用于垂直型连续镀覆设备的基板移送设备的制作方法

1.本发明涉及基板移送设备，更具体地，涉及用于在镀覆区间连续移送沿着垂直方向配置的基板的基板移送设备。


背景技术：

2.作为用于对印刷电路板(printed circuit board，pcb)等平板形态的基板进行镀覆的设备，使用垂直型连续镀覆设备(vertical continuous platting，vcp)。垂直型连续镀覆设备使基板浸渍在沿着移送方向延伸的镀槽的状态下进行移送，并对基板表面等进行镀覆。
3.在上述垂直型连续镀覆设备中，为了向镀覆区间移送基板而使用基板移送设备。基板移送设备将多个基板按规定间隔连续移送，当前，普遍使用利用链条的移送方式。
4.只是，目前，上述链条移送方式浮现出多种问题。代表性地，当长时间使用链条时发生变形，因此，在镀覆区间，基板间隔无法保持恒定。并且，在链条的结构特性上，引发规定的脉动或振动，这种脉动等会对镀覆质量产生恶劣影响。上述问题最终将导致基板的镀覆质量的降低，并有可能引发不规则的镀覆偏差。尤其，最近的电子设备等追求极度的轻薄化，从而需要高精密度，基板的镀覆质量变得更加重要。
5.由此，提出了韩国授权专利第10-2030399号(发明名称：镀覆用挂件移送装置)、韩国授权专利第10-1434414号(发明名称：镀覆装置的挂件移送器具)等新的移送方式，但其实用度并不高。


技术实现要素：

6.(一)要解决的技术问题
7.本发明的目的在于，提供用于在镀覆区间连续移送沿着垂直方向配置的基板的基板移送设备。
8.并且，本发明的目的在于，提供在移送基板的过程中，可以显著减少脉动、晃动等，并且可以将基板之间的间隔保持恒定的基板移送设备。
9.并且，本发明的目的在于，提供可以改善基板的镀覆质量，可以减少基板之间的镀覆偏差的基板移送设备。
10.(二)技术方案
11.根据本发明的一方面，本发明可提供基板移送设备，上述基板移送设备在镀覆区间连续移送沿着垂直方向配置的基板，上述基板移送设备包括：主框架；基板安装部，用于安装基板；轨道部，配置于上述主框架，用于提供上述基板安装部的移送路径；装载部，用于向上述轨道部装载上述基板，使上述基板沿着上述轨道部初始区间移送；夹持部，设置于上述基板安装部；以及金属线部，可以与上述夹持部结合及解除结合，用于移送上述基板安装部。
12.(三)有益效果
13.与以往链条、输送带方式等相比，本发明实施例的基板移送设备通过基于线的移送方式，在移送过程中，可以减少基板的脉动、晃动等。由此，可以改善基板的镀覆质量。
14.并且，本发明实施例的基板移送设备可以在进行镀覆处理时减少基板之间的间隔，可通过线的刚性将最初设定的间隔保持恒定。由此，可减少基板之间的镀覆偏差，并且可以部分有助于改善生产性。
附图说明
15.图1a为本发明一实施例的基板移送设备的主要部分立体图。
16.图1b为图1a所示的基板移送设备的主视图。
17.图1c为图1a所示的基板移送设备的侧视图。
18.图1d为图1a所示的基板移送设备的俯视图。
19.图2a为图1a所示的装载部的放大立体图。
20.图2b为图2a所示的装载部的主视图。
21.图2c为图2a所示的滑动单元的底部面立体图。
22.图3a为图1a所示的基板安装部的放大立体图。
23.图3b为图3a所示的基板安装部的主视图。
24.图4a为图1a所示的夹持部的放大立体图。
25.图4b为图4a所示的夹持部的侧视图。
26.图4c为图4a所示的夹持部的第一操作状态图。
27.图4d为图4a所示的夹持部的第二操作状态图。
28.图5a为图1a所示的基板移送设备的第一操作状态图。
29.图5b为图1a所示的基板移送设备的第二操作状态图。
30.图5c为图1a所示的基板移送设备的第三操作状态图。
31.附图标记的说明
32.1：基板
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10：基板移送设备
33.100：主框架
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200：基板安装部
34.210：轨道安装托架
