用于节距减小的应用的探针头的制作方法

1.本发明涉及一种用于集成在半导体晶圆上的电子器件的测试设备的探针头，并且参考该应用领域进行以下公开，其唯一目的是简化其说明。


背景技术：

2.众所周知，探针头本质上是一种电子器件，其被配置为将微结构(具体为集成在半导体晶圆上的电子器件)的多个接触垫与执行其功能测试(特别是电测试，或一般测试)的测试装置的对应通道电连接。
3.在集成器件上执行的测试对于早在生产阶段检测和隔离有缺陷的电路尤其有用。因此，通常情况下，探针头用于对集成在晶圆上的器件进行电气测试，然后再将它们切割并组装到安全壳内。
4.探针头主要包括由至少一个支撑件保持的多个可移动接触探针，该支撑件通常是基本上为板状且彼此平行的一对支撑件或引导件。所述板状支撑件设置有合适的孔并且彼此间隔一定距离布置，以便为接触探针的移动和可能的变形留出自由区域或气隙，接触探针通常由具有良好的电气和机械性能的特殊合金的金属线制成。
5.具体而言，图1示意性地示出了探针头1，其包括在相应的引导孔3a和4a中容纳在上板状支撑件或引导件3(通常也表示为“上模具”)和下板状支撑件或引导件4(通常也表示为“下模具”)中的多个探针2，每个所述接触探针2在引导孔内滑动。如图1所示，上模具3和下模具4通过气隙7适当地隔开，该气隙允许接触探针2变形。
6.每个接触探针2包括：第一端或接触尖端2a，其配置为抵接在集成在晶圆8上的被测器件6的接触垫6a上；和第二端或接触尖端2b，其类似地配置为抵接在包括探针头1的探针卡的空间转换器5的多个接触垫中的接触垫5a上，以便实现所述被测器件与测试设备(未示出)之间的机械和电气接触，所述探针头1形成测试设备的端子元件。具体而言，除了接触探针之外，“空间转换器”还允许在空间上重新分布相对于被测器件上的接触垫6a实现在其上的接触垫5a，尤其是相对于被测器件6上的垫使空间转换器5上的垫的中心之间的距离限制宽松。空间转换器5适当地连接到带有测试设备(未示出)的接口板。
7.接触探针2与被测器件6的接触垫6a和空间转换器5的接触垫5a之间的适当连接通过探针头1对器件本身的压力来确保，能够在模具3和4中形成的引导孔3a和4a内移动的接触探针2在所述压接期间，除了其相应探针主体2c的变形之外，还经历气隙7内的弯曲和相应引导孔3a和4a内的滑动。其这种类型的探针头通常称为竖直探针头。
8.在一些情况下，接触探针在与测试设备的接口板上牢固固定到探针头本身：这种探针头被称为“阻塞探针头”。在这种情况下，接触探针可以容纳在确保其与被测器件的接触垫对准的单个引导件中，或者可以牢固固定到接口板上。在后一种情况下，探针可以被描述为“自由主体”探针。
9.探针头的正确操作基本上与两个参数有关：接触探针的竖直移动或超程以及所述接触探针的接触尖端在被测器件的接触垫上的水平移动或刮擦。尤其重要的是，确保接触
尖端的刮擦以允许表面刮擦所述接触垫，去除例如氧化物膜或薄层形式的杂质，从而改善由探针头执行的接触。
10.所有这些特性都应在探针头的制造步骤中进行评估和校准，因为应始终确保探针和被测器件之间的正确电气连接。
11.制造探针头的一个关键参数是被测器件上接触垫的中心之间的距离(所谓的节距)。事实上，随着相关制造技术的进步，集成电子器件的节距(pitch)越来越小，导致接触探针在探针头中的高度封装，要避免在探针之间相互接触时出现定位问题。
12.因此，探针的可能接近或封装是探针的整体尺寸或在封装方向上的横向直径的函数，适当地增加与工艺容限以及相邻探针之间要确保的最小空气值相关的间隙值，以避免在探针头的所有操作条件下它们之间的可能接触。
