直线电动机系统的制作方法

1.本发明涉及一种动磁型的直线电动机系统。


背景技术：

2.以往，已知一种使永磁体相对于线圈移动的动磁型的直线电动机系统。
3.例如，在专利文献1中公开了一种直线电动机系统，该直线电动机系统具备：定子，其是呈列状地配设多个电枢绕组单元而成的；动子，其具有永磁体，该动子与定子相向地配设；以及控制装置，其将动子所相向的电枢绕组单元设为供电对象，并使得对被设为供电对象的电枢绕组单元依次供电，由此驱动动子。控制装置具有在切换被设为供电对象的电枢绕组单元时进行对作为切换对象的电枢绕组单元的供电控制的切换补偿的功能。具体地说，控制装置具有与多个电枢绕组单元连接的多个第二控制装置，将与最近被选择为供电对象的电枢绕组单元对应的第二控制装置所具有的速度积分值设定为切换对象的第二控制装置的速度积分值。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本特开2015-33240号公报


技术实现要素：

7.发明要解决的问题
8.然而，在专利文献1的直线电动机系统中，当在切换前后成为供电对象的电枢绕组单元的数量改变时，无法适当地设定速度积分值。因而，在切换成为供电对象的电枢绕组单元时，施加于动子的推力急剧地变化，无法减小切换冲击。
9.因此，本发明的目的在于提供一种能够减小切换冲击的直线电动机系统。
10.用于解决问题的方案
11.本公开的一个方式所涉及的直线电动机系统具备：定子，其具有呈列状地排列的多个线圈；动子，其具有与所述多个线圈相向地配置的永磁体；切换部，其将所述多个线圈中的一个以上的线圈选择为成为供电的对象的一个以上的供电对象线圈，并与所述永磁体的移动相应地进行所述一个以上的供电对象线圈的切换，所述一个以上的线圈是各线圈的遍及所述排列方向上的两端部的区域与所述永磁体相向的线圈；以及控制装置，其使用通过将所述动子的指令速度与所述动子的实际速度之差即速度偏差累计所得到的偏差累计值，来对所述一个以上的供电对象线圈进行供电，其中，所述控制装置具有：补偿部，其通过将合计后偏差累计值除以紧接在所述切换之后的所述一个以上的供电对象线圈的个数来计算除法后偏差累计值，所述合计后偏差累计值是将紧挨在所述切换之前对所述一个以上的供电对象线圈的各供电对象线圈进行的供电中使用的所述偏差累计值进行合计所得到的值；速度控制部，其使用由所述补偿部计算出的所述除法后偏差累计值来生成转矩指令；以及电流控制部，其基于由所述速度控制部生成的所述转矩指令，来对紧接在所述切换之
后的所述一个以上的供电对象线圈进行供电。
12.发明的效果
13.根据本公开的一个方式所涉及的直线电动机系统，能够减小切换冲击。
附图说明
14.图1a是表示实施方式1所涉及的直线电动机系统的结构的图，是从交叉方向观察到的图。
15.图1b是表示图1a的直线电动机系统的结构的图，是从与交叉方向正交且与排列方向正交的方向观察到的图。
16.图2是表示图1a的直线电动机系统的功能结构的框图。
17.图3是用于说明图1a的直线电动机系统的动作的一例的说明图，是表示第一状态的图。
18.图4是用于说明图1a的直线电动机系统的动作的一例的说明图，是表示第二状态的图。
19.图5是用于说明图1a的直线电动机系统的动作的一例的说明图，是表示第三状态的图。
20.图6是用于说明图1a的直线电动机系统的动作的一例的说明图，是表示第四状态的图。
21.图7是表示图1a的直线电动机系统中的供电对象放大器的动作的一例的流程图。
22.图8是表示图1a的直线电动机系统中的补偿部的动作的一例的流程图。
23.图9是表示实施方式2所涉及的直线电动机系统的功能结构的框图。
24.图10是用于说明图9的直线电动机系统的动作的一例的说明图，是表示第一状态的图。
25.图11是用于说明图9的直线电动机系统的动作的一例的说明图，是表示第二状态的图。
26.图12是用于说明图9的直线电动机系统的动作的一例的说明图，是表示第三状态的图。
27.图13是用于说明图9的直线电动机系统的动作的一例的说明图，是表示第四状态的图。
具体实施方式
28.(以至得到本公开的一个方式的经过)
29.如上所述，在专利文献1所公开的直线电动机系统中，当在切换前后成为供电对象的电枢绕组单元的数量改变时，无法减小切换冲击。
30.因此，发明人为了减小切换冲击而进行了认真研究、实验。而且，发明人得到了以下见解：通过将合计后偏差累计值除以紧接在一个以上的供电对象线圈的切换之后的一个以上的供电对象线圈的个数来计算除法后偏差累计值，并使用除法后偏差累计值对紧接在该切换之后的一个以上的供电对象线圈进行供电，能够抑制施加于动子的推力急剧地变化，从而能够减小切换冲击，其中，所述合计后偏差累计值是将在紧挨在该切换之前对一个