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220：基板安装框架
35.300：轨道部
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400：装载部
36.410：固定轨道
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420：移动轨道
37.430：滑动单元
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440：升降单元
38.450：加压块
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460：操作块
39.470：连接单元
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500：卸载部
40.600：夹持部
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610：夹持部主体
41.620：推辊
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630：转动托架
42.640：弹性支撑部
具体实施方式
43.以下，参照附图，说明本发明的实施例。只是，以下的实施例用于帮助理解本发明，本发明的范围并不局限于以下的实施例。以下的实施例为了向本发明所属技术领域的普通
技术人员完整地说明本发明而提供，并且将省略对判断为使本发明的技术思想不清楚的公知结构的详细说明。
44.图1a为本发明一实施例的基板移送设备的主要部分立体图。图1b为图1a所示的基板移送设备的主视图。图1c为图1a所示的基板移送设备的侧视图。图1d为图1a所示的基板移送设备的俯视图。
45.为了便利，以图1a等所示的坐标轴为基准，x轴方向为左右方向，y轴方向为前后方向，z轴方向为上下方向。
46.参照图1a至图1d，本实施例的基板移送设备10可用于移送基板1。
47.基板1可包括印刷电路板(printed circuit board，pcb)。
48.基板移送设备10可用于对基板1进行镀覆(plating)。或者，基板1可通过基板移送设备10移送并被镀覆处理。例如，基板1可通过基板移送设备10移送并使用铜(copper)或铜合金(copper alloy)进行镀覆处理。
49.只是，基板移送设备10并不局限于镀覆处理等。例如，基板移送设备10可广泛用于在规定平面上移送上下配置的基板1并进行规定的加工处理，从而需要精确地控制振动、间隔等的领域、用途等。
50.并且，在本说明书中记载的“镀覆”大体是指电镀，但并不排除熔融金属浸镀、热喷涂、蒸发镀、阴极喷涂等其他公知的方式的镀覆。并且，根据情况，可广泛包括各种表面处理加工。
51.根据情况，基板移送设备10可以构成镀覆设备的一部分。即，基板移送设备10可以在镀覆设备内移送基板1，并可构成镀覆设备的一部分。例如，上述镀覆设备可包括使基板1垂直竖立地移送，并且向基板1的表面等施加电流来执行镀覆的设备。作为参考，在本发明所属技术领域中，将这种镀覆设备称为垂直型连续镀覆设备(vertical continuous platting，vcp)。
52.整体上，本实施例的基板移送设备10可包括：主框架100；基板安装部200，用于安装基板1；轨道部300，用于提供基板安装部200的移送路径；装载部400及卸载部500，用于向轨道部300装载以及从轨道部300卸载基板；夹持部600，设置于基板安装部200，并且可以与金属线部700相结合；以及金属线部700，与夹持部600相结合，用于向一侧(图中左侧)移送基板安装部200。
53.观察示意性的操作，在基板安装部200安装基板1，基板安装部200配置于初始位置(图中右侧端)。接着，装载部400紧固在夹持部600，基板安装部200通过设置于装载部400的平板472，沿着轨道部300向一侧(图中左侧)移送。若基板安装部200向装载部400的一侧端(图中左侧端)移送，则夹持部600紧固在金属线部700，夹持部600与装载部400解除结合。
