镀舟设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体地，涉及一种镀舟设备。


背景技术：

2.在采用等离子体增强化学气相沉积法(pecvd)的工艺中，通常将石墨舟作为待加工件(例如硅片)的载体，石墨舟承载着待加工件进入工艺设备的反应腔室中以对该待加工件进行镀膜工艺。在石墨舟首次承载待加工件进行镀膜工艺前，或者清洗后的石墨舟再次承载待加工件进行镀膜工艺前，均需要对石墨舟进行镀舟工艺，即对石墨舟自身进行预镀膜。
3.在现有技术中，需要进行镀舟工艺时，通常采用独立运行的石墨舟小车对石墨舟进行承载，并在石墨舟进入镀舟设备前(即进舟过程)或由镀舟设备取出后(即出舟过程)对承载的石墨舟进行运送。
4.如图1所示，现有的石墨舟小车包括车体框架1、设置在车体框架1上的承载板2以及设置在承载板2两端的支撑装置3。石墨舟被放置在承载板2上，且石墨舟的两端分别通过两个支撑装置3进行支撑及固定。车体框架1的底部设有滑轮1-1、侧方设有扶手1-2，操作人员通过扶手1-2推动石墨舟小车进行移动从而实现石墨舟的运送。
5.具体地，在进舟过程中，先通过人力推动石墨舟小车贴合至设备外部指定位置，设备外部机械手将未进行镀膜的石墨舟放置在承载板2及支撑装置3上，然后再次通过人力将石墨舟小车及石墨舟推入设备内部指定位置；在出舟过程中，先通过人力推动石墨舟小车贴合至设备内部指定位置，设备内部的机械手将完成镀膜的石墨舟放置在承载板2及支撑装置3上，然后再次通过人力将石墨舟小车及石墨舟拉出至设备外部指定位置。
6.上述与设备相互独立的离线式石墨舟小车每次使用时均需与设备内、外部的指定位置进行位置校准，便捷性较差，并且通过人力推动石墨舟小车移动实现石墨舟的运送，费时费力，生产效率较低。


技术实现要素：

7.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种镀舟设备。
8.本实用新型提供一种镀舟设备，镀舟设备包括反应腔室和位于反应腔室一侧的净化台，净化台上设置有石墨舟承载机构和推舟机构，石墨舟承载机构位于推舟机构背离反应腔室的一侧，石墨舟承载机构用于承载未进行镀膜的石墨舟或承载从推舟机构传送回的完成镀膜的石墨舟，推舟机构用于将未进行镀膜的石墨舟从石墨舟承载机构上传送至反应腔室内或将反应腔室内完成镀膜的石墨舟传送回石墨舟承载机构；石墨舟承载机构包括：基座和承载主体，基座固定设置在净化台上，承载主体设置在基座上，且用于承载石墨舟；驱动机构，设置在基座上，驱动机构包括驱动源、主动侧传动结构以及从动侧传动结构，其中，主动侧传动结构和从动侧传动结构分别与承载主体沿第一方向相对的两侧连接，驱动
源用于驱动主动侧传动结构和从动侧传动结构进行同步动作，并以此带动承载主体相对于基座沿垂直于第一方向的第二方向进行往复移动。
9.进一步地，驱动源包括旋转电机，驱动机构还包括中间传动件，主动侧传动结构包括相配合的主动侧转动件和主动侧移动件，主动侧移动件与承载主体的一侧连接，主动侧转动件转动时能够带动主动侧移动件沿第二方向进行移动；从动侧传动结构包括相配合的从动侧转动件和从动侧移动件，从动侧移动件与承载主体的另一侧连接，从动侧转动件转动时能够带动从动侧移动件沿第二方向进行移动；中间传动件连接在主动侧转动件和从动侧转动件之间，旋转电机与主动侧转动件驱动连接，以驱动主动侧转动件、中间传动件及从动侧转动件进行同步转动，从而带动主动侧移动件和从动侧移动件沿第二方向同步移动。
10.进一步地，主动侧转动件包括主动侧带轮，主动侧移动件包括套设在主动侧带轮上的主动侧传送带，主动侧传送带通过主动侧传送带连接件与承载主体的一侧连接；从动侧转动件包括从动侧带轮，从动侧移动件包括套设在从动侧带轮上的从动侧传送带，从动侧传送带通过从动侧传送带连接件与承载主体的另一侧连接；中间传动件连接在主动侧带轮和从动侧带轮之间。
11.进一步地，石墨舟承载机构还包括移动辅助机构，移动辅助机构包括导向部和滑动部，导向部沿第二方向延伸且固定于基座上，滑动部可滑动地设置在导向部上，滑动部与承载主体固定连接。
12.进一步地，移动辅助机构为两个，两个移动辅助机构对称地设置在承载主体沿第一方向相对的两侧。