13.本发明的技术问题是提供一种具有结构和功能特征的探针头，以能够克服根据现有技术仍然影响探针头的限制和缺陷，特别是避免相邻探针之间的接触，即使是在用于非常紧密的接触垫配置(即，具有非常小的节距)的接触探针的密集封装的情况下。


技术实现要素：

14.本发明的解决方案是提供具有多个探针和微接触探针的探针头，探针和微接触探针通过弹性膜连接，以实现所述元件之间所需的机械和电气接触，同时由于在其中创建了多个导电路径而实现微探针相对于探针在空间上的再分布，微接触探针用于接触被测器件并被配置为相对于接触探针彼此靠近，以便能够测试具有减小节距的器件。
15.基于该解决方案，上述技术问题主要通过一种用于集成在半导体晶圆上的电子器件的测试装置的探针头来解决，其包括：
16.多个第一接触探针，具有第一横向直径；
17.多个第二微接触探针，具有小于多个第一接触探针的第一横向直径的第二横向直径，所述横向直径是甚至形状为非圆形的多个第一接触探针和多个第二微接触探针的截面的最大延伸程度；以及
18.柔性膜，包括用于将多个第一接触探针与对应的多个第二微接触探针电连接的合适导电迹线，
19.多个第一接触探针布置在测试设备和柔性膜之间，多个第二微接触探针布置在柔性膜和半导体晶圆之间，多个第二微接触探针被配置为抵接在集成在半导体晶圆中的被测器件的接触垫上，多个第一接触探针中的每一个都通过柔性膜的导电迹线与对应的多个第二微接触探针电接触，并且被配置为将被测器件与测试设备电连接。
20.更具体地，本发明包括以下附加的和可选的特征，如果需要，可以单独或组合使用。
21.根据本发明的一个方面，多个第二微接触探针可以从柔性膜的面向形成在半导体晶圆上的被测器件的第一面延伸。
22.根据本发明的另一方面，柔性膜的导电迹线可以被配置为将多个第二微接触探针与在由柔性膜限定的平面上在空间上再分布的多个第一接触探针连接。
23.更具体地，多个第一接触探针可以具有第一相对距离，该第一相对距离大于多个第二微接触探针的第二相对距离，所述相对距离是与柔性膜的相应接触区域的对应中心之
间的距离。
24.多个第二微接触探针的第二相对距离可以等于被测器件的接触垫的节距，所述节距是接触垫的中心之间的距离。
25.更具体地，第一距离可以从40μm到250μm不等，第二相对距离可以从8μm到40μm不等。
26.根据本发明的另一方面，由于多个第二微接触探针直接在柔性膜上的光刻生长工艺或通过粘合层(诸如夹在多个第二微接触探针和柔性膜之间的胶膜或导电橡胶膜)固定到柔性膜上，多个第二微接触探针可以与柔性膜集成。
27.此外，仍然根据本发明的另一方面，多个第一接触探针中的每一个都可以包括杆状主体，其末端具有被配置为与柔性膜电连接的第一端部和被配置为与测试设备电连接的第二端部。
28.根据本发明的这个方面，多个第一接触探针中的每一个的第一端部被配置为抵接在柔性膜的面向测试设备的第二面上形成的多个接触垫中的接触垫上，柔性膜的接触垫具有等于多个第一接触探针的第一相对距离的节距，所述节距是接触垫的中心之间的距离，或多个第一接触探针中的每一个的第一端部在第二面处固定地附接到柔性膜，多个第一接触探针中的每一个的端部与柔性膜之间的接触部分的中心距离等于接触探针的第一相对距离。
29.此外，多个第一接触探针中的每一个的第二端部可以被配置为抵接在多个接触垫中的相应接触垫上，该多个接触垫形成在用于测试设备的接口板的面向探针头的面上，接口板的接触垫具有等于或大于接触探针的所述第一相对距离的节距，所述节距是接触垫的中心之间的距离，或多个第一接触探针中的每一个的第二端部固定地附接到接口板，多个第一接触探针中的每一个的第二端部与接口板之间的接触部分的中心的距离等于或大于多个第一接触探针的所述第一相对距离。