54.接着，基板安装部200通过金属线部700向一侧(图中左侧)移送，在移送过程中，可通过规定的镀覆设备进行镀覆处理。作为参考，图1a等中，省略了镀覆设备。若基板安装部200向金属线部700的一侧端(图中左侧端)移送，则卸载部500紧固在夹持部600，夹持部600从金属线部700解除结合。并且，卸载部500朝向轨道部300的一侧端(图中左侧端)移送基板安装部200。
55.在卸载部500之后，基板1可以经过需要的后续工序。例如，基板1可经过水洗过程之后向下一工序传递，基板安装部200可以与基板1分离并返回到初始位置。只是，在本发明
中，卸载部500之后的工序并未受到特别限制。
56.上述操作可以对多个基板安装部200或基板1同时多发性地进行。即，基板移送设备10可包括多个基板安装部200，上述操作可以对各个基板安装部200同时多发性地进行。
57.上述基板移送设备10具有在镀覆过程中，通过金属线部700移送基板1的特征。基于金属线部700的移送方式可以减少晃动或脉动，由此，可以将基板安装部200之间的间隔保持恒定。在另一方面，这可以有助于减少基板安装部200之间的间隔，并且减少各个基板1之间的镀覆偏差。
58.以下，更加详细地说明上述基板移送设备10的各个结构。
59.本实施例的基板移送设备10可包括主框架100。
60.主框架100可形成基板移送设备10的整体外观，并提供用于安装结构部件的支撑结构。主框架100可以由骨架结构形成，并且只要是具有规定刚性并可提供支撑结构，其结构或形状即可不受到特别限制。
61.本实施例的基板移送设备10可包括设置于主框架100的轨道部300。
62.轨道部300大体在主框架100的上部沿着左右方向延伸而形成。在本实施例的情况下，轨道部300可以例示为与主框架100不同的单独的部件，但是根据情况，轨道部300可以在主框架100上形成为一体。
63.轨道部300可具有规定的横截面形状并向左右延伸，从而可以提供后述的轨道托架的移动路径。
64.根据需要，轨道部300可以由前后隔开的一对形成。即，轨道部300可包括：前方轨道310；以及后方轨道320，沿着前方轨道310的后方隔开规定间隔并向左右延伸，以与前方轨道310相对应。在上述情况下，前方轨道310可提供用于对基板1进行镀覆处理的移送路径，后方轨道320可用于使基板安装部200再次返回到初始位置。
65.图2a为图1a所示的装载部的放大立体图。图2b为图2a所示的装载部的主视图。图2c为图2a所示的滑动单元的底部面立体图。
66.参照图2s至图2c，本实施例的基板移送设备10可包括装载部400。
67.装载部400可大体配置在与基板安装部200的初始位置(图中右侧端)对应的主框架100的一侧(右侧)区域。装载部400可以向金属线部700的一侧端(图中左侧端)移送配置于初始位置的基板安装部200。在设置有多个基板安装部200的情况下，装载部400可以向金属线部700依次移送各个基板安装部200。各个基板安装部200可通过装载部400按已设定的间隔适当隔开配置。
68.具体地，装载部400可包括固定轨道410及移动轨道420。
69.固定轨道410可以左右延伸而形成，并可紧固在主框架100。固定轨道410可固定于主框架100。移动轨道420可以左右延伸而形成，并可紧固在固定轨道410。其中，移动轨道420以可沿着固定轨道410滑动的方式紧固在固定轨道410。
70.作为参考，相对于固定轨道410的移动轨道420的滑动可通过后述的连接单元470被动实现。
71.另一方面，装载部400可包括滑动单元430及升降单元440。
72.滑动单元430以可沿着移动轨道420滑动的方式紧固在移动轨道420。滑动单元430可具有规定的驱动装置，并且可相对于移动轨道420前后移动。
73.升降单元440以可上下滑动的方式紧固在滑动单元430。升降单元440可具有规定的驱动装置，并且可相对于滑动单元430上下移动。
74.作为参考，上述驱动装置可包括马达、执行器等公知的驱动装置，并且根据需要，滑动单元430及升降单元440的各驱动装置可以一体化或单独分离。并且，在本实施例的情况下，滑动单元430及升降单元440可大致呈四边框或板形态，但是滑动单元430及升降单元440的形态并不局限于此，根据需要，可以具有多种形态。