13.进一步地，承载主体用于承载单个或多个沿第一方向延伸的石墨舟，其中，当石墨舟为多个时，多个石墨舟沿第一方向依次布置；石墨舟承载机构还包括：两个第一支撑装置，分别安装在承载主体沿第一方向相对的两侧，两个第一支撑装置分别用于对单个石墨舟的两端或者对多个石墨舟构成的整体位于最外侧的两端进行支撑及固定；第二支撑装置和第三支撑装置，均与承载主体可拆卸地连接，以能够选择性地将第二支撑装置安装至承载主体上且位于两个第一支撑装置之间，以在承载主体承载单个石墨舟时，对该石墨舟进行辅助支撑；或者，将第三支撑装置安装至承载主体上且位于两个第一支撑装置之间，以在承载主体承载多个石墨舟时，对每两个石墨舟的相邻处的端部进行支撑及固定。
14.进一步地，第二支撑装置在承载主体上的安装位置可沿第一方向进行调整，以用于匹配石墨舟所需进行辅助支撑的不同位置；和/或，第三支撑装置在承载主体上的安装位置可沿第一方向进行调整，以用于匹配两个石墨舟的相邻处的不同位置。
15.进一步地，承载主体为框架结构，框架结构包括两个横梁、两个纵梁以及中间梁，两个横梁均沿第一方向延伸，两个纵梁和中间梁均连接在两个横梁之间，且中间梁位于两个纵梁之间，两个第一支撑装置分别安装在两个纵梁上，第二支撑装置和第三支撑装置均能够可拆卸地安装在中间梁上，其中，中间梁与两个横梁的连接位置可调，以此调整第二支撑装置和/或第三支撑装置的安装位置，并在安装位置调整后通过第一锁紧件将中间梁与两个横梁进行锁紧固定。
16.进一步地，两个横梁均具有沿第一方向延伸的第一凹槽，中间梁的两端均设有第一滑动件，第一滑动件插入至相应的第一凹槽内，第一锁紧件与第一滑动件和第一凹槽相配合，当第一锁紧件松开时，第一滑动件可沿第一凹槽进行滑动，当第一锁紧件锁紧时，第
一滑动件与第一凹槽之间相对固定。
17.进一步地，中间梁沿第二方向延伸，中间梁具有沿第二方向延伸的第二凹槽，第二凹槽内插入有第二滑动件，第二支撑装置和第三支撑装置均能够与第二滑动件可拆卸连接，第二滑动件与第二凹槽之间设有第二锁紧件，当第二锁紧件松开时，第二滑动件可沿第二凹槽进行滑动，当第二锁紧件锁紧时，第二滑动件与第二凹槽之间相对固定。
18.本实用新型具有以下有益效果：
19.本实用新型提供的石墨舟承载机构包括基座、承载主体以及驱动机构，基座固定设置在净化台上，承载主体设置在基座上且用于承载石墨舟，驱动机构包括驱动源、主动侧传动结构以及从动侧传动结构，主动侧传动结构和从动侧传动结构分别与承载主体沿第一方向相对的两侧连接，驱动源用于驱动主动侧传动结构和从动侧传动结构进行同步动作，并以此带动承载主体相对于基座沿垂直于第一方向的第二方向进行往复移动，从而实现承载主体承载的石墨舟在净化台上的运送。由于主动侧传动结构和从动侧传动结构在驱动源的驱动下能够同步进行动作，这样能够使承载主体的移动更为平稳。
20.设净化台朝向反应腔室的一侧为内侧，背离反应腔室的一侧为外侧，推舟机构位于净化台的内侧与石墨舟承载机构之间。石墨舟承载机构与推舟机构配合使用，以实现未进行镀膜石墨舟进入镀舟设备的过程(即进舟过程)或完成镀膜的石墨舟由镀舟设备取出的过程(即出舟过程)中对石墨舟的承载及运送。
21.在进舟和出舟过程中，需要通过驱动源控制承载主体沿第二方向移动至净化台的外侧指定位置和与推舟机构衔接位置。由于上述石墨舟承载机构采用设置于镀舟设备的净化台上的在线式设计，石墨舟承载机构的安装位置不变，石墨舟承载机构的承载主体每次均能够准确移动至与推舟机构衔接位置和净化台的外侧指定位置，因此上述石墨舟承载机构每次使用时无需操作人员手动进行位置校准，使用便捷性较好。同时，通过驱动机构自动驱动承载主体进行移动，从而实现对石墨舟的运送，自动化程度较高，省时省力，有利于减轻人工劳动强度，提高生产效率。另外，由于石墨舟承载机构为在线式设计，当石墨舟承载机构不需要进行石墨舟运送时，也可以作为石墨舟的临时存储位使用，用于石墨舟的存储或中转，提高了石墨舟在设备内部的可调度性。
附图说明
22.图1为现有技术中的石墨舟小车的结构示意图；
23.图2为根据本实用新型的一个实施例的镀舟设备的石墨舟承载机构与净化台的装配关系示意图；
24.图3为图2的石墨舟承载机构的承载主体、第一支撑装置、第二支撑装置以及第三支撑装置的结构示意图；
25.图4为图2的石墨舟承载机构采用第三支撑装置时的结构示意图；
26.图5为图2的石墨舟承载机构的驱动机构的旋转电机、主动侧传动结构、中间传动件以及移动辅助机构的配合关系示意图；
27.图6为图5的旋转电机、主动侧传动结构、中间传动件以及移动辅助机构的另一角度的配合关系示意图；