30.具体而言，多个第一接触探针的第一端或第二端可以通过焊接或通过诸如胶水或导电橡胶膜的粘合层分别固定地约束到柔性膜，分别约束到接口板。
31.根据本发明的这个方面，所述柔性膜的接触垫的面积可以大于多个第二微接触探针的横截面的面积。
32.根据本发明的另一方面，探针头还可以包括至少一个引导件，可能是设置有相应引导孔的至少一对引导件，该引导孔被配置为滑动地容纳多个第一接触探针。
33.此外，根据本发明的另一方面，多个第一接触探针中的每一个可以包括在探针主体中形成的至少一个预变形区段。
34.多个第二微接触探针可以具有选自圆形、椭圆形、正方形、矩形、三角形和多边形的形状的横截面。
35.此外，多个第二微接触探针可以具有从5μm到30μm，优选地小于10μm的横向直径，以及从10μm到300μm，优选地小于200μm的高度。
36.根据本发明的另一方面，多个第一接触探针的高度可以大于多个第二微接触探针的高度，高度是接触探针或微接触探针在纵向延展方向上的延伸程度。
37.此外，根据本发明的另一方面，多个第二微接触探针可以由选自以下材料的第一导电材料形成：镍、钨、钴、钯或其合金，诸如镍-锰、镍-钴、镍-钯或镍-钨、钯-钴合金、钯基
三元和四元合金，优选钯-钴，或优选地，由选自以下材料的第二导电材料形成：铂、铑、钯、银、铜或其合金，优选铂合金，或适当掺杂的半导体材料。
38.微接触探针还可以包括端部或至少一个插入件，其由选自铑和钯(优选铑)的电阻材料制成。
39.根据本发明的这个方面，多个第一接触探针由第一导电材料形成。
40.此外，柔性膜可以由介电材料形成，优选为聚酰胺，并且具有介于10μm和100μm之间的厚度，优选为等于50μm。
41.最后，根据本发明的另一方面，导电迹线可以由导体材料制成，优选为铜。
42.根据本发明的探针头的特征和优点将从以下参照附图通过指示性和非限制性示例给出的对其实施例的描述中变得明显。
附图说明
43.在这些图中：
44.图1示意性地示出根据现有技术的探针头；
45.图2示意性地示出根据本发明的探针头；
46.图3a-图3e示意性地示出根据本发明的探针头的替代实施例；
47.图4示意性地示出根据本发明的从上方包括在探针头中的膜；以及
48.图5a-图5f示意性地示出根据本发明的包括在探针头中的微探针的可能截面。
具体实施方式
49.参考那些附图，尤其是图2，附图标记30是全局标记并且示意性地表示根据本发明制造的探针头。
50.值得注意的是，这些图是示意图，并不是按比例绘制的，而是为了强调本发明的重要特征而绘制的。此外，在附图中，以示意方式描绘不同的元件，它们的形状根据所需的应用而变化。还应当注意，在附图中，相同的附图标记指代形状或功能相同的元件。最后，关于图中所示的实施例描述的特定特征也适用于其他图中所示的其他实施例。
51.在其更一般的形式中，探针头30被配置为与测试设备(图中未示出)连接以执行集成在半导体晶圆上的电子器件的测试。更具体地，探针头30适于具有减小节距的集成器件的测试，例如具有小于40μm的节距。
52.如图2示意性地示出的，探针头30包括通过柔性膜35彼此机械和电气接触的至少一个多个第一接触探针31和多个第二微接触探针36，该柔性膜包括合适的导电迹线35c以用于将每个接触探针31与对应的微接触探针36连接。