75.另一方面，装载部400可包括加压块450。
76.加压块450可配置于升降单元440。在本实施例的情况下，加压块450大体从升降单元440的底部面部位朝向前方倾斜。
77.加压块450可包括放置槽451。放置槽451可以形成为从加压块450的下部朝向上侧凹入的槽。放置槽451可以加压支撑后述的夹持部600的推辊620。由此，优选地，放置槽451可具有与推辊620对应的形状、大小等。
78.根据需要，加压块450可包括倾斜面452。倾斜面452可以从放置槽451的下部朝向加压块450下端以逐渐变窄(taper)的方式延伸而形成。由此，加压块450下端的开口部(opening)宽度可以形成为比放置槽451的宽度大规定程度。推辊620可以被倾斜面452引导并稳定地紧固在放置槽451。
79.另一方面，装载部400可包括操作块460。
80.操作块460能够以与加压块450相邻的方式配置于升降单元440。在本实施例的情况下，操作块460大体从升降单元440的底部面部位沿着加压块450后方隔开配置。
81.操作块460能够以与后述的夹持部600的转辊632对应的方式配置，从而可根据升降单元440的操作加压支撑转辊632。并且，操作块460可对转辊632施加压力来使其转动，从而可以使夹持部600与金属线部700结合或解除结合。这将在后述的夹持部600中说明。
82.为了上述操作，操作块460可通过规定的驱动装置上下移动。操作块460的驱动装置可以与升降单元440不同，可以使操作块460独立升降移动。
83.根据需要，操作块460可包括水平面461及垂直面462。水平面461可以在升降单元440的底部面部位大体水平地延伸而形成，垂直面462可以在水平面461的一端(图中前端)大体垂直地延伸而形成。在上述情况下，水平面461可以对转辊632的上部面部位施加压力，垂直面462接触引导转辊的滚动面部位来实现稳定的加压操作。
84.在上述情况下，操作块460还可包括倾斜面463。倾斜面463可以使垂直面462的下端以规定程度倾斜的方式切削而形成。当转辊632向垂直面462下端进入时，倾斜面463可以引导转棍632顺畅地进入。
85.另一方面，装载部400可包括连接单元470。
86.连接单元470可配置于移动轨道420的底部面一侧(图中左侧)部位，并紧固在移动轨道420。连接单元470可固定设置于移动轨道420，由此，连接单元470及移动轨道420可以沿着固定轨道410左右一同移动。更明确地，随着连接单元470与滑动单元430一同沿着一侧(图中左侧)移动，移动轨道420可相对于固定轨道410左右移动。
87.连接单元470可包括连接托架471、平板472及执行器473。连接托架471可安装于移动轨道420的底部面部位，平板472及执行器473可紧固在连接托架471。其中，平板472能够以第一铰链472a为介质紧固在连接托架471，执行器473可以使操作臂以第二铰链473a为介
质紧固在平板472。第一铰链、第二铰链可分别形成上下方向的旋转轴，可相互前后隔开规定间隔。
88.根据上述结合结构，平板472能够以第一铰链472a为中心向一侧转动，从而沿着前方突出规定程度配置，或者通过执行器473向相反方向转动，从而大体沿着左右方向整齐地配置。在前者的情况下，平板472可以与后述的夹持部600的连接块612接触及干扰，在后者的情况下，平板472可以与连接块612隔开。由此，将前者的情况称为“干扰状态”，将后者的情况称为“非干扰状态”。
89.针对连接单元470的操作，通过后述的夹持部600进行说明。
90.另一方面，本实施例的基板移送设备10可包括卸载部500。
91.参照图1a等，卸载部500可大体配置在装载部400的相反侧(图中的左侧端)。卸载部500可以使通过金属线部700移送的基板安装部200从金属线部700解除结合。即，基板安装部200可以从金属线部700脱离，并可以被卸载部500支撑，可通过卸载部500向下一个工序适当移送。