28.图7为图2的石墨舟承载机构的驱动机构的旋转电机、从动侧传动结构、中间传动
件以及移动辅助机构的配合关系示意图；
29.图8为图7的旋转电机、从动侧传动结构、中间传动件以及移动辅助机构的另一角度的配合关系示意图
30.图9为图3的第一支撑装置的a处放大图；
31.图10为图3的第三支撑装置的b处放大图；
32.图11为图3的第二支撑装置的结构示意图；
33.图12为图4的石墨舟承载机构的c-c向剖视示意图；
34.图13为图2的石墨舟承载机构用于承载210
×
210规格硅片的单舟石墨舟时的剖视示意图；
35.图14为图2的石墨舟承载机构用于承载210
×
210规格硅片的双舟石墨舟时的剖视示意图；
36.图15为图14的石墨舟承载机构的第三支撑装置与双舟石墨舟相邻处的配合关系示意图；
37.图16为图2的石墨舟承载机构用于承载182
×
182规格硅片的单舟石墨舟时的剖视示意图；
38.图17为图16的石墨舟承载机构的第一支撑装置与单舟石墨舟端部的配合关系示意图；
39.图18为图16的石墨舟承载机构的第二支撑装置与单舟石墨舟需要辅助支撑的位置的配合关系示意图；
40.图19为图2的石墨舟承载机构的第一滑动件、第一凹槽以及第一锁紧件的配合关系示意图。
具体实施方式
41.为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图来对本实用新型提供的镀舟设备进行详细描述。
42.在采用等离子体增强化学气相沉积法(pecvd)的工艺中，石墨舟通常作为待加工件(例如硅片)的载体。以待加工件为硅片为例，在石墨舟承载着硅片进入相应工艺设备的反应腔室(例如管式pecvd设备的石英管)后，受到高真空和射频作用，石墨舟的两个相邻舟片之间形成高频电场以将其附近工艺气体(例如sih4、nh3等)进行分解，从而在硅片表面沉积一层si3n4薄膜，同时生成氢原子，提高最终制成的电池片的转换效率。
43.在石墨舟首次承载待加工件进行镀膜工艺前，或者清洗后的石墨舟再次承载待加工件进行镀膜工艺前，均需要对石墨舟进行镀舟工艺，即对石墨舟自身进行预镀膜。需要注意的是，用于对石墨舟自身进行预镀膜的镀舟设备可以与前述用于对石墨舟承载的待加工件进行沉积镀膜的工艺设备(例如管式pecvd设备的石英管)为同一个设备，当然也可以为不同的设备。
44.本实用新型提供了一种镀舟设备，至少用于对石墨舟进行预镀膜。如图2所示，上述镀舟设备包括反应腔室(图中未示出)和位于反应腔室一侧的净化台300，净化台300上设置有石墨舟承载机构100和推舟机构(图中未示出)，石墨舟承载机构100位于推舟机构背离反应腔室的一侧。石墨舟承载机构100用于承载未进行镀膜的石墨舟200或承载从推舟机构
传送回的完成镀膜的石墨舟200。推舟机构用于将未进行镀膜的石墨舟200从石墨舟承载机构100上传送至反应腔室内或将反应腔室内完成镀膜的石墨舟200传送回石墨舟承载机构100。
45.如图2至图8所示，在一些实施例中，石墨舟承载机构100包括基座50、承载主体10以及驱动机构。基座50固定设置在净化台300上。承载主体10设置在基座50上，且承载主体10用于承载石墨舟200。驱动机构设置在基座50上并与承载主体10相配合。其中，驱动机构包括驱动源、主动侧传动结构62以及从动侧传动结构63，主动侧传动结构62和从动侧传动结构63分别与承载主体10沿第一方向相对的两侧连接，驱动源用于驱动主动侧传动结构62和从动侧传动结构63进行同步动作，并以此带动承载主体10相对于基座50沿垂直于第一方向的第二方向进行往复移动，从而实现承载主体10承载的石墨舟200在净化台300上的运送。由于主动侧传动结构62和从动侧传动结构63在驱动源的驱动下能够同步进行动作，这样能够使承载主体10的移动更为平稳。其中，“第一方向”指的是图3中示出的直角坐标系x轴延伸方向”，“第二方向”指的是图3中示出的直角坐标系y轴延伸方向。
46.在图中示出的具体实施例中，净化台300具有沿朝向反应腔室的方向贯通设置的通道301，该通道301的贯通方向基本平行于第二方向。石墨舟承载机构100的基座50与通道301的通道壁进行固定连接。设净化台300朝向反应腔室的一侧为内侧，背离反应腔室的一侧为外侧，推舟机构位于净化台300的内侧与石墨舟承载机构100之间。石墨舟承载机构100与推舟机构配合使用，以实现未进行镀膜石墨舟200进入镀舟设备的过程(即进舟过程)或完成镀膜的石墨舟200由镀舟设备取出的过程(即出舟过程)中对石墨舟200的承载及运送。
