，灰阶为150时的相位为0.15，灰阶为200时的相位为0.01，则可以得出灰阶为150和灰阶为200之间的相位变化为0.14。
67.例如，在一个示例中，灰阶为200时的相位为0.01，灰阶为250时的相位为0，则可以得出灰阶为200和灰阶为250之间的相位变化为0.01。
68.以下采用其他灰阶值和灰阶为0时的相位进行比较，得到其他灰阶值对应的相位和灰阶为0时的相位之间的相位差，则可以以灰阶为0时的相位为基准，根据该相位差的大小，可以反推对应的折射率可控设备的折射率的大小，进而可以得到所需施加的电压的大小。
69.例如，在一个示例中，灰阶为0时的相位为1.7，灰阶为50时的相位为0.8，则可以得出灰阶为0和灰阶为50时的相位差为0.9，根据该相位差的大小可以得出对应的灰阶为50时需要施加的电压的大小。
70.例如，在一个示例中，灰阶为0时的相位为1.7，灰阶为100时的相位为0.3，则可以得出灰阶为0和灰阶为100时的相位差为1.4，根据该相位差的大小可以得出对应的灰阶为100时需要施加的电压的大小。
71.例如，在一个示例中，灰阶为0时的相位为1.7，灰阶为150时的相位为0.15，则可以得出灰阶为0和灰阶为150时的相位差为1.55，根据该相位差的大小可以得出对应的灰阶为150时需要施加的电压的大小。
72.例如，在一个示例中，灰阶为0时的相位为1.7，灰阶为200时的相位为0.01，则可以得出灰阶为0和灰阶为200时的相位差为1.69，根据该相位差的大小可以得出对应的灰阶为200时需要施加的电压的大小。
73.例如，在一个示例中，灰阶为0时的相位为1.7，灰阶为250时的相位为0，则可以得出灰阶为0和灰阶为250时的相位差为1.7，根据该相位差的大小可以得出对应的灰阶为250时需要施加的电压的大小。
74.例如，在一个示例中，在对激光束进行准直处理之前，还包括采用显微镜进行扩束，经过扩束后的激光束到达图像接收模块后的宽度变大，以便于后续亮条纹和暗条纹的位移的测量，即可以使得图像接收模块上接收的干涉图像中的干涉条纹更加清晰，从而可以准确地进行后续的计算工作。该显微镜的作用类似于宽度调整模块的作用。
75.例如，在一个示例中，在对激光束进行准直处理之前，还包括采用针孔进行滤波。例如，该起到滤波作用的针孔放置在准直模块的焦点位置处，该针孔可以去除出射的激光束中的杂质。
76.本公开至少一实施例提供的折射率可控设备的相位校准装置和相位校准方法具有以下至少一项有益技术效果：
77.(1)本公开至少一实施例提供的折射率可控设备的相位校准装置，其结构简单，且采用该相位校准装置进行测试的过程简单，且测试的结果稳定性高。
78.(2)本公开至少一实施例提供的折射率可控设备的相位校准装置，其结构稳定且测试结果可靠，可以消除普通干涉仪对于高稳定性设备平台的依赖，且通过该种结构进行相位校准时对环境振动等会导致干涉条纹抖动的因素不敏感。
79.(3)本公开至少一实施例提供的相位校准方法，通过采用上述折射率可控设备的相位校准装置，可以使得校准的过程更易实施。
80.有以下几点需要说明：
81.(1)本公开实施例附图只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。
82.(2)为了清晰起见，在用于描述本公开的实施例的附图中，层或区域的厚度被放大或缩小，即这些附图并非按照实际的比例绘制。
83.(3)在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。
84.以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。