以上的供电对象线圈的各供电对象线圈进行的供电中使用的偏差累计值进行合计所得到的值。
31.发明人基于该见解进一步进行认真研究、实验，想到了下述本公开的一个方式所涉及的直线电动机系统。
32.本公开的一个方式所涉及的直线电动机系统具备：定子，其具有呈列状地排列的多个线圈；动子，其具有与所述多个线圈相向地配置的永磁体；切换部，其将所述多个线圈中的一个以上的线圈选择为成为供电的对象的一个以上的供电对象线圈，并与所述永磁体的移动相应地进行所述一个以上的供电对象线圈的切换，所述一个以上的线圈是各线圈的遍及所述排列方向上的两端部的区域与所述永磁体相向的线圈；以及控制装置，其使用通过将所述动子的指令速度与所述动子的实际速度之差即速度偏差累计所得到的偏差累计值，来对所述一个以上的供电对象线圈进行供电，其中，所述控制装置具有：补偿部，其通过将合计后偏差累计值除以紧接在所述切换之后的所述一个以上的供电对象线圈的个数来计算除法后偏差累计值，所述合计后偏差累计值是将紧挨在所述切换之前对所述一个以上的供电对象线圈的各供电对象线圈进行的供电中使用的所述偏差累计值进行合计所得到的值；速度控制部，其使用由所述补偿部计算出的所述除法后偏差累计值来生成转矩指令；以及电流控制部，其基于由所述速度控制部生成的所述转矩指令，来对紧接在所述切换之后的所述一个以上的供电对象线圈进行供电。
33.根据上述结构的直线电动机系统，补偿部在一个以上的供电对象线圈的切换时，通过将合计后偏差累计值除以紧接在该切换之后的一个以上的供电对象线圈的个数来计算除法后偏差累计值，所述合计后偏差累计值是将紧挨在该切换之前对一个以上的供电对象线圈的各供电对象线圈进行的供电中使用的偏差累计值进行合计所得到的值。而且，速度控制部使用计算出的除法后偏差累计值来生成转矩指令，电流控制部基于生成的转矩指令来对紧接在该切换之后的一个以上的供电对象线圈进行供电。因而，即使在该切换的前后一个以上的供电对象线圈的个数改变，也能够将紧挨在该切换之前所使用的偏差累计值的合计值大致均等分地对紧接在该切换之后的一个以上的供电对象线圈的各供电对象线圈进行供电。由此，能够抑制在进行该切换时施加于动子的推力急剧地变化，从而能够减小切换一个以上的供电对象线圈时的切换冲击。
34.另外，也可以是，所述控制装置包括与所述多个线圈的各线圈对应地设置的多个控制部，所述多个控制部分别具有所述速度控制部和所述电流控制部，所述补偿部在所述切换时将所述除法后偏差累计值发送到作为所述多个控制部中的与所述一个以上的供电对象线圈对应的控制部的、紧接在所述切换之后的一个以上的供电对象控制部，紧接在所述切换之后的所述一个以上的供电对象控制部的所述速度控制部使用所述除法后偏差累计值来生成所述转矩指令，紧接在所述切换之后的所述一个以上的供电对象控制部的所述电流控制部基于所述转矩指令来对紧接在所述切换之后的所述一个以上的供电对象线圈进行供电。
35.另外，也可以是，紧挨在所述切换之前的所述一个以上的供电对象控制部分别通过将所述速度偏差累计到所述除法后偏差累计值来计算所述偏差累计值，所述补偿部通过将紧挨在所述切换之前由所述一个以上的供电对象控制部分别计算出的所述偏差累计值进行合计，来计算所述合计后偏差累计值。
36.另外，也可以是，所述控制装置还具有能够与所述多个控制部进行通信的上级控制部，所述上级控制部具有所述补偿部。
37.另外，也可以是，所述多个控制部能够相互通信，所述多个控制部分别具有所述补偿部，紧挨在所述切换之前的所述一个以上的供电对象控制部的所述补偿部在所述切换时通过将所述合计后偏差累计值除以紧接在所述切换之后的所述一个以上的供电对象线圈的个数来计算所述除法后偏差累计值，并将所述除法后偏差累计值发送至紧接在所述切换之后的所述一个以上的供电对象控制部中的各供电对象控制部。
38.另外，也可以是，还具备多个位置检测部，所述多个位置检测部配置于所述多个线圈中的各个线圈的所述排列方向上的两端部，针对所述多个线圈中的各个线圈，在所述排列方向上的位于所述永磁体的行进方向的前方侧的所述位置检测部检测到所述永磁体的前端部的情况下，所述切换部将配置有该位置检测部的线圈选择为所述供电对象线圈，在所述排列方向上的位于所述永磁体的行进方向的后方侧的所述位置检测部检测到所述永磁体的后端部的情况下，所述切换部不将配置有该位置检测部的线圈选择为所述供电对象线圈。
39.下面，参照附图来对本公开的一个方式所涉及的直线电动机系统的具体例进行说明。此外，下面说明的实施方式均用于示出概括性或具体性的例子。在下面的实施方式中示出的数值、形状、材料、结构要素、结构要素的配置位置及连接方式等是一个例子，意不在于限定本公开。
