一种用于半导体石英环的抛光液供给装置的制作方法

1.本实用新型涉及抛光液供给装置技术领域，更具体为一种用于半导体石英环的抛光液供给装置。


背景技术：

2.半导体用石英环是半导体制造的整个流程中的关键零部件，尤其是对抛光后的半导体用石英环的技术参数要求极高。石英环的抛光加工，需要将石英环放置于粘有聚氨酯抛光皮的大理石上，通过水泵将抛光液输送到抛光皮上进行抛光工作。由于在抛光过程中石英玻璃与抛光皮不断摩擦产生热量，抛光液温度升高，大理石与石英玻璃膨胀变形，因而抛光精度降低，影响抛光品质。而传统的抛光液供给系统则无法解决上述缺陷，降低抛光连续工作时间，影响工作效率。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种用于半导体石英环的抛光液供给装置，解决了目前，在对半导体石英环的加工过程中需要使用抛光液，抛光液在循环使用后温度容易升高，从而影响抛光液的使用效果的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体石英环的抛光液供给装置，包括：支撑架，所述支撑架的侧面设置有储液箱且储液箱的上部设置有输液管，所述支撑架的内侧设置有升降机构且升降机构的侧面设置有支撑板，所述支撑板的上部设置有半导体制冷器且半导体制冷器的输出端设置有制冷端，所述制冷端的内侧设置有冷却管且冷却管与输液管之间相连接，所述冷却管的侧面设置有连接管且连接管的下部连接有分流板，所述分流板的下部设置有若干组喷头，所述支撑板的内部设置有活动槽且活动槽的内部设置有调节杆，所述调节杆的一端延伸至支撑板外部并安装有驱动器，所述调节杆的表面设置有移动块且移动块与分流板之间固定连接。
5.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述升降机构包括设置在支撑架内部的滑动槽且滑动槽的内部设置有电机，所述电机的动力输出端设置有螺杆且螺杆的表面设置有滑动块，所述滑动块与支撑板之间固定连接。
6.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述制冷端呈螺旋式结构设置并均匀缠绕在冷却管的表面。
7.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
8.本实用新型在支撑架的侧面设置有储液箱且储液箱的上部设置有输液管，在支撑架的内侧设置有升降机构且升降机构的侧面设置有支撑板，支撑板的上部设置有半导体制冷器且半导体制冷器的输出端设置有制冷端，制冷端的内侧设置有冷却管且冷却管与输液管之间相连接，此种设置可以在抛光液的输送过程中对其进行冷却，从而避免温度的升高，保证抛光液的使用温度，在冷却管的侧面设置有连接管且连接管的下部连接有分流板，在分流板的下部设置有若干组喷头，在支撑板的内部设置有活动槽且活动槽的内部设置有调
节杆，调节杆的一端延伸至支撑板外部并安装有驱动器，调节杆的表面设置有移动块且移动块与分流板之间固定连接，此种设置可以带动分流板进行横向移动，从而保证增加输送范围和精确度。
附图说明
9.图1为本实用新型整体结构示意图；
10.图2为本实用新型支撑架内部结构示意图；
11.图3为本实用新型支撑板内部结构示意图。
12.图中：1、支撑架；2、储液箱；3、输液管；4、支撑板；5、半导体制冷器；6、驱动器；7、分流板；8、喷头；9、滑动槽；10、电机；11、螺杆；12、滑动块；13、移动块；14、制冷端；15、冷却管；16、连接管；17、温度传感器；18、活动槽；19、调节杆。
具体实施方式
13.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
14.实施例1
15.请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于半导体石英环的抛光液供给装置，包括：支撑架1，所述支撑架1的侧面设置有储液箱2且储液箱2的上部设置有输液管3，所述支撑架1的内侧设置有升降机构且升降机构的侧面设置有支撑板4，所述支撑板4的上部设置有半导体制冷器5且半导体制冷器5的输出端设置有制冷端14，所述制冷端14的内侧设置有冷却管15且冷却管15与输液管3之间相连接，在支撑架1的侧面设置有储液箱2且储液箱2的上部设置有输液管3，在支撑架1的内侧设置有升降机构且升降机构的侧面设置有支撑板4，支撑板4的上部设置有半导体制冷器5且半导体制冷器5的输出端设置有制冷端14，制冷端14的内侧设置有冷却管15且冷却管15与输液管3之间相连接，此种设置可以在抛光液的输送过程中对其进行冷却，从而避免温度的升高，保证抛光液的使用温度，所述冷却管15的侧面设置有连接管16且连接管16的下部连接有分流板7，所述分流板7的下部设置有若干组喷头8，所述支撑板4的内部设置有活动槽18且活动槽18的内部设置有调节杆19，所述调节杆19的一端延伸至支撑板4外部并安装有驱动器6，所述调节杆19的表面设置有移动块13且移动块13与分流板7之间固定连接，在冷却管15的侧面设置有连接管16且连接管16的下部连接有分流板7，在分流板7的下部设置有若干组喷头8，在支撑板4的内部设置有活动槽18且活动槽18的内部设置有调节杆19，调节杆19的一端延伸至支撑板4外部并安装有驱动器6，调节杆19的表面设置有移动块13且移动块13与分流板7之间固定连接，此种设置可以带动分流板7进行横向移动，从而保证增加输送范围和精确度。
16.实施例2
17.如图2所示：所述升降机构包括设置在支撑架1内部的滑动槽9且滑动槽9的内部设置有电机10，所述电机10的动力输出端设置有螺杆11且螺杆11的表面设置有滑动块12，所述滑动块12与支撑板4之间固定连接，通过螺杆11的转动带动滑动块12上下移动，从而调节
支撑板4的高度。
18.实施例3
19.如图3所示：所述制冷端14呈螺旋式结构设置并均匀缠绕在冷却管15的表面，此种设置保证了冷却的均匀性，提高冷却效果。
20.实施例4
21.如图3所示：所述冷却管15采用金属制材质制成，此种设置方便进行换热操作。
22.实施例5
23.如图3所示：所述冷却管15的表面设置有温度传感器17且温度传感器17通过导线与外部控制器之间电性连接，此种设置方便实时监测温度，避免温度过高。
24.在上述实施例中，通过在支撑架1的侧面设置有储液箱2且储液箱2的上部设置有输液管3，在支撑架1的内侧设置有升降机构且升降机构的侧面设置有支撑板4，支撑板4的上部设置有半导体制冷器5且半导体制冷器5的输出端设置有制冷端14，制冷端14的内侧设置有冷却管15且冷却管15与输液管3之间相连接，此种设置可以在抛光液的输送过程中对其进行冷却，从而避免温度的升高，保证抛光液的使用温度，在冷却管15的侧面设置有连接管16且连接管16的下部连接有分流板7，在分流板7的下部设置有若干组喷头8，在支撑板4的内部设置有活动槽18且活动槽18的内部设置有调节杆19，调节杆19的一端延伸至支撑板4外部并安装有驱动器6，调节杆19的表面设置有移动块13且移动块13与分流板7之间固定连接，此种设置可以带动分流板7进行横向移动，从而保证增加输送范围和精确度。
25.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。