一种具有晶圆干燥摆动机构的干燥装置的制作方法

技术特征：
1.一种具有晶圆干燥摆动机构的干燥装置，其特征在于，其结构包括干燥腔、盖在干燥腔上端的盖体、设置在干燥腔内部的摆动结构、用以驱动摆动结构摆动的驱动装置；所述干燥腔的底部一侧设有用以向干燥腔内注入异丙醇液体的异丙醇注入管，干燥腔的底部设有用以将干燥腔内异丙醇液体排出的异丙醇排放管；在靠近干燥腔上端的位置设有向干燥腔注入加热氮气的氮气加注管，在靠近干燥腔上端侧壁的位置设有氮气排放管；干燥腔内靠近干燥腔上端边缘设有溢流槽，溢流槽的底部设有用以溢流槽内溢流液体排放的溢流排放管。2.根据权利要求1所述的一种具有晶圆干燥摆动机构的干燥装置，其特征在于，所述摆动机构包括摆动平台、支撑在摆动平台下端中部的支撑部，摆动活动安装在支撑部上，支撑部固定在干燥腔内，摆动平台可以沿着支撑部周期旋转。3.根据权利要求2所述的一种具有晶圆干燥摆动机构的干燥装置，其特征在于，所述驱动装置包括电机、驱动轮、联动杆、导向装置、驱动杆，所述驱动轮一侧设有传动轴，所述驱动轮另外一侧设有偏心轴，所述电机与传动轴同轴连接，所述联动杆的一端与偏心轴活动连接，所述联动杆的另外一端活动连接驱动杆一端，所述驱动杆一侧设有限制驱动杆直线运动的导向装置；所述驱动杆另外一端传动连接到摆动平台的一端上部。4.根据权利要求3所述的一种具有晶圆干燥摆动机构的干燥装置，其特征在于，所述盖体上设有用以驱动杆穿过的孔。5.根据权利要求3所述的一种具有晶圆干燥摆动机构的干燥装置，其特征在于，所述电机安装在电机安装座上；所述电机导向装置包括导向导轨、导向板，所述导向导轨固定在电机安装座上，所述导向板配合导向导轨安装，导向板可相对导向导轨上下滑动；所述联动杆一端活动连接到导向板；所述驱动杆的一端与导向板固定连接，所述驱动杆的另外一端与摆动平台活动连接。6.根据权利要求2所述的一种具有晶圆干燥摆动机构的干燥装置，其特征在于，所述摆动平台上端设有晶圆盒安装槽，所述晶圆盒活动嵌入晶圆盒安装槽内。7.根据权利要求1所述的一种具有晶圆干燥摆动机构的干燥装置，其特征在于，所述干燥腔的底部设有倾斜的底板，所述底板呈v型分布在干燥腔的底部，所述异丙醇排放管设置在v型分布的底板的中心底部。8.根据权利要求1所述的一种具有晶圆干燥摆动机构的干燥装置，其特征在于，所述盖体下端设有若干喷气口，所述喷气口连接到氮气加注管；所述氮气排放管设置在溢流槽的侧壁上。9.根据权利要求1所述的一种具有晶圆干燥摆动机构的干燥装置，其特征在于，所述干燥腔外部还设有用以监测干燥腔内液位高度的液位检测装置。

技术总结
本实用新型涉及一种具有晶圆干燥摆动机构的干燥装置，包括干燥腔、盖在干燥腔上端的盖体、设置在干燥腔内部的摆动结构、用以驱动摆动结构摆动的驱动装置；干燥腔的底部一侧设有用以向干燥腔内注入异丙醇液体的异丙醇注入管，干燥腔的底部设有用以将干燥腔内异丙醇液体排出的异丙醇排放管；在靠近干燥腔上端的位置设有向干燥腔注入加热氮气的氮气加注管，在靠近干燥腔上端侧壁的位置设有氮气排放管；干燥腔内靠近干燥腔上端边缘设有溢流槽，溢流槽的底部设有用以溢流槽内溢流液体排放的溢流排放管。本实用新型通过摆动机构破坏晶圆表面水分子与高深宽比的空隙之间的表面张力，反向使空乏区的水分不断被析出，提升干燥效果。提升干燥效果。提升干燥效果。


技术研发人员：邓信甫 黄茂烘 陈丁堃
受保护的技术使用者：上海至纯洁净系统科技股份有限公司
技术研发日：2022.01.27
技术公布日：2022/8/30