40.此外，各图是示意图，不一定严格地进行了图示。另外，在各图中，对实质上相同的结构标注相同的附图标记，有时省略或简化重复的说明。
41.另外，在以下的实施方式的说明中使用的附图中，有时示出坐标系。坐标系中的x轴方向是多个线圈排列的排列方向。另外，坐标系中的y轴方向是与x轴方向正交的方向，是与该排列方向正交的交叉方向。另外，坐标系中的z轴方向是与x轴方向正交且与y轴方向正交的方向。
42.(实施方式1)
43.下面，参照附图来对实施方式1所涉及的直线电动机系统10进行说明。
44.图1a是表示实施方式1所涉及的直线电动机系统10的结构的图，是从交叉方向观察到的图。图1b是表示图1a的直线电动机系统10的结构的图，是从与交叉方向正交且与排列方向正交的方向观察到的图。此外，在图1a中，为了避免附图变得繁杂，省略了基台22和物品台26等的图示。参照图1a和图1b，来对实施方式1所涉及的直线电动机系统10的结构进行说明。
45.如图1a和图1b所示，直线电动机系统10具备直线电动机12、控制装置14以及位置检测装置15。
46.直线电动机12具有定子16和能够相向于定子16移动的动子18。直线电动机12是永磁体24(在后文叙述)相对于第一～第十线圈20a～20j(在后文叙述)移动的动磁型的直线电动机。
47.定子16具有第一～第十线圈20a～20j和固定第一～第十线圈20a～20j的基台22。像这样，定子16具有多个(在该实施方式中为10个)线圈。此外，定子16也可以具有11个以上的线圈，还可以具有9个以下的线圈。
48.第一～第十线圈20a～20j呈列状地排列。此外，第一～第十线圈20a～20j虽然呈直线状地排列，但也可以呈曲线状地排列。如图1a所示，第一～第十线圈20a～20j分别被配置为绕与第一～第十线圈20a～20j排列的排列方向(x轴方向)正交的交叉方向(y轴方向)卷绕，在交叉方向上开口。
49.动子18具有永磁体24和安装于永磁体24的物品台26。
50.永磁体24在交叉方向上与第一～第十线圈20a～20j相向地配置。具体地说，永磁体24在交叉方向上与第一～第十线圈20a～20j中的一部分线圈相向地配置。永磁体24能够沿着第一～第十线圈20a～20j在排列方向上移动(参照图1b的箭头a)。永磁体24具有沿排列方向排列地形成的磁极(未图示)。例如，永磁体24具有多个n极和多个s极，n极和s极在排列方向上交替地设置。永磁体24形成为在从交叉方向观察时与第一～第十线圈20a～20j中的相邻的3个线圈的全部重叠的大小。在图1a和图1b所示的状态中，永磁体24被配置为在从交叉方向观察时与第一～第十线圈20a～20j中的相邻的第二线圈20b、第三线圈20c以及第四线圈20d的全部重叠。换言之，在图1a和图1b所示的状态中，在从交叉方向观察时的第二线圈20b、第三线圈20c以及第四线圈20d中的各线圈的遍及排列方向上的两端部的区域(参照图1a的箭头b和点部分的区域)与永磁体24相向，在从交叉方向观察时与永磁体24重叠。此外，永磁体24的大小不限定于此，例如，也可以形成为在从交叉方向观察时与第一～第十线圈20a～20j中的相邻的2个线圈的全部重叠的大小，还可以形成为与第一～第十线圈20a～20j中的相邻的4个以上的线圈的全部重叠的大小。另外，永磁体24也可以以在交叉方向上夹着第一～第十线圈20a～20j的方式形成为大致u字状。另外，永磁体24还可以以在与排列方向正交且与交叉方向正交的方向(z轴方向)上夹着第一～第十线圈20a～20j的方式形成为大致u字状。
51.控制装置14是控制直线电动机12的装置。控制装置14通过使得对第一～第十线圈20a～20j中的成为供电的对象的线圈即一个以上的供电对象线圈进行供电，来使动子18相对于定子16移动，使动子18移动至期望的位置。控制装置14具有控制器28以及与控制器28及第一～第十线圈20a～20j连接的第一～第十放大器30a～30j。像这样，控制装置14具有多个(在该实施方式中为10个)放大器。在该实施方式中，控制器28相当于上级控制部，第一～第十放大器30a～30j相当于多个控制部。
52.控制器28基于来自位置检测装置15的信息来识别永磁体24的位置，并与永磁体24的位置相应地选择一个以上的供电对象线圈。控制器28能够与第一～第十放大器30a～30j进行通信，对第一～第十放大器30a～30j中的与一个以上的供电对象线圈对应的放大器即一个以上的供电对象放大器发送速度指令或位置指令等指令。在图1a和图1b所示的状态中，第二线圈20b、第三线圈20c以及第四线圈20d分别成为供电对象线圈，第二放大器30b、第三放大器30c以及第四放大器30d分别成为供电对象放大器。在该实施方式中，供电对象放大器相当于供电对象控制部。
