一种晶圆台蓝膜张紧后角度调整机构的制作方法

1.本实用新型涉及smt电子元器件生产技术领域，具体涉及一种晶圆台蓝膜张紧后角度调整机构。


背景技术：

2.在机器人自动化装配等场合，为了将两个工件装配于一起。经常需要利用角度调整机构来旋转其中一个工件以对准另一个工件，从而完成该两个工件角度位置的对准。而常用的角度调整机构包括驱动件、减速机，以及处于减速机输出端的输出轴。驱动件能够通过减速机减速以带动输出轴旋转工件。然而，常用的角度调整机构采用的减速机是通过多个相互啮合的齿轮以进行减速传动。多个齿轮之间存在配合间隙，导致这种角度调整机构的传动精度较低。另外，由于多个齿轮的相互配合且逐级传递，其扭矩损失较大，不利于输出较大的扭矩。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆台蓝膜张紧后角度调整机构。
4.为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆台蓝膜张紧后角度调整机构，包括底板、驱动组件、张紧轮组件、主同步带、转盘以及光电开关；所述驱动组件、张紧轮组件、主同步带、转盘以及光电开关均设置在所述底板上；所述底板上还安装有晶圆台；所述转盘设置在晶圆台的底部上；所述主同步带环绕设置在所述转盘上，且依次经过所述驱动组件、张紧轮组件以及光电开关。
5.较佳的，所述驱动组件包括电机、电机同步轮、电机支架、电机同步带以及底座；所述电机支架与所述底座之间设有电机螺母以及电机螺栓；所述电机螺母横向设置在所述电机支架的侧边上；所述电机螺栓竖向设置在所述电机支架的上表面上；所述底座的上方还设有上同步轮；所述底座的下方还设有下同步轮；所述上同步轮与所述下同步轮之间还设有传动轴；所述底座上还设有上轴承以及下轴承。
6.较佳的，所述上同步轮以及下同步轮与所述传动轴之间还设有平键；所述上同步轮与平键之间还设有第一紧定螺栓；所述下同步轮与平键之间还设有第一紧定螺丝。
7.较佳的，所述电机同步轮的外侧上还设有电机紧定螺栓；所述电机同步轮的上部呈凸起状；所述凸起部的半径大于所述电机的输出轴半径与所述电机同步带的厚度的和；所述电机螺母的外侧上还设有电机调整螺栓；所述电机调整螺栓可旋转设置在所述电机螺母上。
8.较佳的，所述张紧轮组件包括张紧轮支架；所述张紧轮支架的末端与所述底板之间设有张紧轮螺栓；所述张紧轮支架前端的中部设有连接轴；所述张紧轮支架前端的侧边上设有张紧轮紧定螺栓；所述张紧轮支架前端的内部还设有第一轴承以及第二轴承。
9.较佳的，所述电机采用步进电机以及伺服电机其中的一种。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
11.（1）本实用新型为采用双同步带的张紧度调整机构，以电机同步带来带动主同步带，更加方便进行张紧度的调整。
12.（2）电机采用步进电机或伺服电机，角度控制精准。
附图说明
13.图1为本实用新型整体结构示意图；
14.图2为本实用新型驱动组件示意图；
15.图3为本实用新型驱动组件剖视图；
16.图4为本实用新型张紧轮组件剖视图；
17.图中：1-底板；2-驱动组件；3-张紧轮组件；4-主同步带；5-转盘；6-光电开关；2-1-电机；2-2-电机同步轮；2-3-电机支架；2-4-电机同步带；2-5-上同步轮；2-6-传动轴；2-7-平键；2-8-第一紧定螺栓；2-9-上轴承；2-10-底座；2-11-下轴承；2-12-第一紧定螺丝；2-13-下同步轮；2-14-电机紧定螺栓；2-15-电机调整螺栓；2-16-电机螺母；3-1-张紧轮支架；3-2-连接轴；3-3-张紧轮紧定螺栓；3-4-第一轴承；3-5-第二轴承；3-6-张紧轮螺栓。
具体实施方式
18.为使对本实用新型的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。