92.卸载部500的配置或功能仅部分不同，并且大体与上述装载部400相同或相似，因此，将省略对其的详细说明。
93.图3a为图1a所示的基板安装部的放大立体图。图3b为图3a所示的基板安装部的主视图。
94.参照图3a至图3b，本实施例的基板移送设备10可包括基板安装部200。
95.基板安装部200以可沿着轨道部300移动的方式设置于轨道部300。并且，在基板安装部200可安装基板1。基板1可以以安装于基板安装部200的状态沿着轨道部300移动，并且可通过规定的镀覆设备进行镀覆处理。
96.基板安装部200可设置有多个。在图1a等中，为了便利，在两侧端仅分别设置1个基板安装部200，但是基板安装部200可以设置有多个。多个基板安装部200可以左右相邻地配置，从而可以沿着轨道部300移送。由此，在多个基板安装部200中的镀覆处理可以连续或同时多发性地进行。
97.另一方面，基板安装部200可包括轨道安装托架210。
98.轨道安装托架210可大体配置于基板安装部200的上部，以朝向轨道部300沿着一侧(后方)延伸而形成。
99.轨道安装托架210以可沿着轨道部300滚动的方式包括多个辊211、212。优选地，轨道安装托架210可大体包括：一对上部辊211，与轨道部300的上部侧面接触滚动；以及一对下部辊212，与轨道部300的下部侧面接触滚动。一对上部辊211及一对下部辊212可分别左右隔开配置。
100.并且，上部辊211能够以与轨道部300的一面(例如，前部面)接触滚动的方式配置，下部辊212以与轨道部300的相反面(例如，后部面)接触滚动的方式配置。由此，轨道安装托架210可以兼备将基板安装部200支撑在轨道部300的功能。
101.另一方面，基板安装部200可包括基板安装框架220。
102.基板安装框架220可从轨道安装托架210沿着前方延伸，从而可提供用于安装基板1的支撑结构。基板安装框架220可体现为规定形状及结构的框架、板等的形态，在本实施例的情况下，大致呈四边框架的形态。只是，基板安装框架220的形态并不局限于此，根据需
要，可以适当改变。
103.并且，基板安装框架220可包括用于夹持基板1的上部夹持器221及下部夹持器222。多个上部夹持器221可以在基板安装框架220的上侧左右隔开配置，多个下部夹持器222可以在基板安装框架220的下侧左右隔开配置。
104.虽然未图示，但根据需要，基板安装部200可包括振动发生装置。
105.振动发生装置可配置于基板安装部200的一侧，以向基板安装部200施加规定频率的微细振动。例如，振动发生装置可安装于轨道安装托架210的一侧，并且与轨道安装托架210机械接触，以使轨道安装托架210或被其支撑的基板1发生微细振动。只是，只要是可以向基板1传递规定振动的位置，即可以在更多的位置安装或配置振动发生装置，安装位置并不局限于轨道安装托架210等。振动发生装置可以向基板1施加微细振动，以通过形成于基板1的微细孔等来使镀液等适当流入，并有助于改善镀覆质量。
106.图4a为图1a所示的夹持部的放大立体图。图4b为图4a所示的夹持部的侧视图。
107.参照图4a至图4b，本实施例的基板移送设备10可包括夹持部600。
108.夹持部600可安装于基板安装部200的一侧。更具体地，根据图中所示，夹持部600可配置于上述轨道安装托架210的上部面部位并可安装于轨道安装托架210。由此，夹持部600可以与基板安装部200一同移动。
109.夹持部600能够以与多个基板安装部200相对应的方式形成有多个。即，多个基板安装部200可包括各个夹持部600。
110.夹持部600可紧固在装载部400或卸载部500以通过装载部400或卸载部500移送，或者可紧固在金属线部700以通过金属线部700移送。优选地，夹持部600可以至少在镀覆处理区间紧固在金属线部700，由此，夹持部600或基板安装部200可以在镀覆处理区间内通过金属线部700移送。
111.另一方面，夹持部600可包括夹持部主体610。
112.夹持部主体610可紧固在轨道安装托架210。夹持部主体610可呈安装支撑夹持部600的各个结构要素的规定的框架、托架、主体等的形态。只是，夹持部600的形态并不局限于此，也可以变形成具有与此相同或相似功能的多种形态。