53.第一～第十放大器30a～30j与第一～第十线圈20a～20j对应地设置。具体地说，第一放大器30a与第一线圈20a对应地设置，第二放大器30b与第二线圈20b对应地设置。针对第三～第十放大器30c～30j也是同样的。第一～第十放大器30a～30j中的与一个以上的供电对象线圈对应的放大器即一个以上的供电对象放大器分别使用通过将动子18的指令速度与动子18的实际速度之差即速度偏差累计所得到的偏差累计值，来对对应的供电对象
线圈进行供电。在图1a和图1b所示的状态中，第二放大器30b使用偏差累计值对第二线圈20b进行供电，第三放大器30c使用偏差累计值对第三线圈20c进行供电，第四放大器30d使用偏差累计值对第四线圈20d进行供电。
54.当对供电对象线圈进行供电时，供电对象线圈被磁化，使得永磁体24被供电对象线圈拉动或被供电对象线圈推动，而使动子18移动。此外，能够通过改变向供电对象线圈供给的电流的方向，来变更供电对象线圈的磁极。例如，如果使电流以在从交叉方向上的动子18侧观察时顺时针流动的方式流动，则在交叉方向上，供电对象线圈的靠动子18的一侧为s极，供电对象线圈的靠与动子18相反的一侧成为n极。与此相对，如果使电流以在从交叉方向上的动子18侧观察时逆时针流动的方式流动，则供电对象线圈的靠动子18的一侧成为n极，供电对象线圈的靠与动子18相反的一侧成为s极。供电对象放大器根据永磁体24的磁极(n极、s极)的位置来决定向供电对象线圈供给的电流的方向。
55.控制器28使得随着永磁体24移动来依次切换地对供电对象线圈进行供电，使动子18移动到期望的位置。
56.位置检测装置15是检测永磁体24的位置的装置。位置检测装置15具有配置于第一～第十线圈20a～20j各自的排列方向上的两端部的第一～第二十位置传感器34a～34t。像这样，位置检测装置15具有多个(在该实施方式中为20个)位置传感器。第一位置传感器34a和第二位置传感器34b配置于第一线圈20a的排列方向上的两端部，第三位置传感器34c和第四位置传感器34d配置于第二线圈20b的排列方向上的两端部，第五位置传感器34e和第六位置传感器34f配置于第三线圈20c的排列方向上的两端部，第七位置传感器34g和第八位置传感器34h配置于第四线圈20d的排列方向上的两端部，第九位置传感器34i和第十位置传感器34j配置于第五线圈20e的排列方向上的两端部。第十一位置传感器34k和第十二位置传感器34l配置于第六线圈20f的排列方向上的两端部，第十三位置传感器34m和第十四位置传感器34n配置于第七线圈20g的排列方向上的两端部，第十五位置传感器34o和第十六位置传感器34p配置于第八线圈20h的排列方向上的两端部，第十七位置传感器34q和第十八位置传感器34r配置于第九线圈20i的排列方向上的两端部，第十九位置传感器34s和第二十位置传感器34t配置于第十线圈20j的排列方向上的两端部。在该实施方式中，第一～第二十位置传感器34a～34t相当于多个位置检测部。
57.第一～第二十位置传感器34a～34t分别检测在交叉方向上相向的永磁体24。在图1a和图1b所示的状态中，第一位置传感器34a和第二位置传感器34b在交叉方向上不与永磁体24相向，从而向控制器28和第一～第十放大器30a～30j发送表示未检测到永磁体24的信号。由此，控制器28和第一～第十放大器30a～30j识别出在从交叉方向观察时的、第一线圈20a的遍及排列方向上的两端部的区域在交叉方向上不与永磁体24相向。换言之，由此，控制器28和第一～第十放大器30a～30j识别出在从交叉方向观察时第一线圈20a的全部不与永磁体24重叠。针对第九～第二十位置传感器34i～34t也是同样的。与此相对，第三位置传感器34c和第四位置传感器34d在交叉方向上与永磁体24相向，从而向控制器28和第一～第十放大器30a～30j发送表示检测到永磁体24的信号。由此，控制器28和第一～第十放大器30a～30j识别出在从交叉方向观察时的、第二线圈20b的遍及排列方向上的两端部的区域与永磁体24相向且在交叉方向上与永磁体24重叠。换言之，由此，控制器28和第一～第十放大器30a～30j识别出在从交叉方向观察时第二线圈20b的全部与永磁体24重叠。针对第五
～第八位置传感器34e～34h也是同样的。
