一种并行式涂胶显影设备的制作方法

1.本实用新型涉及涂胶显影设备技术领域，尤其是一种并行式涂胶显影设备。


背景技术：

2.现有半导体加工的光刻工艺中，涂胶设备、光刻设备和显影设备分别完成光刻胶涂布工艺流程、光刻工艺流程以及显影工艺流程。随着半导体加工工艺水平的提升，市场主流将涂胶显影设备与光刻设备连接在一起从而完成整套光刻工艺流程，其中通常把涂胶工艺流程和显影工艺流程集成在同一设备上。
3.参照现有公开号为cn212460312u的中国专利，其公开了一种涂胶显影设备，包括载体块；接口块；第一工艺模块包括液体处理模块以及设置于所述液体处理模块相对两侧的第一热处理模块和第二热处理模块；其中，所述第一热处理模块包括两层层叠设置的第一热处理单元，所述液体处理模块包括四层层叠设置的液体处理单元，所述第二热处理模块包括两层层叠设置的第二热处理单元，且每一层所述第一热处理单元和每一层所述第二热处理单元均具有两个相适配的机械手；第二工艺模块与所述第一工艺模块的结构相同，且与所述第一工艺模块对称设置。
4.上述涂胶显影设备大幅度减少了单个机械手的搬运行程，增加了相同时间内搬运晶圆的数量，提高了效率。但是上述涂胶显影设备依旧存在着一些缺点，如：上述涂胶显影设备不具备并行传输机构且对涂胶后产品的烘干不够均匀。