113.在夹持部主体610可形成第一夹槽611。第一夹槽611可大体形成于夹持部主体610的后端部位，并且与金属线部700相对应的部分可呈圆形或圆弧形形状。第一夹槽611可以与后述的第二夹槽635a对应，以提供用于把持金属线部700的结合结构。
114.并且，夹持部主体610可包括连接块612。连接块612可以从夹持部主体610的后端部位朝向上侧突出规定高度而形成。连接块612可以与上述连接单元470发生干扰，从而可以使移动轨道420或基板安装部200移动。这通过夹持部600的操作说明。
115.夹持部主体610可包括引导孔613。引导孔613可以左右贯通夹持部主体610，并且可根据后述的移动轴634的移动轨迹延伸为长孔形态。由此，引导孔613可以引导移动轴634的移动。
116.另一方面，夹持部600可包括推辊620。
117.推辊620可配置于夹持部主体610的前端部位，以可旋转的方式被夹持部主体610支撑。推辊620可大体具有前后方向的旋转轴，并可紧固在夹持部主体610。
118.推辊620可以与上述装载部400的加压块450紧固。即，加压块450可通过升降单元
440下降，使得推辊620被放置槽451加压支撑，由此可以与推辊620紧固。加压块450下端的倾斜面452可以校正上述放置槽451及推辊620的紧固位置。
119.通过上述推辊620与加压块450之间的结合，基板安装部200可以与上述滑动单元430一同左右移动。即，推辊620可起到用于基板安装部200的左右移动的支撑装置的功能。
120.另一方面，夹持部600可包括转动托架630。
121.转动托架630可以与推辊620前后隔开规定间隔，以可转动的方式紧固在夹持部主体610。具体地，转动托架630可以在后端具有组装轴631，可通过这种组装轴631，以可转动的方式紧固在夹持部主体610。组装轴631可大体形成左右方向的旋转轴。
122.并且，转动托架630可包括转辊632。转辊632可具有左右方向的辊轴632a，并且以可转动的方式紧固在转动托架630的前端。作为参考，这与上述推辊620具有前后方向的旋转轴成对比。
123.转辊632可通过上述操作块460加压移动。即，转辊632可被操作块460施加向下方的压力来移动，或者解除加压并返回到上方。上述转辊632的移动可通过以组装轴631为中心的转动托架630的转动实现。
124.其中，上述操作块460的水平面461接触加压转辊632的上侧，垂直面462接触引导转辊632的前方，从而可以进行稳定的加压操作。并且，操作块460下端的倾斜面452可以使操作块460与转辊632之间的初始接触顺畅地实现。
125.并且，转动托架630可包括弹簧轴633及移动轴634。弹簧轴633用于紧固后述的弹性支撑部640，根据例示，沿着辊轴632a的下侧隔开配置来形成左右方向的旋转轴。
126.移动轴634可从弹簧轴633隔开规定间隔配置，并且可紧固在上述引导孔613。移动轴634可与转辊632的移动对应地沿着引导孔613移动，由此，可以引导转辊632或转动托架630的转动操作。
127.并且，转动托架630可包括夹具635。夹具635可大体从转动托架630的后端部位朝向下方延伸而形成。夹具635可包括第二夹槽635a，第二夹槽635a与上述第一夹槽611对应的部分可呈圆形或圆弧形形状。夹持部600可以在第一夹槽611、第二夹槽635a之间加压接触金属线部700，从而可以与金属线部700紧固。
128.另一方面，夹持部600可包括弹性支撑部640。
129.弹性支撑部640可以在夹持部主体610与转动托架630之间弹性支撑转动托架630。弹性支撑部640的一端(前端)以可转动的方式紧固在夹持部主体610，其相反侧端部(后端)以可转动的方式紧固在转动托架630。
130.弹性支撑部640可以沿着第一夹槽611、第二夹槽635a相互靠近的方向弹性支撑转动托架630。由此，在不施加外力的状态下，第一夹槽611、第二夹槽635a沿着相互靠近的方向被弹性支撑，从而可以紧固在金属线部700等。