53.适当地，接触探针31具有比微接触探针36的尺寸(具体为横向直径)更大的尺寸(具体为更大的横向直径)，术语“横向直径”表示所述探针的截面的最大延伸程度，该截面在与图中所示的z轴正交的平面上截取，即使形状不是圆形。此外，接触探针31的高度大于微接触探针36的高度，术语“高度”表示在探针没有变形的配置时，探针在根据图中所示的z轴的纵向延展方向上的延伸程度。
54.对于接触探针31，横向直径的优选值为20μm至50μm，优选大于30μm，高度的优选值为2000μm至5000μm，优选大于3000μm，而对于微接触探针36，横向直径的优选值为5μm至30μ
m，优选小于10μm，高度的优选值为10μm至300μm，优选小于200μm。换言之，微接触探针36可以具有比接触探针31小至少一个数量级的高度。
55.接触探针31优选地由选自以下材料的第一导电材料形成：镍、钨、钴、钯或其合金，诸如镍-锰、镍-钴、镍-钯或镍-钨、钯-钴合金、钯基三元和四元合金，优选钯钴。可以在例如接触探针31的端部使用另外的涂层材料。
56.微接触探针36可以由作为接触探针31的第一导电材料形成，或者优选地由选自例如以下材料的第二导电材料形成：铂、铑、钯、银、铜或其合金，优选为铂合金，或合适的掺杂的半导体材料。可能地，微接触探针36可以设置有端部，具体地配置为接触被测器件的接触垫，由特定电阻材料制成，诸如铑或钯，优选为铑，或者设置有由该电阻材料形成的合适的插入件。
57.更具体地，接触探针31在接口板或板38与柔性膜35之间延伸，该接口板优选为确保探针头30和测试设备(未示出)之间的连接的印刷电路板(pcb)，而微接触探针36从柔性膜35的具体为根据该图的局部参考面向下并且面向半导体晶圆39上形成的被测器件37的第一面f1延伸。
58.适当地，微接触探针36被配置为抵接在被测器件37的多个焊盘或接触垫37a上。
59.由于由柔性膜35的导电迹线35c形成的电连接，探针头30被配置为通过微接触探针36和接触探针31的串联将被测器件37的每个接触垫37a与接口板38(以及因此与测试设备)连接，从而确保对集成在半导体晶圆39上的被测器件37的测试。
60.适当地，导电迹线35c形成为在由柔性膜35限定的、平行于接口板38和被测器件37的平面π上相对于接触探针31在空间上重新分布微接触探针36，所有这些元件基本上可以被认为是平面。更具体地，接触探针31具有位于柔性膜35的第二面f2上的相应第一端部或接触尖端31a，该第二面与第一面f1相反，即为根据该图的局部参考的上表面，第二面面向测试设备，并且该接触探针在与柔性膜35的相应接触区域的对应中心之间具有第一相对距离p1，而微接触探针36从柔性膜35的第一面f1形成，并且在与柔性膜35的相应接触区域的对应中心之间具有第二相对距离p2，所述第二相对距离p2适当地小于第一相对距离p1并且对应于被测器件37的节距，即其接触垫37a的中心之间的距离。
61.以这种方式，由于导电迹线35c，柔性膜35执行微接触探针36相对于接触探针31的距离的局部再分布，具体为减小，因此在探针头30内部用作空间转换器。
62.更具体地，第一相对距离p1可以具有介于40μm到250μm的值，并且第二相对距离p2可以具有介于8μm到40μm的值。
63.因此，可以克服与相邻探针之间不希望的接触相关的问题，因为尺寸较大的接触探针31距离较大，而尺寸较小的微接触探针36可以具体地根据被测器件37的接触垫37a的节距而彼此靠近，接触探针31与空间上不同地布置的微接触探针36的接触由柔性膜35中形成的导电迹线35c确保。