47.在进舟过程中，通过驱动源控制承载主体10沿第二方向移动至净化台300的外侧指定位置，通过外部机械手或人力将未进行镀膜的石墨舟200放置于承载主体10上，此后通过驱动源控制承载主体10沿第二方向移动至与推舟机构衔接位置，推舟机构将未进行镀膜的石墨舟200从承载主体10上传送至反应腔室内；在出舟过程中，通过驱动源控制承载主体10沿第二方向移动至与推舟机构衔接位置，推舟机构将反应腔室内完成镀膜的石墨舟200传送回承载主体10，此后通过驱动源控制承载主体10沿第二方向移动至净化台300的外侧指定位置，通过外部机械手或人力将完成镀膜的石墨舟200取下。
48.上述石墨舟承载机构100采用设置于镀舟设备的净化台300上的在线式设计，石墨舟承载机构100的安装位置不变，石墨舟承载机构100的承载主体10每次均能够准确移动至与推舟机构衔接位置和净化台300的外侧指定位置，因此上述石墨舟承载机构100每次使用时无需操作人员手动进行位置校准，使用便捷性较好。同时，通过驱动机构自动驱动承载主体10进行移动，从而实现对石墨舟200的运送，自动化程度较高，省时省力，有利于减轻人工劳动强度，提高生产效率。另外，由于石墨舟承载机构100为在线式设计，当石墨舟承载机构100不需要进行石墨舟200运送时，也可以作为石墨舟200的临时存储位使用，用于石墨舟200的存储或中转，提高了石墨舟200在设备内部的可调度性。
49.如图4至图8所示，在一些实施例中，驱动机构包括旋转电机61，驱动机构还包括中间传动件64。主动侧传动结构62包括相配合的主动侧转动件621和主动侧移动件622。从动侧传动结构63包括相配合的从动侧转动件631和从动侧移动件632。中间传动件64连接在主动侧转动件621和从动侧转动件631之间，主动侧移动件622和从动侧移动件632分别与承载主体10沿第一方向相对的两侧连接。
50.旋转电机61与主动侧转动件621驱动连接，以驱动主动侧转动件621、中间传动件64及从动侧转动件631进行同步转动。由于主动侧转动件621和从动侧转动件631转动时，能够分别带动相应的主动侧移动件622和从动侧移动件632沿第二方向进行移动，从而以此实现带动主动侧移动件622和从动侧移动件632的同步移动。
51.需要说明的是，主动侧传动结构62和从动侧传动结构63的具体形式并不作限定，可以为任何能够实现转动转换为移动且能够实现同步运动的传动形式。
52.例如，在图4至图8示出的具体实施例中，基座50包括固定支架51、固定板52以及固定框53。固定支架51固定连接在净化台300上，固定板52和固定框53则固定连接在固定支架51上。固定板52为沿第一方向对称设置的两个。旋转电机61通过固定框53固定在其中一个固定板52上。旋转电机61为伺服电机可正转和反转，用于提供传输动力。
53.在一些实施例中，主动侧转动件621包括主动侧带轮，主动侧移动件622包括套设在主动侧带轮上的主动侧传送带，从动侧转动件631包括从动侧带轮，从动侧移动件632包括套设在从动侧带轮上的从动侧传送带。主动侧带轮和从动侧带轮分别可转动地安装至相应的固定板52上。中间传动件64连接在主动侧带轮和从动侧带轮之间。具体地，中间传动件64包括传动轴，旋转电机61与主动侧带轮的一侧转轴之间通过联轴器连接，主动侧带轮的另一侧转轴与传动轴的一端之间通过联轴器连接，传动轴的另一端与从动侧带轮的一侧转轴通过联轴器连接，从而实现旋转电机61转动带动主动侧带轮和从动侧带轮同步转动。
54.又由于主动侧带轮转动可带动主动侧传送带沿第二方向移动，从动侧带轮转动可带动从动侧传送带沿第二方向移动，以此实现主动侧传送带与从动侧传送带的同步移动。另外，主动侧传送带通过主动侧传送带连接件624与承载主体10的一侧连接，从动侧传送带通过从动侧传送带连接件634与承载主体10的另一侧连接，这样能够实现主动侧传送带和从动侧传送带平稳带动承载主体10沿第二方向移动。另外，主动侧传动结构62还包括主动侧带轮松紧装置623，主动侧带轮松紧装置623用于调节主动侧传送带的松紧，从动侧传动结构63还包括从动侧带轮松紧装置633，从动侧带轮松紧装置633用于调节从动侧传送带的松紧。由于带轮松紧装置为现有较为成熟的技术，在此不再赘述。