131.并且，在上述状态下，在施加外力的情况下(即，操作块460对转辊632施加压力的情况下)，通过外力，弹性支撑部640可以被弹性压缩变形。在这种情况下，第一夹槽611、第二夹槽635a可以沿着相互隔开的方向移动，从而可以从金属线部700等脱离。
132.根据需要，弹性支撑部640可包括：气缸641，紧固在夹持部主体610的前端部位与弹簧轴633之间；以及压簧642，弹性支撑气缸641的前后端之间。并且，虽然未图示，但在压簧642等可覆盖用于隔断异物等的流入的盖部件。
133.图4c为图4a所示的夹持部的第一操作状态图。
134.图4c示出未施加外力的状态。参照图4c，在第一操作状态下，弹性支撑部640弹性支撑转动托架630，以使其沿着第一夹槽611、第二夹槽635a相互靠近的方向配置。在此状态下，第一夹槽611、第二夹槽635a可以与金属线部700加压接触，从而可以与金属线部700紧固。
135.上述第一操作状态可大体在基于金属线部700的夹持部600或基板安装部200的移动区间中维持。或者，第一操作状态可以在基板1被镀覆处理的移动区间中维持。即，夹持部600或基板安装部200可通过第一操作状态紧固在金属线部700，并且根据金属线部700的移动移送并被镀覆处理。
136.图4d为图4a所示的夹持部的第二操作状态图。
137.图4d示出通过操作块460向转辊632施加压力的状态。参照图4d，在第二操作状态下，转辊632可通过操作块460向下方施加规定的程度的压力，由此，转动托架630能够以组装轴631为中心转动规定程度(图中逆时针方向)。并且，夹具635以组装轴631为中心，向对应的方向(图中逆时针方向)转动，第一夹槽611、第二夹槽635a之间隔开，从而可以从金属线部700解除结合。
138.上述第二操作状态可以在除金属线部700的移送区间之外的装载部400或卸载部500的移送区间中维持。或者，第二操作状态可以在镀覆处理前后的移送区间中维持。即，夹持部600或基板安装部200可通过第二操作状态被移送至金属线部700前端区间，或者可从金属线部700的后端脱离。
139.另一方面，参照上述图1a等，本实施例的基板移送设备10可包括金属线部700。
140.金属线部700可被主框架100支撑，从而左右移送基板安装部200。金属线部700可大体在基板1的镀覆处理区间中用作基板1的移送装置。
141.金属线部700可以由柔性材料的金属线形成。优选地，金属线部700可由具有耐蚀性，且与基板1等的重量对应地可以维持适当张力的不锈钢材料的金属线形成。只是，金属线部700的材料并不局限于例示的不锈钢等，根据情况，可以由与此相同或相似性质的其他材料代替。
142.金属线部700可以沿着长度方向(图中左右方向)移送。由此，紧固在金属线部700的基板安装部200等可沿着金属线部700移送，在移送过程中，可以进行规定的镀覆处理。
143.虽然并未明确示出，但金属线部700可通过牵引轮等规定的驱动装置向长度方向移送。并且，金属线部700可形成闭环并沿着长度方向移送，根据需要，可附加用于维持适当张力的张力维持装置等。只是，在本实施例中，金属线部700的移送路径或形态等并未受到特别限制。
144.与以往的方式相比，上述金属线部700可以减少移动时的脉动，可有助于减少基板1或基板安装部200之间的间隔。
145.具体地，以往普遍使用的方式为使用链条的方式，在此情况下，在链条的结构特性上，当进行移动时发生规定的脉动。并且，其具有与基板安装部对应的挂件等仅简单放置在链条上并被移送的结构，因此，在长时间驱动之后，发生挂件的位置发生变化的问题。并且，尽管已知有通过其他方式使用输送带的方式，但是，由于由聚氨酯材料等制造的输送带会被拉长，从而无法在相关技术领域中适当使用。本实施例的基板移送设备10导入使用金属
线部700的新方式的移送结构来解决这种现有问题。
146.以下，说明上述基板移送设备10的操作。
147.图5a为图1a所示的基板移送设备的第一操作状态图。
148.为了便利，在图5a等中，以在装载部400部位中的操作为中心进行说明。卸载部500部位中的操作可以按与此相反的顺序相同或相似地进行。