64.实际上，微接触探针36根据被测器件37及其接触垫37a的严格限制在空间上分布，而实现与接口板38的连接的接触探针31可以更自由地分布并确保相邻探针之间有足够的距离，从而最大限度地降低(如果没有完全消除)彼此接触的风险。
65.在图2所示的实施例中，接触探针31是具有自由端的竖直探针，可以表示为“松散”探针；每个接触探针31具体包括杆状主体31c，其末端具有第一端部或接触尖端31a和第二
端部或接触头31b，所述端部没有牢固固定而是被配置为实现电接触，抵接在对应的接触垫上。
66.以这种方式，探针头30还包括一对板状支撑件或引导件，具体为上模具32和下模具33，其彼此平行并且由自由区域或气隙34隔开。结合现有技术，上模具32和下模具33分别包括多个引导孔32a和33a，配置为滑动容纳接触探针31。优选地，上模具32和下模具33基本上是平面并且根据平面π布置，所述上模具32和下模具33平行于柔性膜35、接口板38和被测器件37。
67.在本实施例中，柔性膜35包括形成在其第二面f2上的多个接触垫35a，接触探针31的接触尖端31a抵接在该接触垫上。类似地，接口板38包括形成在其面向探针头30(即根据该图的局部参考向下)的面f上的多个接触垫38a，接触探针31的接触头31b抵接在该接触垫上。
68.接触探针31之间的第一距离p1对应于形成在柔性膜35的第二面f2上的接触垫35a的节距，并且在这种情况下，对应于接口板38的接触垫38a的节距并且对应于柔性膜35的接触垫35a的节距，微接触探针36之间的第二距离p2对应于被测器件37的接触垫37a的节距。
69.适当地，在这种情况下，柔性膜35的导电迹线35c将形成在其第二面f2上的接触垫35a与从柔性膜35的第一面f1延伸的微接触探针36连接。
70.在优选实施例中，微接触探针36通过光刻工艺直接生长在柔性膜35的第一面f1上，所述工艺确保微接触探针36根据x轴和y轴的高定位精度以及因此其相对于被测器件37的接触垫37a的正确定位。这样，微接触探针36与柔性膜35集成。替代地，微接触探针36可以通过诸如胶膜或导电橡胶的粘合层与柔性膜35集成。
71.柔性膜35由介电材料形成，优选为聚酰胺，配置为提供所需的柔性和所需的电绝缘，而导电迹线优选地由导电材料制成，优选为铜。此外，柔性膜35可以具有介于10μm和100μm之间的厚度hm，优选地等于50μm。
72.在图3a中示意性示出的替代实施例中，接触探针31可以在柔性膜35的第二面f2处牢固固定(优选地焊接)到柔性膜35上。在这种情况下，每个接触探针31包括第一端部31a'，该第一端部包括焊接部分35b，其又通过导电迹线35c连接到微接触探针36，而接触探针31的第二端部或接触头31b抵接在接口板38的接触垫38a上。如前所述，接触探针31滑动地容纳在上模具32和下模具33的引导孔32a和33a中。
73.在这种情况下，接触探针31具有单个自由端，即接触头31b，同时它们在第一端31a'处牢固固定(优选地焊接)到柔性膜35上。
74.也可以代替焊接，使用粘合层，诸如胶水或导电橡胶膜，将接触探针31与柔性膜35牢固固定。
75.根据图3b中示意性示出的替代实施例，接触探针31是预变形类型的。在这种情况下，每个接触探针31包括至少一个预变形部分31d，其形成在探针主体31c中并且被配置为强制接触探针31自身的弯曲优先方向。在这种情况下，包括牢固固定(优选地焊接)到柔性膜35上的第一端部31a'的接触探针31容纳在单个模具中，具体为上模具32。预变形部分31d可以具有例如s形，如图3b所示，或另一种形状，诸如c形。
