镀舟设备的制作方法

技术特征：
1.一种镀舟设备，其特征在于，所述镀舟设备包括反应腔室和位于所述反应腔室一侧的净化台，所述净化台上设置有石墨舟承载机构和推舟机构，所述石墨舟承载机构位于所述推舟机构背离所述反应腔室的一侧，所述石墨舟承载机构用于承载未进行镀膜的石墨舟或承载从所述推舟机构传送回的完成镀膜的所述石墨舟，所述推舟机构用于将未进行镀膜的所述石墨舟从所述石墨舟承载机构上传送至所述反应腔室内或将所述反应腔室内完成镀膜的所述石墨舟传送回所述石墨舟承载机构；所述石墨舟承载机构包括：基座和承载主体，所述基座固定设置在所述净化台上，所述承载主体设置在所述基座上，且用于承载所述石墨舟；驱动机构，设置在所述基座上，所述驱动机构包括驱动源、主动侧传动结构以及从动侧传动结构，其中，所述主动侧传动结构和所述从动侧传动结构分别与所述承载主体沿第一方向相对的两侧连接，所述驱动源用于驱动所述主动侧传动结构和所述从动侧传动结构进行同步动作，并以此带动所述承载主体相对于所述基座沿垂直于所述第一方向的第二方向进行往复移动。2.根据权利要求1所述的镀舟设备，其特征在于，所述驱动源包括旋转电机，所述驱动机构还包括中间传动件，所述主动侧传动结构包括相配合的主动侧转动件和主动侧移动件，所述主动侧移动件与所述承载主体的一侧连接，所述主动侧转动件转动时能够带动所述主动侧移动件沿所述第二方向进行移动；所述从动侧传动结构包括相配合的从动侧转动件和从动侧移动件，所述从动侧移动件与所述承载主体的另一侧连接，所述从动侧转动件转动时能够带动所述从动侧移动件沿所述第二方向进行移动；所述中间传动件连接在所述主动侧转动件和所述从动侧转动件之间，所述旋转电机与所述主动侧转动件驱动连接，以驱动所述主动侧转动件、所述中间传动件及所述从动侧转动件进行同步转动，从而带动所述主动侧移动件和所述从动侧移动件沿所述第二方向同步移动。3.根据权利要求2所述的镀舟设备，其特征在于，所述主动侧转动件包括主动侧带轮，所述主动侧移动件包括套设在所述主动侧带轮上的主动侧传送带，所述主动侧传送带通过主动侧传送带连接件与所述承载主体的一侧连接；所述从动侧转动件包括从动侧带轮，所述从动侧移动件包括套设在所述从动侧带轮上的从动侧传送带，所述从动侧传送带通过从动侧传送带连接件与所述承载主体的另一侧连接；所述中间传动件连接在所述主动侧带轮和所述从动侧带轮之间。4.根据权利要求1所述的镀舟设备，其特征在于，所述石墨舟承载机构还包括移动辅助机构，所述移动辅助机构包括导向部和滑动部，所述导向部沿所述第二方向延伸且固定于所述基座上，所述滑动部可滑动地设置在所述导向部上，所述滑动部与所述承载主体固定连接。5.根据权利要求4所述的镀舟设备，其特征在于，所述移动辅助机构为两个，两个所述移动辅助机构对称地设置在所述承载主体沿所述第一方向相对的两侧。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的镀舟设备，其特征在于，所述承载主体用于承载单个或多个沿所述第一方向延伸的所述石墨舟，其中，当所述石墨舟为多个时，多个所述石墨舟沿所述第一方向依次布置；所述石墨舟承载机构还包括：两个第一支撑装置，分别安装在所述承载主体沿所述第一方向相对的两侧，两个所述第一支撑装置分别用于对单个所述石墨舟的两端或者对多个所述石墨舟构成的整体位于最外侧的两端进行支撑及固定；第二支撑装置和第三支撑装置，均与所述承载主体可拆卸地连接，以能够选择性地将所述第二支撑装置安装至所述承载主体上且位于两个所述第一支撑装置之间，以在所述承载主体承载单个所述石墨舟时，对该石墨舟进行辅助支撑；或者，将所述第三支撑装置安装至所述承载主体上且位于两个所述第一支撑装置之间，以在所述承载主体承载多个所述石墨舟时，对每两个所述石墨舟的相邻处的端部进行支撑及固定。7.根据权利要求6所述的镀舟设备，其特征在于，所述第二支撑装置在所述承载主体上的安装位置可沿所述第一方向进行调整，以用于匹配所述石墨舟所需进行辅助支撑的不同位置；和/或，所述第三支撑装置在所述承载主体上的安装位置可沿所述第一方向进行调整，以用于匹配两个所述石墨舟的相邻处的不同位置。8.根据权利要求6所述的镀舟设备，其特征在于，所述承载主体为框架结构，所述框架结构包括两个横梁、两个纵梁以及中间梁，两个所述横梁均沿所述第一方向延伸，两个所述纵梁和所述中间梁均连接在两个所述横梁之间，且所述中间梁位于两个所述纵梁之间，两个所述第一支撑装置分别安装在两个所述纵梁上，所述第二支撑装置和所述第三支撑装置均能够可拆卸地安装在所述中间梁上，其中，所述中间梁与两个所述横梁的连接位置可调，以此调整所述第二支撑装置和/或所述第三支撑装置的所述安装位置，并在所述安装位置调整后通过第一锁紧件将所述中间梁与两个所述横梁进行锁紧固定。9.根据权利要求8所述的镀舟设备，其特征在于，两个所述横梁均具有沿所述第一方向延伸的第一凹槽，所述中间梁的两端均设有第一滑动件，所述第一滑动件插入至相应的所述第一凹槽内，所述第一锁紧件与所述第一滑动件和所述第一凹槽相配合，当所述第一锁紧件松开时，所述第一滑动件可沿所述第一凹槽进行滑动，当所述第一锁紧件锁紧时，所述第一滑动件与所述第一凹槽之间相对固定。10.根据权利要求8所述的镀舟设备，其特征在于，所述中间梁沿所述第二方向延伸，所述中间梁具有沿所述第二方向延伸的第二凹槽，所述第二凹槽内插入有第二滑动件，所述第二支撑装置和所述第三支撑装置均能够与所述第二滑动件可拆卸连接，所述第二滑动件与所述第二凹槽之间设有第二锁紧件，当所述第二锁紧件松开时，所述第二滑动件可沿所述第二凹槽进行滑动，当所述第二锁紧件锁紧时，所述第二滑动件与所述第二凹槽之间相对固定。

技术总结
本实用新型提供一种镀舟设备，镀舟设备包括反应腔室和净化台，净化台上设置有石墨舟承载机构和推舟机构，石墨舟承载机构位于推舟机构背离反应腔室的一侧；石墨舟承载机构包括：基座和承载主体，基座固定设置在净化台上，承载主体设置在基座上；驱动机构，设置在基座上，驱动机构包括驱动源、主动侧传动结构以及从动侧传动结构，其中，主动侧传动结构和从动侧传动结构分别与承载主体沿第一方向相对的两侧连接，驱动源用于驱动主动侧传动结构和从动侧传动结构进行同步动作，并以此带动承载主体相对于基座沿垂直于第一方向的第二方向进行往复移动。上述石墨舟承载机构采用在线式设计，每次使用时无需进行位置校准，使用便捷性较好，省时省力。省时省力。省时省力。


技术研发人员：李佳伟 李建国 赵文斌
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2022.01.13
技术公布日：2022/7/18