19.请结合参照图1、图2、图3以及图4，本实用新型提供了一种晶圆台蓝膜张紧后角度调整机构；包括底板1、驱动组件2、张紧轮组件3、主同步带4、转盘5以及光电开关6；所述驱动组件2、张紧轮组件3、主同步带4、转盘5以及光电开关6均设置在所述底板1上；所述底板1上还安装有晶圆台；所述转盘5设置在晶圆台的底部上；所述主同步带4环绕设置在所述转盘5上，且依次经过所述驱动组件2、张紧轮组件3以及光电开关6。
20.通过驱动组件2提供动力带动主同步带4，经由张紧轮组件3将主同步带4调到合适的张紧度。
21.较佳的，所述驱动组件2包括电机2-1、电机同步轮2-2、电机支架2-3、电机同步带2-4以及底座2-10；所述电机支架2-3与所述底座2-10之间设有电机螺母2-16以及电机螺栓2-17；所述电机螺母2-16横向设置在所述电机支架2-3的侧边上；所述电机螺栓2-17竖向设置在所述电机支架2-3的上表面上；所述底座2-10的上方还设有上同步轮2-5；所述底座2-10的下方还设有下同步轮2-13；所述上同步轮2-5与所述下同步轮2-13之间还设有传动轴2-6；所述底座上还设有上轴承2-9以及下轴承2-11。
22.底座2-10与底板1固定连接；电机2-1设置在底板1的外侧上，在电机2-1运行时有效避免电机2-1产生震动对调整机构产生影响，发生偏差；同时，设置了上下同步轮，能最大程度降低电机2-1运输的过程中的消耗；由电机2-1传动至上同步轮2-5，再由传动轴2-6传动至下同步轮2-13再带动主同步带完成传动。
23.较佳的，所述上同步轮2-5以及下同步轮2-13与所述传动轴之间还设有平键2-7；所述上同步轮2-5与平键2-7之间还设有第一紧定螺栓2-8；所述下同步轮2-13与平键2-7之间还设有第一紧定螺丝2-12。
24.采用平键2-7不仅结构简单、安装方便，再同步轮以及同步带的高速作用下也不会发上生脱离现象，承受载变的能力更强。
25.较佳的，所述电机同步轮2-2的外侧上还设有电机紧定螺栓2-14；所述电机同步轮2-2的上部呈凸起状；所述凸起部的半径大于所述电机2-1的输出轴半径与所述电机同步带2-4的厚度的和；所述电机螺母2-16的外侧上还设有电机调整螺栓2-15；所述电机调整螺栓2-15可旋转设置在所述电机螺母2-16上。
26.设置凸起状的电机同步轮2-2；由于凸起部的半径大于所述电机2-1的输出轴半径与所述电机同步带2-4的厚度的和；在高速的状态下可以避免电机同步带2-4会从电机同步轮2-2内向上滑出，导致电机2-1产生的动力没办法通过电机同步轮2-2传到前端的上同步轮2-5，从而没办法使得主同步带2-4转动起来。
27.在对电机同步带2-4进行松紧时，先松开电机螺栓2-17，旋转电机调整螺栓2-15到电机同步带2-4合适的张紧度，再锁紧电机螺栓2-17，然后电机锁紧螺母2-16。
28.较佳的，所述张紧轮组件3包括张紧轮支架3-1；所述张紧轮支架3-1的末端与所述底板1之间设有张紧轮螺栓3-6；所述张紧轮支架3-1前端的中部设有连接轴3-2；所述张紧轮支架3-1前端的侧边上设有张紧轮紧定螺栓3-3；所述张紧轮支架3-1前端的内部还设有第一轴承3-4以及第二轴承3-5。
29.在通过张紧轮组件3调整主同步带4的张紧度时：先松开张紧轮螺栓3-6，将主同步带4调到合适的张紧度，再锁紧张紧轮螺栓3-6。
30.较佳的，所述电机2-1采用步进电机以及伺服电机其中的一种。
31.采用步进电机时，由于不需要使用电刷，使得使用的可靠性更高，此时，电机2-1的使用寿命取决于轴承的寿命，在其中，使用了双轴承的设计，大大延长了电机的使用寿命。
32.本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地，在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本实用新型的专利保护范围。