一种液位检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体晶片湿法处理的技术领域，具体是一种液位检测装置。


背景技术：

2.目前，半导体湿法处理装置内部一般设置多个储液桶，用于存储设备工艺处理时需要使用的化学品。现有储液桶存在化学用品的使用量及剩余量无法实时检测的问题，容易导致化学液不足时无法及时报警并提示补液。


技术实现要素：

3.为解决上述问题，即解决上述背景技术提出的问题，本实用新型提出了一种液位检测装置，具体技术方案如下：
4.一种液位检测装置，所述检测装置主体为储液桶1，所述储液桶1顶部一侧插入气管2，另一侧插入液路一3和液路二4；所述气管2位于储液桶1外部的部分从进气口21依次串联设置减压阀22、通断阀23、节流阀24和精密压力表25，所述液路一3位于储液桶1外部的部分设置液体通断阀一31，所述液路二4位于储液桶1外部的部分从储液桶1向外依次设置泵41和液体通断阀二42。
5.进一步的，所述精密压力表25输出信号连接至工控机26。
6.进一步的，所述气管2伸入储液桶1的一端伸至所述储液桶1的桶底，另一端进气口21处连接至压缩空气源。
7.进一步的，所述液路一3伸入所述储液桶1的一端伸至储液桶1顶部，另一端连接至化学液源。
8.进一步的，所述液路二4伸入所述储液桶1的一端伸至储液桶1底部，另一端连接至化学液出口。
9.进一步的，所述储液桶1顶部靠近气管2一侧设置排气口11。
10.本实用新型的有益技术效果为：通过气管的设置，气管出口的压力随着液面高度变化而变化，这种压力变化通过工控机运算后，将压力变化值转换成液面高度的变化值，从而及时得到储液桶内液面高度，以及时进行报警并补液。
附图说明
11.图1为本实用新型一种实施方式的结构示意图。
12.附图标记1，储液桶；11，排气口；2，气管；21，进气口；22，减压阀；23，通断阀；24，节流阀；25，精密压力表；26，工控机；3，液路一；31，液体通断阀一；4，液路二；41，泵；42，液体通断阀。
具体实施方式
13.下面参照附图来描述本实用新型的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的
是，这些实施方式仅仅用于解释本实用新型的技术原理，并非旨在限制本实用新型的保护范围。
14.如图所示，一种液位检测装置，所述检测装置主体为储液桶1，所述储液桶1顶部一侧插入气管2，另一侧插入液路一3和液路二4；所述气管2位于储液桶1外部的部分从进气口21依次串联设置减压阀22、通断阀23、节流阀24和精密压力表25，所述液路一3位于储液桶1外部的部分设置液体通断阀一31，所述液路二4位于储液桶1外部的部分从储液桶1向外依次设置泵41和液体通断阀二42。
15.进一步的，所述精密压力表25输出信号连接至工控机26。
16.进一步的，所述气管2伸入储液桶1的一端伸至所述储液桶1的桶底，另一端进气口21处连接至压缩空气源。
17.进一步的，所述液路一3伸入所述储液桶1的一端伸至储液桶1顶部，另一端连接至化学液源。
18.进一步的，所述液路二4伸入所述储液桶1的一端伸至储液桶1底部，另一端连接至化学液出口。
19.进一步的，所述储液桶1顶部靠近气管2一侧设置排气口11。
20.本实用新型使用方法及原理如下：
21.气管开口端插入并固定在储液桶底部，气管从进气口依次串联减压阀、通断阀、节流阀、精密压力表，精密压力表的输出信号连接到工控机端。液路一上设置液体通断阀一，连接至化学液源，用于储液桶缺液时及时补液，液路二上设置泵和液体通断阀二，当化学液液面达到储液桶预设的标志位后关闭液体通断阀一。调整减压阀、节流阀，控制气体的压力与流量，使插入液面一下的气管出口处有连续的气泡排出，并将此时精密压力表的示数标定为零点。伺候随着使用端消耗化学液，储液桶的液面高度逐渐降低，气管出口处的压力随之变小，精密压力表会检测到此处气压的变化，并将信号输送至工控机，工控机运算后，将气压的变化值转换成液面高度的变化值，当液面高度低于设定值后，开启液体通断阀一，开始向储液桶补液，直至压力输出值再次为零后停止补液。
22.虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件，尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
23.在本实用新型的描述中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
24.此外，还需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
25.术语“包括”或者任何其它类似用语旨在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、物品或者设备/装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其它要素，或者还包括这些过程、物品或者设备/装置所固有的要素。
26.至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本实用新型的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本实用新型的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本实用新型的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种液位检测装置，其特征在于：所述检测装置主体为储液桶（1），所述储液桶（1）顶部一侧插入气管（2），另一侧插入液路一（3）和液路二（4）；所述气管（2）位于储液桶（1）外部的部分从进气口（21）依次串联设置减压阀（22）、通断阀（23）、节流阀（24）和精密压力表（25），所述液路一（3）位于储液桶（1）外部的部分设置液体通断阀一（31），所述液路二（4）位于储液桶（1）外部的部分从储液桶（1）向外依次设置泵（41）和液体通断阀二（42）。2.根据权利要求1所述的一种液位检测装置，其特征在于：所述精密压力表（25）输出信号连接至工控机（26）。3.根据权利要求1所述的一种液位检测装置，其特征在于：所述气管（2）伸入储液桶（1）的一端伸至所述储液桶（1）的桶底，另一端进气口（21）处连接至压缩空气源。4.根据权利要求1所述的一种液位检测装置，其特征在于：所述液路一（3）伸入所述储液桶（1）的一端伸至储液桶（1）顶部，另一端连接至化学液源。5.根据权利要求1所述的一种液位检测装置，其特征在于：所述液路二（4）伸入所述储液桶（1）的一端伸至储液桶（1）底部，另一端连接至化学液出口。6.根据权利要求1所述的一种液位检测装置，其特征在于：所述储液桶（1）顶部靠近气管（2）一侧设置排气口（11）。

技术总结
本实用新型公开了一种液位检测装置，涉及半导体晶片湿法处理的技术领域。所述检测装置主体为储液桶1，所述储液桶1顶部一侧插入气管2，另一侧插入液路一3和液路二4；所述气管2位于储液桶1外部的部分从进气口21依次串联设置减压阀22、通断阀23、节流阀24和精密压力表25，所述液路一3位于储液桶1外部的部分设置液体通断阀一31，所述液路二4位于储液桶1外部的部分从储液桶1向外依次设置泵41和液体通断阀二42。过气管的设置，气管出口的压力随着液面高度变化而变化，这种压力变化通过工控机运算后，将压力变化值转换成液面高度的变化值，从而及时得到储液桶内液面高度，以及时进行报警并补液。并补液。并补液。


技术研发人员：谷德鑫
受保护的技术使用者：沈阳超夷微电子设备有限公司
技术研发日：2022.05.25
技术公布日：2022/8/23