55.当然，主动侧传动结构62和从动侧传动结构63的具体形式不限于此，在图中未示出的其它实施例中，主动侧传动结构62和从动侧传动结构63也可以采用链轮链条、齿轮齿条等能够实现同步且将转动转换为直线移动的传动结构。
56.如图5至图8所示，在一些实施例中，石墨舟承载机构100还包括移动辅助机构70。移动辅助机构70包括导向部71和滑动部72。导向部71沿第二方向延伸且固定于基座50上。滑动部72可滑动地设置在导向部71上，滑动部72与承载主体10固定连接。优选地，滑动部72通过滑动部连接件73与承载主体10固定连接。在承载主体10沿第二方向移动过程中，上述滑动部72随着承载主体10一同移动，从而能够对承载主体10起到辅助支撑的作用，并且滑动部72与导向部71滑动配合，也能够对承载主体10起到移动导向的作用，进而使承载主体10移动地更加平稳。
57.导向部71和滑动部72的具体结构并不作限定。例如，导向部71可以为固定设置在固定板52上的导轨，滑动部72可以为套设在导轨上的滑块。当然，在图中未示出的其它实施例中，导向部71和滑动部72也可以为滑槽滑轮等结构。
58.优选地，移动辅助机构70为两个，两个移动辅助机构70对称地设置在承载主体10
沿第一方向相对的两侧，这样能够进一步增强承载主体10的移动平稳性。进一步地，如图6所示，为了避免位于主动侧的滑动部连接件73与主动侧传送带连接件624之间发生干涉，两者可以分别与承载主体10的正面(即承载石墨舟200的一侧)和背面进行连接。同样地，如图8所示，为了避免位于从动侧的滑动部连接件73与从动侧传送带连接件634之间发生干涉，两者可以分别与承载主体10的正面(即承载石墨舟200的一侧)和背面进行连接。
59.需要注意的是，主动侧传送带连接件624、从动侧传送带连接件634以及滑动部连接件73的具体结构并不作限定，可以为任何能够实现有效连接的结构。例如，在图中示出的具体实施例中，主动侧传送带连接件624包括沿第一方向延伸、且相互连接的连接块和连接条，连接块连接在承载主体10的背面，连接条连接在主动侧传送带的表面上；从动侧传送带连接件634与主动侧传送带连接件624结构类似，不再赘述；滑动部连接件73包括垂直连接的第一连接板和第二连接板，第一连接板连接在承载主体10的正面，第二连接板连接在滑动部72上。
60.石墨舟的种类按照承载待加工件时的使用形式(也可看作按照反应腔室可容纳石墨舟的数量)，可划分为单舟形式、双舟形式等。在图1示出的现有石墨舟小车中，石墨舟小车的承载板2仅在两端设置支撑装置3，而承载板2的中部并未设置任何固定结构，因此仅适用于单舟形式的石墨舟，无法适用于整体中部仍需要固定的双舟形式的石墨舟，兼容性较差。
61.如图13、图14以及图16所示，根据石墨舟200承载待加工件时的使用形式(也可看作是例如管式pecvd设备的单根石英管内可容纳石墨舟200的数量)，可被划分为单舟形式、双舟形式等。另外，每个石墨舟200按照适用待加工件(例如硅片)的尺寸规格也会分为不同种类，例如可被划分为182
×
182石墨舟、210
×
210石墨舟等。
62.根据石墨舟200承载待加工件时的使用形式的不同，承载主体10需要相应地承载单个或多个石墨舟200，各个石墨舟200均沿第一方向延伸设置，且当承载主体10承载的石墨舟200为多个时，多个石墨舟200沿第一方向依次布置。
63.如图3、图4以及图9至图19所示，在一些实施例中，石墨舟承载机构100还包括两个第一支撑装置20、第二支撑装置30以及第三支撑装置40。其中，两个第一支撑装置20分别安装在承载主体10沿第一方向相对的两侧。两个第一支撑装置20分别用于对单个石墨舟200的两端或者对多个石墨舟200构成的整体位于最外侧的两个端部进行支撑及固定。第二支撑装置30和第三支撑装置40均与承载主体10可拆卸地连接，以能够选择性地将第二支撑装置30安装至承载主体10上且位于两个第一支撑装置20之间，以在承载主体10承载单个石墨舟200时，对该石墨舟200进行辅助支撑；或者，将第三支撑装置40安装至承载主体10上且位于两个第一支撑装置20之间，以在承载主体10承载多个石墨舟200时，对每两个石墨舟200的相邻处的端部进行支撑及固定。