149.并且，图5a等中假设多个基板1-1、1-2连续装载的情况，以在第一基板1-1先装载及移送的状态下，第二基板1-2新装载的过程为中心进行说明。并且，为了便利，将与第一基板1-1的移送对应的结构要素称为第一基板安装部200-1等，并且通过类似的方式将与第二基板1-2的移送对应的结构要素称为第二基板安装部200-2等。
150.参照图5a，在第一基板1-1安装于第一基板安装部200-1，并通过金属线部700移送的过程中，安装第二基板1-2的第二基板安装部200-2配置在初始位置。
151.若第二基板安装部200-2配置于初始位置，则滑动单元430向对应的位置移动，加压块450将会下降。由此，加压块450紧固在配置于第二基板安装部200-2的第二夹持部600-2(即，推辊620)。接着，操作块460下降以向下方对第二夹持部600-2(即，转辊632)施加压力并进行支撑。即，第二夹持部600-2可具有如图4d所示的第二操作状态。
152.如上所述，配置于第一基板安装部200-1的第一夹持部600-1与连接单元470相接触。具体地，连接单元470的平板472向第一夹持部600-1的移动路径上转动，第一夹持部600-1的一侧(即，连接块612)与平板472相接触。由此，连接单元470可以与第一夹持部600-1发生干扰，与第一夹持部600-1一同沿着金属线部700移送。
153.并且，移动轨道420及第二基板安装部200-2与上述连接单元470一同沿着一侧(图中左侧)牵引。
154.图5b为图1a所示的基板移送设备的第二操作状态图。
155.参照图5b，若第一基板安装部200-1移动至已设定的规定位置，则滑动单元430被驱动，使得第二基板安装部200-2向与第一基板安装部200-1相邻的位置移送。其中，第二基板安装部200-2按已设定的规定间隔与第一基板安装部200-1隔开，大体上可配置于金属线部700的前端部位。
156.接着，在第二基板安装部200-2中，第二夹持部600-2可通过金属线部700紧固。具体地，操作块460上升，使得第二夹持部600-2(即，转辊632)的限制被解除，通过第二弹性支撑部640-2，第二转动托架630-2进行转动。由此，第二夹持部600-2(即，夹具635)也紧固在金属线部700。即，第二夹持部600-2变换成如图4c所示的第一操作状态。并且，加压块450也上升，使得第二基板安装部200-2通过金属线部700移送。
157.如上所述，连接单元470从第一夹持部600-1脱离。即，连接单元470使平板472向相反方向转动，与第一夹持部600-1的接触被解除。由此，第一基板安装部200-1在没有与平板472发生干扰的情况下，通过金属线部700移送。
158.图5c为图1a所示的基板移送设备的第三操作状态图。
159.参照图5c，接着，滑动单元430返回到如图5a所示的初始位置，为了新投入的第三基板安装部200-3而处于待机状态。滑动单元430通过与上述第二基板安装部200-2类似的方式紧固在第三基板安装部200-3，从而可以反复进行上述说明的操作过程。
160.并且，连接单元470随着平板472再次转动，滑动单元430的返回及第二基板安装部
200-2移动，与第二夹持部600-2逐渐接近，并与第二夹持部600-2接触干扰。由此，与上述类似，连接单元470可以与第二夹持部600-2发生干扰，从而可以沿着金属线部700移送。
161.如上所述，本发明实施例的基板移送设备10可以在镀覆区间连续移送沿着垂直方向配置的基板1。
162.尤其，与以往链条、输送带方式等相比，本发明实施例的基板移送设备10通过基于线的移送方式，在移送过程中，可以减少基板的脉动、晃动等。由此，可以改善基板1的镀覆质量。
163.并且，本发明实施例的基板移送设备10可以在镀覆处理时适当调节基板1之间的间隔，通过线的刚性可以将最初设定的间隔保持恒定。由此，可以减少基板1之间的镀覆偏差，并可有助于改善生产性。
164.以上，说明了本发明的实施例，只要是本发明所属技术领域的普通技术人员，在不脱离权利要求书所记载的本发明的思想的范围内，可通过结构要素的附加、变更、删除或追加等对本发明进行多种修改及变形，这些也包括在本发明的权利范围内。