一种三氟化氮制备用液体废料处理装置的制作方法

1.本实用新型属于三氟化氮生产废液处理装置技术领域，具体涉及一种三氟化氮制备用液体废料处理装置。


背景技术：

2.三氟化氮电解气是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用三氟化氮和四氟甲烷以及氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。氢与三氟化氮反应，在瞬间伴随放出大量的热，这就是三氟化氮在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下，三氟化氮与有机化合物反应常伴有爆炸性，操作时应十分谨慎。还能用作高能燃料。
3.三氟化氮电解气中含有约10％的hf，按照目前工艺，该部分hf主要通过nf3电解气预纯化工段的冷却器、冷阱排污管道进入综合三废排污塔进行中和处理，不能有效的进行回收处理，容易造成大量的资源浪费。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种三氟化氮制备用液体废料处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种三氟化氮制备用液体废料处理装置，包括hf回收罐，所述hf回收罐上设置有废液进口，所述废液进口分别与冷却器和冷阱的废液出口连通，所述hf回收罐的顶端设置有第一氮气连通口，所述hf回收罐的侧端靠近顶部处设置有第二氮气连通口，所述hf回收罐的顶端另一侧设置有抽真空口，所述hf回收罐的侧端靠近底部处开设有氮气放空口，所述hf回收罐的底端设置有hf回收口。
6.进一步的，所述hf回收罐靠近顶端处设置有第一废料排出口，所述第一废料排出口上还设置有与废液进口连通的连通管。
7.进一步的，所述hf回收罐的底端设置有第二废料排出口。
8.进一步的，所述hf回收罐的侧端靠近顶端设置有压力传感器和温度传感器，所述hf回收罐的侧端靠近底部处还设置有水位感应器。
9.进一步的，所述第一氮气连通口连接有氮气吹扫机构，所述第二氮气连通口连通有冷氮气罐。
10.本实用新型与现有技术相比具有以下优点：
11.本实用新型通过将冷却器和冷阱中收集的hf废液进入到hf回收罐中，通过第一氮气连通口和第二氮气连通口能向hf回收罐内送氮气并增压处理，利用抽真空口进行抽真空处理，hf回收罐1的侧端靠近底部处开设有氮气放空口，利用氮气放空口进行排氮气处理，使用时，将冷却器和冷阱中收集的hf废液进入到hf回收罐中，将绝大多数的hf液体收集至设备内，通过水位感应器监测hf回收罐内hf收集量，达到指定液位时，可通过第二氮气连通口进行冷氮气增压，并打开hf回收口的阀门，下方hf回收，并回用至电解槽，冷却器、冷阱和
hf回收罐中的气相排污组分，可通过第一废料排出口进入综合三废排污塔中进行处理，hf回收罐中的液相排污组分，可通过第二废料排出口进入综合三废排污塔中进行处理，在冷却器、冷阱间歇排污的情况下，利用hf回收罐将冷却器、冷阱排污过程中的液相hf全部收集回收，同时实现冷却器、冷阱排污尾气中的hf达标排放，既保证尾气达标排放，符合环保要求，又能降低一定成本，经济实用。
附图说明
12.图1是本实用新型整体结构示意图；
13.附图标记说明：
14.1-hf回收罐；2-冷却器；3-冷阱；4-第一氮气连通口；5-第二氮气连通口；6-水位感应器；7-第一废料排出口；8-抽真空口；9-连通管；10-压力传感器；11-温度传感器；12-氮气放空口；13-第二废料排出口；14-hf回收口。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.如图1所示，本实用新型提供一种技术方案：一种三氟化氮制备用液体废料处理装置，包括hf回收罐1，所述hf回收罐1上设置有废液进口，所述废液进口分别与冷却器2和冷阱3的废液出口连通，将冷却器2和冷阱3中收集的hf废液进入到hf回收罐1中。
17.所述hf回收罐1的顶端设置有第一氮气连通口4，所述hf回收罐1的侧端靠近顶部处设置有第二氮气连通口5，第一氮气连通口4和第二氮气连通口5上均设置有控制阀，所述第一氮气连通口4连接有氮气吹扫机构，所述第二氮气连通口5连通有冷氮气罐，通过第一氮气连通口4和第二氮气连通口5能向hf回收罐1内送氮气并增压处理。
18.所述hf回收罐1的顶端另一侧设置有抽真空口8，
19.利用抽真空口8进行抽真空处理。
20.所述hf回收罐1的侧端靠近底部处开设有氮气放空口12，利用氮气放空口12进行排氮气处理。
21.所述hf回收罐1的底端设置有hf回收口14，用于回收hf。
22.所述hf回收罐1靠近顶端处设置有第一废料排出口7，所述第一废料排出口7上还设置有与废液进口连通的连通管9，所述hf回收罐1的底端设置有第二废料排出口13，hf回收罐1中的气相排污组分，可通过第一废料排出口7进入综合三废排污塔中进行处理，hf回收罐1中的液相排污组分，可通过第二废料排出口13进入综合三废排污塔中进行处理。
23.所述hf回收罐1的侧端靠近顶端设置有压力传感器10和温度传感器11，分别检测hf回收罐1内的压力和温度信息。
24.所述hf回收罐1的侧端靠近底部处还设置有水位感应器6，用于检测hf回收罐1内的液位信息。
25.使用时，将冷却器2和冷阱3中收集的hf废液进入到hf回收罐1中，将绝大多数的hf
液体收集至设备内，通过水位感应器6监测hf回收罐1内hf收集量，达到指定液位时，可通过第二氮气连通口5进行冷氮气增压，并打开hf回收口的阀门，下方hf回收，并回用至电解槽。
26.冷却器2、冷阱3和hf回收罐1中的气相排污组分，可通过第一废料排出口7进入综合三废排污塔中进行处理，hf回收罐1中的液相排污组分，可通过第二废料排出口13进入综合三废排污塔中进行处理。
27.使用过程中，hf回收罐1内温度为常温，正常收集状态下压力为常压，hf废液压出阶段：0～0.15mpa；
28.液位：正常收集hf废液阶段：0～2500mm，hf废液压出提醒：2500～3000mm。
29.在冷却器2、冷阱3间歇排污的情况下，利用hf回收罐将冷却器2、冷阱3排污过程中的液相hf全部收集回收，同时实现冷却器2、冷阱3排污尾气中的hf达标排放。按照年产8000吨nf3计算，对电解气在预处理工段进行物料衡算，hf回收处理每年可回收hf约375吨，节约生石灰525吨以上，同时回收的无水hf可回用至nf3电解气的生产，并将尾气中的hf含量降低至2ppm以下。既保证尾气达标排放，符合环保要求，又能降低一定成本，经济实用。
30.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
31.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。