76.替代地，接触探针31可以替代地或附加地具有第二牢固固定的端部31b'，优选地包括在接口板38的面f处形成的焊接部分38b。
77.在图3c所示的替代实施例中，接触探针31具有：第一端部或接触尖端31a，其是自由的并且被配置为抵接在柔性膜35的接触垫35a上；第二端部31b'，其被固定约束(优选地焊接)到接口板38上；以及相应的预变形区段31d，其形成在探针主体31c中；由于所述接触探针31与接口板38的固定约束，该接触探针没有被容纳在任何模具中，在这种情况下是如上定义的“自由主体”探针。
78.在这种情况下，也可以代替焊接而使用诸如胶水或导电橡胶膜的粘合层将接触探针31与接口板38牢固固定。
79.尽管图中未示出，但也可以使接触探针31的两个端部分别牢固固定(优选地焊接)到柔性膜35和接口板38。
80.根据另一替代实施例，在图3d中参照具有两个自由端的接触探针31的探针头示意性地示出，还可以形成接触探针31以进一步隔开其在接口板38处的接触头31b。以这种方式，接口板38的接触垫38a可以形成有比形成在柔性膜35的第二面f2上的接触垫35a之间的节距p1更大的节距p1'。具体地，在图3d所示的情况下，所述进一步的节距加宽是通过在接触探针31之间有区别的变形来实现的。
81.尽管图中未示出，但也可以通过使接触探针31倾斜或通过诸如使用预变形部分或延伸臂的其他措施来进一步扩大节距。
82.在图3e所示的替代实施例中，探针主体31c包括沿所述探针主体31c纵向延伸并限定至少一对臂40a和40b的切口或槽40。
83.由于对应的多个纵向槽的实现，显然能够通过多个臂来形成探针主体31c。
84.适当地，形成在探针主体31c中的臂40a和40b的存在能够降低探针31整体的刚度，从而降低由此施加到相应接触垫上的压力，同时保持探针主体的足够的弹性，该探针主体在压接在接触垫(具体为柔性膜35的接触垫35a)上的过程中能够确保弯曲。
85.此外，要强调的是，可以形成第一节距加宽和第二节距加宽的探针头30，该第一节距加宽由柔性膜35实现，尤其是由于使用了从柔性膜35的第一面f1突出并且通过导电迹线35c连接到接触探针31的微接触探针36，该第二节距加宽由朝向接口板38的接触探针31实现，例如由于其适当的变形、倾斜或配置，即使在接触探针31牢固固定(尤其是焊接)在柔性膜35和/或接口板38上的情况下，节距在这种情况下被定义为接触探针31与柔性膜35和/或接口板38之间的接触部分的中心之间的距离。
86.如前所述，形成在柔性膜35内部的导电迹线35c实现了形成在该柔性膜的第二面f2上的接触垫35a相对于从柔性膜35的第一面f1在被测器件37的方向上突出的微接触探针36在空间上的再分布，如图4示意性地示出的。
87.更具体地，微接触探针36与被测器件37的接触垫37a的分布对应地，即根据与被测器件37的距离或节距对应的距离或节距p2，设置在柔性膜35的第一面f1上。如在图3a所示的实施例中，所述微接触探针36因此通过导电迹线35c电连接到在柔性膜35的第二面f2上形成的接触垫35a，接触垫35a相对于微接触探针36在空间上分布不同，具体为具有比被测器件37的节距p1大的距离或节距p1。
88.因此可以使接触垫35a之间以及接触探针31之间的距离限制宽松，因此接触探针31可以具有比微接触探针36大的尺寸，即横向直径。
89.适当地，形成在柔性膜35的第二面f2上的接触垫35a还可以具有等于或大于微接