58.另外，第一～第二十位置传感器34a～34t分别检测永磁体24的移动方向上的前端部和后端部。例如，第一位置传感器34a在与永磁体24的移动方向上的前端部在交叉方向上相向的情况下，向控制器28和第一～第十放大器30a～30j发送表示检测到永磁体24的前端部的信号。例如，第一位置传感器34a通过检测设置于永磁体24的前端部的标记等来检测永磁体24的前端部。另外，第一位置传感器34a在与永磁体24的移动方向上的后端部在交叉方向上相向的情况下，向控制器28和第一～第十放大器30a～30j发送表示检测到永磁体24的后端部的信号。例如，第一位置传感器34a通过检测设置于永磁体24的后端部的标记等来检测永磁体24的后端部。针对第二～第二十位置传感器34b～34t也是同样的。
59.图2是表示图1a的直线电动机系统10的功能结构的框图。参照图2，来对图1a的直线电动机系统10的功能结构进行说明。
60.如图2所示，直线电动机系统10还具备标度(scale)检测装置35。标度检测装置35是检测设置于动子18的标度(未图示)的装置。标度检测部35例如由编码器等来实现。
61.控制器28具有切换部36、指令部38以及补偿部40。
62.切换部36与位置检测装置15连接，基于来自位置检测装置15的信息，来选择一个以上的供电对象线圈，并向第一～第十放大器30a～30j的切换处理部56(在后文叙述)发送用于判定是否为供电对象的切换信号。具体地说，切换部36将第一～第十线圈20a～20j中的一个以上的线圈选择为一个以上的供电对象线圈，所述一个以上的线圈是在从交叉方向观察时的各线圈的遍及排列方向上的两端部的区域在交叉方向上与永磁体24相向的线圈。换言之，切换部36将第一～第十线圈20a～20j中的一个以上的线圈选择为一个以上的供电对象线圈，所述一个以上的线圈是在从交叉方向观察时各线圈的全部与永磁体24重叠的线圈。并且，切换部36向一个以上的供电对象放大器的切换处理部56发送判定为是供电对象的切换信号。
63.例如，针对第一～第十线圈20a～20j中的各线圈，当在排列方向上的位于永磁体24的行进方向的前方侧的位置传感器检测到永磁体24的前端部的情况下，切换部36将配置有该位置传感器的线圈选择为供电对象线圈。并且，切换部36向供电对象放大器的切换处理部56发送判定为是供电对象的切换信号。例如，参照图1a和图1b，在永磁体24的行进方向为从第一线圈20a侧去向第十线圈20j侧的方向(x轴正方向)的情况下，在位于永磁体24的行进方向的前方侧的第八位置传感器34h检测到永磁体24的前端部的情况下，切换部36将配置有第八位置传感器34h的第四线圈20d设为供电对象线圈。并且，切换部36向第四放大器30d的切换处理部56发送判定为是供电对象的切换信号。针对第一～第三线圈20a～20c以及第五～第十线圈20e～20j也是同样的。
64.另外，例如，针对第一～第十线圈20a～20j的各线圈，在排列方向上的位于永磁体24的行进方向的后方侧的位置传感器检测到永磁体24的后端部的情况下，切换部36不将配置有该位置传感器的线圈选择为供电对象线圈。并且，切换部36向与该线圈对应的放大器的切换处理部56发送判定为不是供电对象的切换信号。
65.例如，参照图1a和图1b，在永磁体24的行进方向为从第一线圈20a侧去向第十线圈20j侧的方向(x轴正方向)的情况下，在位于永磁体24的行进方向的后方侧的第三位置传感器34c检测到永磁体24的后端部的情况下，切换部36不将配置有第三位置传感器34c的第二
线圈20b设为供电对象线圈。并且，切换部36向第二放大器30b的切换处理部56发送判定为不是供电对象的切换信号。针对第一线圈20a以及第三～第十线圈20c～20j也是同样的。
66.在图1a和图1b所示的状态中，切换部36将第二线圈20b、第三线圈20c以及第四线圈20d选择为供电对象线圈。并且，切换部36向第二放大器30b、第三放大器30c以及第四放大器30d的切换处理部56发送判定为是供电对象的切换信号。另外，当通过对一个以上的供电对象线圈进行供电等来使永磁体24移动时，切换部36与永磁体24的位置相应地进行一个以上的供电对象线圈的切换。
67.指令部38与第一～第十放大器30a～30j连接，用于向第一～第十放大器30a～30j中的与由切换部36选择出的一个以上的供电对象线圈对应的一个以上的供电对象放大器发送速度指令或位置指令等指令。例如，在第一线圈20a为供电对象线圈的情况下，与供电对象线圈对应的放大器为第一放大器30a，指令部38向第一放大器30a发送指令。另外，在第二线圈20b为供电对象线圈的情况下，与供电对象线圈对应的放大器为第二放大器30b，指令部38向第二放大器30b发送指令。针对第三～第十放大器30c～30j也是同样的。在图1所示的状态中，第二～第四放大器30b～30d为供电对象放大器，指令部38向第二～第四放大器30b～30d发送指令。
