1.本实用新型涉及晶圆制造技术领域，尤其涉及一种石英坩埚生产用检测装置。
背景技术：
2.石英坩埚是生产多晶硅铸锭和拉制单晶硅棒的过程中必不可少的专用工艺装备，是承载多晶硅或单晶硅的载体。石英坩埚在使用时要承载超过400kg的熔硅，同时还要承受1400-1600℃的高温，受热时间长达50小时左右。随着单晶技术的发展，石英坩埚直径越来越大，承重越来越重，受热时间也越来越长，一旦在拉制单晶硅棒的过程中石英坩埚出现质量问题，轻则会导致单晶无法正常拉制，重则硅熔液会从石英坩埚流出，损坏热场、烧坏单晶炉，甚至可能危及人身和财产安全。
3.因此在使用之前必须对石英坩埚做仔细的检查，判断石英坩埚的质量是否合格，防止把存在裂纹、杂质点、气泡、划痕等缺陷的石英坩埚运用到实际生产中。目前石英坩埚质量的检测通常是使用强光灯对石英坩埚的内外表面进行照射，由于石英被强光照射后会变为透明状，可对石英坩埚的表面进行检验，观察石英坩埚是否存在裂纹、气泡、划痕等缺陷。现有的检测装置在检测时，石英坩埚的位置可能发生移动，造成检测的不方便，而且检测过的石英坩埚表面会有残留物，需要再次进行清洁。
技术实现要素：
4.本实用新型的目的是针对背景技术中存在的问题，提出一种具有清洗作用的石英坩埚生产用检测装置。
5.本实用新型的技术方案：一种石英坩埚生产用检测装置，包括移动底座，所述移动底座的顶面设有滑动槽，所述移动底座的右壁固定安装有电机，所述电机的输出端固定连接有螺纹杆，位于滑动槽内的所述螺纹杆上螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的顶面固定连接有移动壳体。
6.优选的，所述移动底座的右端固定连接有固定架，所述固定架上贯穿安装有清洗水储存箱，所述清洗水储存箱的底壁设有出液管，所述出液管的下端安装有喷头，所述出液管上安装有阀门，所述阀门的外壁套装有齿轮，所述移动壳体的左端固定连接有连接杆，所述连接杆的上端固定连接有齿条，所述齿条和齿轮啮合。
7.优选的，所述清洗水储存箱的底壁密封转动贯穿安装有转动杆，所述转动杆的下端安装有第二锥齿轮，所述螺纹杆上安装有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮和第二锥齿轮啮合。
8.优选的，所述移动壳体的右壁固定安装有夹紧电机，所述夹紧电机的输出端固定连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆上螺纹连接有两个移动螺纹套，所述移动螺纹套的顶端固定连接有固定座。
9.优选的，所述齿条和齿轮的位置对应。
10.优选的，两个所述固定座之间夹紧有石英坩埚。
11.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益的技术效果：
12.通过打开电机，带动转动杆进行转动，转动杆带动清洗水储存箱内的清洗水进行搅拌，防止处于静止状态中导致沉淀的情况；
13.移动壳体带动齿条向右移动，齿条和齿轮啮合，带动阀门转动，然后出液管进行出液，对移动至喷头下方的石英坩埚进行清洗，将检测时污染的表面进行再次清洁；
14.通过打开夹紧电机，带动固定座将石英坩埚夹紧，方便对石英坩埚进行检测，在检测的过程中石英坩埚的位置不会发生移动。
附图说明
15.图1给出本实用新型一种实施例的结构示意图；
16.图2为图1的移动壳体的结构示意图。
17.附图标记：1、移动底座；2、滑动槽；3、电机；4、螺纹杆；5、螺纹套；6、移动壳体；7、固定架；8、清洗水储存箱；9、转动杆；10、搅拌杆；11、第一锥齿轮；12、第二锥齿轮；13、出液管；14、阀门；15、喷头；16、齿条；17、双向螺纹杆；18、移动螺纹套；19、固定座；20、齿轮；21、齿条。
具体实施方式
18.下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。
19.实施例一
20.如图1所示，本实用新型提出的一种石英坩埚生产用检测装置，包括移动底座1，所述移动底座1的顶面设有滑动槽2，所述移动底座1的右壁固定安装有电机3，所述电机3的输出端固定连接有螺纹杆4，位于滑动槽2内的所述螺纹杆4上螺纹连接有螺纹套5，所述螺纹套5的顶面固定连接有移动壳体6，所述清洗水储存箱8的底壁密封转动贯穿安装有转动杆9，所述转动杆9的下端安装有第二锥齿轮12，所述螺纹杆4上安装有第一锥齿轮11，所述第一锥齿轮11和第二锥齿轮12啮合。
21.本实施例中，通过打开电机3，电机3的输出端带动螺纹杆4转动，通过螺纹杆4和螺纹套5螺纹连接，螺纹套5带动移动壳体6向右移动，螺纹杆4带动第一锥齿轮11转动，通过第一锥齿轮11和第二锥齿轮12啮合，带动转动杆9进行转动，转动杆9带动清洗水储存箱8内的清洗水进行搅拌，防止处于静止状态中导致沉淀的情况。