技术实现要素：

5.针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种并行式涂胶显影设备，以解决背景技术中提到涂胶显影设备不具备并行传输机构且对涂胶后产品的烘干不够均匀的问题。
6.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
7.一种并行式涂胶显影设备，包括传输机构，沿所述传输机构的传输方向依次设有机械手和烘干箱，所述传输机构穿过所述烘干箱，所述传输机构包括并行设置的第一传输带和第二传输带，所述第一传输带和第二传输带分别由独立的动力机构控制；所述机械手设置在所述传输机构的两侧，所述烘干箱的外侧壁固定设有鼓风机和加热箱，所述烘干箱的内壁朝向所述传输机构的方向固定设有出风装置，所述鼓风机、加热箱和出风装置之间通过风管连通，所述出风装置朝向所述传输机构的面设有多个出风槽，所述出风槽上设有多个出风孔，多个所述出风槽沿所述传输机构的传输方向在所述出风装置上平行分布。
8.进一步的，所述烘干箱和所述风管的连接处设有进气阀，所述进气阀与所述烘干箱的外侧壁可拆卸连接。
9.通过采用上述技术方案，进气阀可以调节进风量，从而控制出风装置的出风量和风速。
10.进一步的，所述加热箱的内部设有电热丝，所述电热丝沿风的传输方向呈波纹状
弯曲延伸。
11.通过采用上述技术方案，该设计增大了进风与电热丝的接触面积，提高了对风的加热效率。
12.进一步的，所述机械手上安装有用于涂胶的胶枪。
13.通过采用上述技术方案，胶枪用于给产品涂胶，同时胶枪可以进行胶水的补充及更换。
14.进一步的，所述出风装置上开设有进风道，所述出风装置的内部对应于所述进风道的位置处固定安装有风扇。
15.通过采用上述技术方案，风扇可以将从进风道进入的热风进行扩散，进而使得热风充满整个出风装置，使得热风可以从多个出风孔中流出。
16.进一步的，所述风扇包括保护罩和扇叶，所述保护罩固定在所述出风装置上，所述扇叶通过转轴转动连接在所述保护罩上。
17.通过采用上述技术方案，保护罩起到对扇叶的支撑和保护作用，扇叶能够对气流进一步扩散。
18.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
19.1、该实用新型的传输机构包括并行设置的第一传输带和第二传输带，第一传输带和第二传输带分别由独立的动力机构控制，并行式的传输机构能够在第一传输带或者第二传输带其中一个出故障时，另一个能够独立工作，提高了设备的容错率；其次，在产能充足的情况下，可以停掉其中一个传输带，节约能源。
20.2、该实用新型的出风装置上设有多个出风槽，出风槽上开设有多个出风孔，多个出风槽沿传输机构的传输方向在出风装置上平行分布，鼓风机产生并进过加热箱出来的热风可以均匀的，大面积的吹到涂胶后的产品的表面，烘干效果好。
附图说明
21.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
22.图1为本实用新型实施例的主视结构示意图；
23.图2为本实用新型实施例的俯视结构示意图；
24.图3为本实用新型实施例中出风孔的结构示意图；
25.图4为本实用新型实施例中风扇的结构示意图。
26.图中：1、传输机构；101、第一传输带；102、第二传输带；2、机械手；3、烘干箱；4、鼓风机；5、加热箱；6、进气阀；7、风管；8、出风装置；801、出风槽；802、出风孔；803、进风道；9、风扇。
具体实施方式
27.为了使本实用新型的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本实用新型实施例进行进一步详细说明。
28.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“中”“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“侧”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的
方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
29.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.实施例1
31.参考图1-图4，一种并行式涂胶显影设备，包括传输机构1，传输机构1用来传输待加工的产品，沿传输机构1的传输方向依次设有机械手2和烘干箱3，机械手2用于给产品涂胶，烘干箱3对涂胶后的产品进行热处理，为后续的显影工作做准备，传输机构1穿过烘干箱3，传输机构1包括并行设置的第一传输带101和第二传输带102，第一传输带101和第二传输带102分别由独立的动力机构控制，第一传输带101和第二传输带102能够相互独立工作，互不影响，可以提高加工效率；机械手2设置在传输机构1的两侧，烘干箱3的外侧壁固定设有鼓风机4和加热箱5，烘干箱3的内壁朝向传输机构1的方向固定设有出风装置8，鼓风机4、加热箱5和出风装置8之间通过风管7连通，鼓风机4产生的风经过加热箱5加热然后进入出风装置8，出风装置8朝向传输机构1的面设有多个出风槽801，出风槽801上设有多个出风孔802，多个出风槽801沿传输机构1的传输方向在出风装置8上平行分布，热风能够对涂胶后的产品就行均匀地吹干。
32.具体的，参考图1，烘干箱3和风管7的连接处设有进气阀6，进气阀6与烘干箱3的外侧壁可拆卸连接，进气阀6可以调节进风量，从而控制出风装置8的出风量和风速。
33.具体的，参考图1，加热箱5的内部设有电热丝，电热丝沿风的传输方向呈波纹状弯曲延伸，该设计增大了进风与电热丝的接触面积，提高了对风的加热效率。
34.具体的，参考图1，机械手2上安装有用于涂胶的胶枪，胶枪用于给产品涂胶，同时胶枪可以进行胶水的补充及更换。
35.具体的，参考图1，出风装置8上开设有进风道803，出风装置8的内部对应于进风道803的位置处固定安装有风扇9，风扇9可以将从进风道803进入的热风进行扩散，进而使得热风充满整个出风装置8，使得热风可以从多个出风孔802中流出。
36.具体的，参考图1，风扇9包括保护罩和扇叶，保护罩固定在出风装置8上，扇叶通过转轴转动连接在保护罩上，保护罩起到对扇叶的支撑和保护作用，扇叶能够对气流进一步扩散。
37.工作过程，在设备运行时，传输机构1中的第一传输带101和第二传输带102分别将需要涂胶的产品传输到机械手2的位置处，机械手2对产品进行涂胶处理，然后产品传输到烘干箱3的内部，鼓风机4吹风经过加热箱5的加热，热风通过进气阀6进入出风装置8，出风装置8内部的风扇9将进入的热风进行扩散，然后热风从出风装置8的多个出风孔802吹向产品的表面，对产品进行烘干，为下一步显影工作做准备。
38.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本
实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。