64.具体地，当承载主体10承载的石墨舟200为单个时，将第二支撑装置30安装至承载主体10上，且使第二支撑装置30位于两个第一支撑装置20之间。此后，将单个石墨舟200放置在承载主体10上。一方面，通过两个第一支撑装置20分别对该石墨舟200的两端进行支撑和固定，从而防止石墨舟200的两端相对于承载主体10发生位移；另一方面，通过第二支撑装置30对该石墨舟200位于其两端之间的位置进行辅助支撑。
65.当承载主体10承载的石墨舟200为多个(例如两个)时，将第三支撑装置40安装至
承载主体10上，且使第三支撑装置40位于两个第一支撑装置20之间。此后，将多个石墨舟200沿第一方向放置在承载主体10上。一方面，多个石墨舟200构成的整体在第一方向上具有位于最外侧的两个端部，通过两个第一支撑装置20分别对上述两个端部进行支撑和固定，从而防止多个石墨舟200整体的上述两个端部相对于承载主体10发生位移；另一方面，多个石墨舟200中每两个石墨舟200相邻处均对应于该两个石墨舟200的两个端部，通过第三支撑装置40在上述相邻处对两个石墨舟200的端部进行支撑和固定，即多个石墨舟200中每两个石墨舟200相邻处均设有第三支撑装置40，从而有效地对每个石墨舟200的端部进行限位固定，进而防止每个石墨舟200相对于承载主体10发生位移。
66.例如，图13示出的石墨舟承载机构100适用于210
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210规格硅片的单舟石墨舟(即承载单个石墨舟200)。如图13所示，第二支撑装置30被安装于承载主体10的中部，两个第一支撑装置20分别支撑并固定石墨舟200的两端，第二支撑装置30辅助支撑该石墨舟200的中部。图14示出的石墨舟承载机构100适用于210
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210规格硅片的双舟石墨舟(即承载两个石墨舟200)。如图14所示，第三支撑装置40被安装于承载主体10的中部，两个第一支撑装置20分别支撑并固定两个石墨舟200位于最外侧的两个端部，第三支撑装置40支撑并固定两个石墨舟200相邻处的两个端部。
67.由于对单个石墨舟200和多个石墨舟200进行承载时，两种形式对于两端之间部分的结构和支撑需求是不同的，单个石墨舟200的两端之间部分连续且不存在断开部位，仅需要进行辅助支撑即可；而多个石墨舟200整体的两端之间的部分存在至少一处“相邻处”，该“相邻处”对应于某两个石墨舟200的两个端部，此时不仅需要对“相邻处”的两个石墨舟200的端部进行支撑，还需要对其进行限位固定。
68.因此，通过选择性地将适用于单个石墨舟200的第二支撑装置30或适用于多个石墨舟200的第三支撑装置40安装至承载主体10上，以实现石墨舟承载机构100兼容单个石墨舟200和多个石墨舟200(例如两个石墨舟200)的承载需求。在不改变石墨舟承载机构100的主体结构的前提下，根据石墨舟200承载待加工件时的不同使用形式，将承载主体10上位于两个第一支撑装置20之间的支撑装置更换为第二支撑装置30或第三支撑装置40，从而实现单个石墨舟200或多个石墨舟200(例如两个石墨舟200)的承载，兼容性更强，并且成本更低。特别是针对使用频率不高的石墨舟镀舟工艺，将上述能够兼容多种石墨舟200使用形式的石墨舟承载机构100作为镀舟设备自身的配套部件，有利于降低产线成本。
69.需要说明的是，一般情况下，承载主体10承载的石墨舟200为单个时，第二支撑装置30对该石墨舟200仅进行辅助支撑，不进行限位固定。当然，可以理解地，在另一些实施例中，也可以通过第二支撑装置30对单个石墨舟200进行限位固定。
70.当承载主体10承载的石墨舟200为单个时，根据每个石墨舟200按照适用待加工件(例如硅片)的尺寸规格被划分的种类的不同，单个石墨舟200孔数的奇偶性会发生变化，从而导致单个石墨舟200需要进行辅助支撑的位置的不同。因此，如图13和图16所示，在一些实施例中，第二支撑装置30在承载主体10上的安装位置可沿第一方向进行调整，以用于匹配石墨舟200所需进行辅助支撑的不同位置，从而提高承载单个石墨舟200的情况下对于不同种类的石墨舟200的兼容性。例如，图13示出的石墨舟承载机构100适用于210
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210规格硅片的单舟石墨舟(即承载单个石墨舟200)，图16示出的石墨舟承载机构100适用于182