68.补偿部40在由切换部36进行的一个以上的供电对象线圈的切换时，对紧接在该切换之后的一个以上的供电对象放大器进行补偿。具体地说，补偿部40在由切换部36进行的一个以上的供电对象线圈的切换时，通过将合计后偏差累计值除以紧接在该切换之后的一个以上的供电对象线圈的个数来计算除法后偏差累计值，并将计算出的除法后偏差累计值分别发送到紧接在该切换之后的一个以上的供电对象放大器，来进行补偿，其中，所述合计后偏差累计值是将在紧挨在该切换之前向一个以上的供电对象线圈的各供电对象线圈进行的供电中使用的偏差累计值进行合计所得到的值。补偿部40具有加法器41和除法器42。
69.加法器41与第一～第十放大器30a～30j连接，通过在由切换部36进行的一个以上的供电对象线圈的切换时，获取紧挨在该切换之前由一个以上的供电对象放大器分别计算出的偏差累计值，并将获取到的偏差累计值进行合计，来计算在紧挨在该切换之前向一个以上的供电对象线圈的各供电对象线圈进行的供电中使用的偏差累计值的合计值即合计后偏差累计值。
70.除法器42通过将由加法器41计算出的合计后偏差累计值除以紧接在由切换部36进行的一个以上的供电对象线圈的切换之后的一个以上的供电对象线圈的个数，来计算除法后偏差累计值。除法器42将计算出的除法后偏差累计值发送到紧接在该切换之后的一个以上的供电对象放大器的各供电对象放大器。
71.第一放大器30a具有速度计算部44、偏差计算部46、速度控制部48、电流控制部50以及切换处理部56。
72.速度计算部44与标度检测装置35连接，基于来自标度检测装置35的信息等来计算永磁体24的实际速度。例如，速度计算部44根据标度检测装置35读取设置于动子18的标度(未示出)得到的值来计算动子18的移动距离。另外，速度计算部44从计时器(未图示)等获取动子18移动该移动距离所花费的移动时间。然后，速度计算部44根据该移动距离和该移动时间来计算永磁体24的实际速度。
73.偏差计算部46与指令部38连接，接收从指令部38发送的速度指令或位置指令等指
令。另外，偏差计算部46与速度计算部44连接，获取由速度计算部44计算出的永磁体24的实际速度。例如，偏差计算部46在接收到速度指令的情况下，计算由速度指令指示的指令速度与永磁体24的实际速度之差即速度偏差。另外，偏差计算部46在接收到位置指令的情况下，计算基于位置指令计算出的指令速度与永磁体24的实际速度之差即速度偏差。位置指令例如是使动子18在规定的时间的期间移动到规定的位置的意思的指令，能够基于该规定的时间和到该规定的位置为止的距离来计算指令速度。
74.速度控制部48具有加法器51、开关52和加法器54。
75.加法器51通过累计由偏差计算部46计算出的速度偏差来计算偏差累计值。加法器51通过将速度偏差与最新计算出的偏差累计值相加，来重新计算偏差累计值。计算出的偏差累计值被乘以积分增益53后被输入至加法器54，并且计算出的偏差累计值被发送至控制器28的加法器41，并被输入至加法器51。之后，每当重新计算速度偏差时，加法器51将重新计算出的速度偏差与最新计算出的偏差累计值相加，来重新计算偏差累计值。这样，加法器51通过累计速度偏差来计算偏差累计值。
76.开关52构成为能够在将加法器51与加法器54连接的状态(参照图2的d)与将补偿部40与加法器54连接的状态(参照图2的e)之间切换。开关52通常处于将加法器51与加法器54连接的状态。在由切换部36进行的一个以上的供电对象线圈的切换时，开关52从将加法器51与加法器54连接的状态瞬间切换为将补偿部40与加法器54连接的状态。例如，在紧接在该切换之后的供电对象放大器接收到来自指令部38的指令时，紧接在该切换之后的供电对象放大器的开关52从将加法器51与加法器54连接的状态瞬间切换为将补偿部40与加法器54连接的状态。
77.在开关52将加法器51与加法器54连接的状态(参照图2的d)中，由加法器51计算出的偏差累计值被乘以积分增益53后被输入到加法器54。另外，由加法器51计算出的偏差累计值被发送至控制器28的加法器41，并被输入至加法器51。
78.在开关52将补偿部40与加法器54连接的状态(参照图2的e)中，补偿部40发送的除法后偏差累计值被输入到速度控制部48。具体地说，补偿部40发送的除法后偏差累计值被乘以积分增益53后被输入到加法器54。另外，补偿部40发送的除法后偏差累计值被发送到控制器28的加法器41，并且被输入到加法器51。加法器51当被输入除法后偏差累计值时，通过对所输入的除法后偏差累计值累积速度偏差，来计算偏差累计值。