22.实施例二
23.如图1-2所示，本实用新型提出的一种石英坩埚生产用检测装置，相较于实施例一，本实施例还包括所述移动底座1的右端固定连接有固定架7，所述固定架7上贯穿安装有清洗水储存箱8，所述清洗水储存箱8的底壁设有出液管13，所述出液管13的下端安装有喷头15，所述出液管13上安装有阀门14，所述阀门14的外壁套装有齿轮20，所述移动壳体6的左端固定连接有连接杆，所述连接杆的上端固定连接有齿条21，所述齿条21和齿轮20啮合。
24.本实施例中，移动壳体16带动齿条21向右移动，齿条21和齿轮20啮合，带动阀门14转动，然后出液管13进行出液，对移动至喷头15下方的石英坩埚进行清洗，将检测时污染的表面进行再次清洁。
25.实施例三
26.如图1和图2所示，本实用新型提出的一种石英坩埚生产用检测装置，相较于实施例一或实施例二，本实施例还包括所述移动壳体6的右壁固定安装有夹紧电机16，所述夹紧电机16的输出端固定连接有双向螺纹杆17，所述双向螺纹杆17上螺纹连接有两个移动螺纹套18，所述移动螺纹套18的顶端固定连接有固定座19。
27.本实施例中，通过打开夹紧电机16，夹紧电机16的输出端带动双向螺纹杆17转动，通过双向螺纹杆17和移动螺纹套18螺纹连接，带动移动螺纹套18向中间移动，带动固定座19将石英坩埚夹紧，方便对石英坩埚进行检测，在检测的过程中石英坩埚的位置不会发生移动。
28.上述具体实施例仅仅是本实用新型的几种优选的实施例，基于本实用新型的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。
技术特征：
1.一种石英坩埚生产用检测装置，包括移动底座(1)，其特征在于,所述移动底座(1)的顶面设有滑动槽(2)，所述移动底座(1)的右壁固定安装有电机(3)，所述电机(3)的输出端固定连接有螺纹杆(4)，位于滑动槽(2)内的所述螺纹杆(4)上螺纹连接有螺纹套(5)，所述螺纹套(5)的顶面固定连接有移动壳体(6)。2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚生产用检测装置，其特征在于，所述移动底座(1)的右端固定连接有固定架(7)，所述固定架(7)上贯穿安装有清洗水储存箱(8)，所述清洗水储存箱(8)的底壁设有出液管(13)，所述出液管(13)的下端安装有喷头(15)，所述出液管(13)上安装有阀门(14)，所述阀门(14)的外壁套装有齿轮(20)，所述移动壳体(6)的左端固定连接有连接杆，所述连接杆的上端固定连接有齿条(21)，所述齿条(21)和齿轮(20)啮合。3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚生产用检测装置，其特征在于，所述清洗水储存箱(8)的底壁密封转动贯穿安装有转动杆(9)，所述转动杆(9)的下端安装有第二锥齿轮(12)，所述螺纹杆(4)上安装有第一锥齿轮(11)，所述第一锥齿轮(11)和第二锥齿轮(12)啮合。4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚生产用检测装置，其特征在于，所述移动壳体(6)的右壁固定安装有夹紧电机(16)，所述夹紧电机(16)的输出端固定连接有双向螺纹杆(17)，所述双向螺纹杆(17)上螺纹连接有两个移动螺纹套(18)，所述移动螺纹套(18)的顶端固定连接有固定座(19)。5.根据权利要求2所述的一种石英坩埚生产用检测装置，其特征在于，所述齿条(21)和齿轮(20)的位置对应。6.根据权利要求4所述的一种石英坩埚生产用检测装置，其特征在于，两个所述固定座(19)之间夹紧有石英坩埚。
技术总结
本实用新型涉及一种石英坩埚生产用检测装置，属于晶圆制造技术领域。其主要针对检测过的石英坩埚表面会有残留物，需要再次进行清洁的问题，提出如下技术方案，包括移动底座，所述移动底座的顶面设有滑动槽，所述移动底座的右壁固定安装有电机，所述电机的输出端固定连接有螺纹杆，位于滑动槽内的所述螺纹杆上螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的顶面固定连接有移动壳体，所述移动底座的右端固定连接有固定架。本实用新型中转动杆带动清洗水储存箱内的清洗水进行搅拌，防止处于静止状态中导致沉淀的情况，喷头自动出液对下方的石英坩埚进行清洗，将检测时污染的表面进行再次清洁。将检测时污染的表面进行再次清洁。将检测时污染的表面进行再次清洁。
技术研发人员：赵天呈
受保护的技术使用者：上海兆枫新材料有限公司
技术研发日：2021.12.13
技术公布日：2022/7/19
再多了解一些
本文用于企业家、创业者技术爱好者查询，结果仅供参考。