触探针36的截面面积a1的面积a2。优选地，接触垫35a的面积a2等于微接触探针36的截面面积a1的1.5-3倍(a2＝1.5-3*a1)。更优选地，接触垫35a的面积a2等于微接触探针36的截面面积a1的两倍。
90.还应当强调，使用具有比微接触探针36大的尺寸的接触垫35a的可能性是通过使用导电迹线35c和由此产生的将它们适当地分布在柔性膜35的第二面f2上的可能性来确保的。
91.即使在探针牢固固定(尤其是焊接)到柔性膜35的情况下，接触探针31相对于微接触探针36的空间再分布显然也是可能的。在这种情况下，仍然通过导电迹线35c适当地连接到微接触探针36的焊接部分35b将形成为具有比被测器件37的节距p1大的距离或节距p1。
92.此外，要强调的是，可以使微接触探针36具有形状不同的截面，如图5a-图5f示意性地示出的。
93.具体地，所述微接触探针36可以具有如图5a所示的具有边d的正方形截面，或者如图5b所示的具有边d1和d2的矩形。
94.类似地，微接触探针36可以具有如图5c所示的具有直径d的圆形截面，或具有如图5d所示的具有直径d1和d2的椭圆形截面。
95.更一般地，微接触探针36可以具有任何多边形形状的截面，诸如如图5e所示的具有尺寸d1和d2的六边形截面，或者如图5f所示的具有底边d1和高度d2的三角形截面。
96.考虑到所述微接触探针36在研磨布上的通常通道以使其端部变圆，微接触探针36的截面的优选形状是图5a和图5c所示的形状，更容易圆化的那些形状。
97.显然，微接触探针36的截面形状并非几何上的完美意义，而是物理对象的形状，因此具有公差和制造误差。
98.应当注意，由于微接触探针36的尺寸减小并且可以将它们直接光刻生长在柔性膜35上，因此也可以使微接触探针具有各种不同的截面。
99.也可以使接触探针31的截面具有从圆形、正方形或矩形中选择的形状。
100.也可以使接触垫具有非正方形形状，诸如在图中以示例方式示出的那种。
101.有利地，根据本发明，所提出的探针头被配置为由于柔性膜而进行内部空间转换，从而使用微接触探针来接触被测器件的接触垫，所述微探针的尺寸非常小，因此被配置为彼此靠近，节距非常小，适于采用最新技术制造的器件。具体地，微接触探针可以比接触探针彼此更靠近。
102.此外，有利地，通过接触探针将信号从微接触探针传输到带有测试设备的接口板，避免了与用于rf应用的已知探针头相关联的问题，其中包括设置有置于减震器座上的微探针的膜和形成在柔性膜中以用于与接口板和测试设备连接的柔性金属迹线。这些柔性金属迹线随着膜移动并且难以形成，因为它们沿着整个膜延伸到接口板并且在探针头的正常操作期间随其变形。适当地，微接触探针可以通过光刻工艺直接在柔性膜上生长，所述工艺能够在柔性膜上获得微接触探针的高空间定位精度。传统的接触探针无法获得这样的精度，传统的接触探针由于容纳在引导孔中而存在直线度和公差问题。
103.有利地，探针头还可以在其使用寿命期间通过在微接触探针磨损时更换设置有微接触探针的柔性膜来修复。在接触探针邻接在这种情况下适当地设置有接触垫的柔性膜的实施例中，这种替换将更加容易。因此很明显，由于更换柔性膜的便利性以及随之而来的探
针头的修复的便利性，例如在微接触探针被消耗的情况下，这种探针头也可以有利地用于节距没有减小的应用。
104.显然，本领域的技术人员为了满足偶然的和特定的要求，可以对上述探针头进行许多修改和变型，这些均包含在由以下权利要求所限定的本发明的保护范围内。
105.例如，可以使用具有导电迹线和接触垫的柔性膜，该导电迹线和接触垫形成在同一面上并通过穿过柔性膜的通孔或导电孔连接到从相反面突出的微接触探针。