79.加法器54将由偏差计算部46计算出的速度偏差与通过使偏差累计值或除法后偏差累计值乘以积分增益53计算出的值相加。由加法器54计算出的值被乘以比例增益55后，作为转矩指令经由转矩滤波器(未图示)被输入到电流控制部50。像这样，速度控制部48使用偏差累计值或除法后偏差累计值来生成转矩指令。通过经由转矩滤波器，能够减小供电对象线圈的切换时的冲击。
80.切换处理部56在被切换部36发送判定为是供电对象的切换信号的情况下，将从速度控制部48输出的转矩指令施加于电流控制部50。在被切换部36发送判定为不是供电对象的切换信号的情况下，向电流控制部50施加转矩指令0。具体地说，切换处理部56具有开关57，在从切换部36接收到判定为是供电对象的切换信号的情况下，将开关57设为将速度控制部48与电流控制部50连接的状态(参照图2的f)，将从速度控制部48输出的转矩指令施加于电流控制部50。另一方面，切换处理部56在从切换部36接收到判定为不是供电对象的切
换信号的情况下，将开关57设为不将速度控制部48与电流控制部50连接的状态(参照图2的g)，向电流控制部50施加转矩指令0。
81.电流控制部50基于所生成的转矩指令来对供电对象线圈进行供电。例如，电流控制部50基于接收到的转矩指令来设定电压值，并基于所设定的电压值来对供电对象线圈进行供电。由此，永磁体24被一个以上的供电对象线圈拉动，或者被一个以上的供电对象线圈推动，而在排列方向上移动。
82.关于第二～第十放大器30b～30j，由于具有与第一放大器30a同样的结构，因此参照上述的第一放大器30a的说明，由此省略第二～第十放大器30b～30j的详细说明。
83.例如，控制装置14能够使用除法后偏差累计值或偏差累计值等来进行pid(proportional-integral-differential controller：比例积分微分控制器)控制。
84.接着，对如以上那样构成的直线电动机系统10的动作的一例进行说明。
85.图3是用于说明图1a的直线电动机系统10的动作的一例的说明图，是表示第一状态的图。图4是用于说明图1a的直线电动机系统10的动作的一例的说明图，是表示第二状态的图。图5是用于说明图1a的直线电动机系统10的动作的一例的说明图，是表示第三状态的图。图6是用于说明图1a的直线电动机系统10的动作的一例的说明图，是表示第四状态的图。参照图3～图6，来对直线电动机系统10的动作的一例进行说明。
86.在图3所示的状态中，在排列方向上配置于第一线圈20a的两端部的第一位置传感器34a和第二位置传感器34b这两方在交叉方向上与永磁体24相向，从而检测到永磁体24。因而，控制器28将第一线圈20a选择为供电对象线圈。并且，控制器28向第一放大器30a的切换处理部56发送判定为是供电对象的切换信号。与此相对，在排列方向上配置于第二线圈20b的一端部的第三位置传感器34c在交叉方向上与永磁体24相向，从而检测到永磁体24，但在排列方向上配置于第二线圈20b的另一端部的第四位置传感器34d在交叉方向上不与永磁体24相向，从而未检测到永磁体24。因而，控制器28不将第二线圈20b选择为供电对象线圈。并且，控制器28向第二放大器30b的切换处理部56发送判定为不是供电对象的切换信号。另外，在排列方向上配置于第三线圈20c的两端部的第五位置传感器34e和第六位置传感器34f这两方在交叉方向上不与永磁体24相向，从而未检测到永磁体24。因而，控制器28不将第三线圈20c选择为供电对象线圈。并且，控制器28向第三放大器30c的切换处理部56发送判定为不是供电对象的切换信号。像这样，在图3所示的状态中，控制器28将第一线圈20a选择为供电对象线圈，从而与第一线圈20a对应的第一放大器30a成为供电对象放大器。
87.控制器28当选择了供电对象线圈时，向与该供电对象线圈对应的供电对象放大器发送速度指令或位置指令等指令。在图3所示的状态中，控制器28向第一放大器30a发送指令。
88.从控制器28接收到指令的第一放大器30a计算速度偏差，并使用计算出的速度偏差来对作为供电对象线圈的第一线圈20a进行供电。图7是表示供电对象放大器的动作的一例的流程图。还参照图7来对图3所示的状态下的第一放大器30a的动作进行说明。
89.首先，第一放大器30a计算基于指令的永磁体24的指令速度与永磁体24的实际速度之差即速度偏差(步骤s1)。
90.接着，第一放大器30a通过将计算出的速度偏差累计到除法后偏差累计值，来计算偏差累计值(步骤s2)。此外，在图3所示的状态中，由于尚未进行供电对象线圈的切换，因此
除法后偏差累计值为0。