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182规格硅片的单舟石墨舟(即承载单个石墨舟200)。经比较可知，图13中单个石墨舟200的
孔数为8个，第二支撑装置30的安装位置位于单个石墨舟200的正中央的位置，即对应于由左至右数第4个孔与第5个孔之间；图16中单个石墨舟200的孔数为9个，第二支撑装置30的安装位置位于单个石墨舟200的中部偏向左侧的位置，即对应于由左至右数第4个孔与第5个孔之间。
71.另外，当承载主体10承载的石墨舟200为多个时，根据多个石墨舟200的具体数量、每个石墨舟200的长度等的不同，相邻的两个石墨舟200之间相接的位置(即“相邻处”的位置)可能有所不同。因此，在一些实施例中，第三支撑装置40在承载主体10上的安装位置可沿第一方向进行调整，以用于匹配两个石墨舟200的相邻处的不同位置。
72.需要说明的是，第一支撑装置20、第二支撑装置30以及第三支撑装置40的具体结构和与相应的石墨舟200之间的配合方式并不作限定，只要能够实现相应的支撑及固定或辅助支撑功能即可。
73.一般情况下，无论是单个石墨舟200还是多个石墨舟200，每个石墨舟200的结构类似。如图13至图18所示，每个石墨舟200均包括沿垂直于第一方向的第二方向(即图3中示出的直角坐标系y轴延伸方向)间隔设置的多个舟片，每个舟片沿第一方向延伸设置，每个石墨舟200的两端均设有端部舟脚201。特别地，针对单个石墨舟200，该石墨舟200需要进行辅助支撑的位置设有中间舟脚202。
74.如图3、图4、图9及图17所示，第一支撑装置20包括第一支撑板21和连接在第一支撑板21沿第二方向相对的两侧的两个第一限位轮22，并且第一支撑板21的上述两侧分别具有导向斜面211。石墨舟200的一个端部的端部舟脚201通常为沿第二方向间隔设置的多个。一方面，多个端部舟脚201被放置在第一支撑装置20的两个第一限位轮22之间，并且位于最外侧的两个端部舟脚201与两个第一限位轮22相对的两个端面限位配合，以实现对石墨舟200的沿第二方向的限位。另一方面，最外侧的两个端部舟脚201均具有向下延伸的延伸凸部，两个端部舟脚201的延伸凸部分别沿两个导向斜面211下移至低于相应的第一限位轮22的顶面，从而通过端部舟脚201的延伸凸部与第一限位轮22的滚动面的限位配合，实现对石墨舟200的沿第一方向的限位。综合上述两方面，能够实现对一个或多个石墨舟200整体最外侧的两端的固定。
75.如图3、图4、图10、图12及图15所示，第三支撑装置40包括沿第一方向对称设置的两部分，每部分用于对相邻处的一个石墨舟200的端部进行支撑和固定。第三支撑装置40的每部分的结构与第一支撑装置20的结构类似，包括第二支撑板41和连接在第二支撑板41沿第二方向相对的两侧的两个第二限位轮42，并且第二支撑板41的上述两侧分别设有导向轮43。以相邻处的一个石墨舟200的端部与第三支撑装置40的对应部分的配合方式为例，一方面，石墨舟200的多个端部舟脚201被放置在第三支撑装置40的两个第二限位轮42之间，并且位于最外侧的两个端部舟脚201与两个第二限位轮42相对的两个端面限位配合，以实现对石墨舟200的沿第二方向的限位。另一方面，最外侧的两个端部舟脚201均具有向下延伸的延伸凸部，两个端部舟脚201的延伸凸部分别沿两个导向轮43下移至低于相应的第二限位轮42的顶面，从而通过端部舟脚201的延伸凸部与第二限位轮42的滚动面的限位配合，实现对石墨舟200的沿第一方向的限位。综合上述两方面，能够实现对多个石墨舟200中“相邻处”的石墨舟200的端部的固定。
76.如图3、图4、图11及图18所示，第二支撑装置30包括连接板31和连接在连接板31沿
第二方向相对的两侧的两个支撑凸部32，两个支撑凸部32均向上延伸，每个支撑凸部32的顶部的外侧设有支撑斜面321。连接板31用于与承载主体10可拆卸连接。单个石墨舟200需要进行辅助支撑的位置设有中间舟脚202，中间舟脚202被支撑在上述支撑斜面321上。
77.如图3、图4以及图12所示，在一些实施例中，承载主体10为框架结构，框架结构包括两个横梁11、两个纵梁12以及中间梁13。两个横梁11均沿第一方向延伸，两个纵梁12和中间梁13均连接在两个横梁11之间，且中间梁13位于两个纵梁12之间。另外，在至少一组相连的横梁11与纵梁12之间连接有加强梁14，从而保证整体框架结构的稳定性。两个第一支撑装置20分别安装在两个纵梁12上。第二支撑装置30和第三支撑装置40均能够可拆卸地安装在中间梁13上。其中，中间梁13与两个横梁11的连接位置可调，以此调整第二支撑装置30和/或第三支撑装置40的安装位置，并在安装位置调整后通过第一锁紧件将中间梁13与两个横梁11进行锁紧固定，从而保证第二支撑装置30和/或第三支撑装置40被锁定至调整后的安装位置。上述框架结构的结构简单，且通过中间梁13与横梁11之间的连接位置可调实现第二支撑装置30和/或第三支撑装置40的安装位置的调整，更加便于操作和实现。
78.当然，实现调整第二支撑装置30和/或第三支撑装置40的安装位置的方式不限于此，在图中未示出的其它实施例中，也可以采用其它实现方式。例如，承载主体10整体呈板状，承载主体10上沿第一方向设有多个安装孔位，通过第二支撑装置30和/或第三支撑装置40选择性地与其中一个安装孔位进行连接，以实现安装位置调整。
79.进一步地，如图3、图4以及图12所示，在一些实施例中，中间梁13可沿两个横梁11进行滑动。具体地，两个横梁11均具有沿第一方向延伸的第一凹槽111，中间梁13的两端均设有第一滑动件，第一滑动件插入至相应的第一凹槽111内，第一锁紧件与第一滑动件和第一凹槽111相配合。当第一锁紧件松开时，第一滑动件可沿第一凹槽111进行滑动，从而便于将中间梁13调整至所需位置，即第二支撑装置30和/或第三支撑装置40调整至所需安装位置。当第一锁紧件锁紧时，第一滑动件与第一凹槽111之间相对固定，从而将中间梁13锁定至该位置，即第二支撑装置30和/或第三支撑装置40被锁定至调整后的安装位置。
80.当然，中间梁13与两个横梁11的配合方式不限于滑动，在图中未示出的其它实施例中，也可以在横梁11上沿第一方向设有多个安装孔位，通过中间梁13选择性地与其中一个安装孔位进行连接，以实现中间梁13位置的调整。
81.另外，第一凹槽111的形成方式、第一滑动件和第一锁紧件的具体结构并不作限定，只要能够实现相应功能即可。例如，如图12和图19所示，在一些实施例中，两个横梁11、两个纵梁12以及中间梁13均采用带沟槽的铝制型材，两个横梁11相对一侧的侧面沟槽形成第一凹槽111，第一滑动件的一端连接在中间梁13的侧面沟槽中，另一端弯折90度后嵌入至第一凹槽111中，且能够沿第一凹槽111滑动。第一凹槽111的槽型类似于t形槽，即第一凹槽111的内部槽宽大于槽口的尺寸，以在槽口的周围形成向内凸出的内凸壁体，第一滑动件嵌入第一凹槽111的一端的部分位于上述内凸壁体的下方，第一锁紧件包括锁紧螺钉151和锁紧螺母152，锁紧螺钉151由下至上依次穿过第一滑动件及内凸壁体，并与锁紧螺母152在第一凹槽111的外部进行连接。当锁紧螺钉151与锁紧螺母152旋紧时，第一滑动件与内凸壁体紧密贴合，从而使第一滑动件与第一凹槽111之间相对固定；当锁紧螺钉151与锁紧螺母152松开一定程度时，第一滑动件与内凸壁体之间存在一定距离，从而使第一滑动件可相对于第一凹槽111进行滑动。
82.特别地，如图3、图4以及图12所示，在一些实施例中，中间梁13沿垂直于第一方向的第二方向延伸。中间梁13具有沿第二方向延伸的第二凹槽131。第二凹槽131内插入有第二滑动件。第二支撑装置30和第三支撑装置40均能够与第二滑动件可拆卸连接。第二滑动件与第二凹槽131之间设有第二锁紧件。当第二锁紧件松开时，第二滑动件可沿第二凹槽131进行滑动，从而调整第二支撑装置30和/或第三支撑装置40沿第二方向的安装位置，使用更为灵活。当第二锁紧件锁紧时，第二滑动件与第二凹槽131之间相对固定，从而将第二支撑装置30和/或第三支撑装置40锁定至调整后的安装位置。
83.其中，第二凹槽131的形成方式、第二滑动件和第二锁紧件的具体结构并不作限定，只要能够实现相应功能即可。例如，如图12所示，在一些实施例中，两个横梁11、两个纵梁12以及中间梁13均采用带沟槽的铝制型材，中间梁13的顶面沟槽形成第二凹槽131，第二滑动件嵌入至第二凹槽131中，且能够沿第二凹槽131滑动。第二凹槽131与第二滑动件的配合方式可以与前述第一凹槽111与第一滑动件的配合方式(详见图19)类似，在此不再赘述。
84.可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。