91.最后，第一放大器30a使用偏差累计值来对作为供电对象线圈的第一线圈20a进行供电(步骤s3)。具体地说，第一放大器30a使用最新计算出的偏差累计值来对作为供电对象线圈的第一线圈20a进行供电。
92.第一放大器30a重复进行上述的动作。
93.通过对第一线圈20a进行供电，永磁体24被第一线圈20a拉动或推动而在排列方向上移动(参照图3的箭头c)。对第一线圈20a供给的电流的方向是根据永磁体24的磁极的位置来设定的。通过将永磁体24的大小和磁极的位置等信息预先输入到第一放大器30a等，第一放大器30a根据永磁体24的位置来判断永磁体24的磁极的位置，而设定电流的方向。
94.接着，参照图3和图4，来对将供电对象线圈从1个切换为2个时的动作的一例进行说明。在从图3所示的状态成为图4所示的状态的情况下，位于永磁体24的行进方向(参照箭头c)的前方侧的第四位置传感器34d与永磁体24的前端部在交叉方向上相向，由此第四位置传感器34d检测到永磁体24的前端部。因而，控制器28将配置有第四位置传感器34d的第二线圈20b设为供电对象线圈。因而，在图4所示的状态中，第一放大器30a和第二放大器30b成为供电对象放大器。控制器28向作为供电对象放大器的第一放大器30a和第二放大器30b的切换处理部56发送判定为是供电对象的切换信号，并且发送指令，对第一放大器30a和第二放大器30b进行补偿。
95.图8是表示控制器28的动作的一例的流程图。还参照图8来对进行供电对象线圈的切换时的控制器28的动作进行说明。
96.首先，控制器28获取紧挨在一个以上的供电对象线圈的切换之前由一个以上的供电对象放大器分别计算出的偏差累计值(步骤s11)。在从图3所示的状态切换为图4所示的状态的情况下，控制器28获取紧挨在该切换之前由作为供电对象放大器的第一放大器30a计算出的偏差累计值。
97.接着，控制器28通过将获取到的偏差累计值进行合计，来计算在紧挨在该切换之前进行的供电中使用的偏差累计值的合计值即合计后偏差累计值(步骤s12)。如图3所示，紧挨在该切换之前的供电对象放大器是第一放大器这一个放大器，因此，在此，偏差累计值与合计后偏差累计值相等。
98.接着，控制器28将计算出的合计后偏差累计值除以紧接在该切换之后的供电对象线圈的个数，来计算除法后偏差累计值(步骤s13)。如图4所示，紧接在该切换之后的供电对象线圈是第一线圈20a和第二线圈20b两个线圈，因此控制器28通过将合计后偏差累计值除以2，来计算除法后偏差累计值。
99.最后，控制器28将除法后偏差累计值发送到紧接在该切换之后的供电对象放大器，并且向该供电对象放大器的切换处理部56发送判定为是供电对象的切换信号(步骤s14)。如图4所示，控制器28将除法后偏差累计值发送到作为紧接在该切换之后的供电对象放大器的第一放大器30a和第二放大器30b。此外，在进行该切换时，开关52瞬间切换为将补偿部40与加法器54连接的状态，将从控制器28发送的除法后偏差累计值输入到作为供电对象放大器的第一放大器30a的加法器54(在乘以积分增益53后)以及加法器51，并且输入到作为供电对象放大器的第二放大器30b的加法器54(乘以积分增益53后)以及加法器51。
100.如以上那样，控制器28通过将在紧挨在切换之前通过供电对象放大器进行的供电
中所使用的偏差累计值的合计值即合计后偏差累计值除以紧接在切换之后的供电对象放大器的个数后发送，来进行补偿。由此，作为紧接在切换之后的供电对象放大器的第一放大器30a和第二放大器30b能够承继紧挨在切换之前的偏差累计值，能够均使用除法后偏差累计值进行供电。由此，能够减小切换冲击。
101.接着，参照图4、图5以及图7，来对作为供电对象放大器的第一放大器30a和第二放大器30b的动作的一例进行说明。
102.首先，第一放大器30a计算基于指令的永磁体24的指令速度与永磁体24的实际速度之差即速度偏差(步骤s1)。
103.接着，第一放大器30a通过将计算出的速度偏差累计到除法后偏差累计值，来计算偏差累计值(步骤s2)。
104.最后，第一放大器30a使用偏差累计值来对作为供电对象线圈的第一线圈20a进行供电(步骤s3)。具体地说，第一放大器30a使用最新计算出的偏差累计值来对作为供电对象线圈的第一线圈20a进行供电。
105.第一放大器30a重复进行上述的动作。
106.第二放大器30b也重复进行与上述的第一放大器30a的动作同样的动作，对第二线圈20b进行供电。
107.通过对第一线圈20a进行供电，永磁体24被第一线圈20a拉动或推动而在排列方向上移动(参见图3的箭头c)，并且通过对第二线圈20b进行供电，永磁体24被第二线圈20b拉动或推动而在排列方向上移动。对第一线圈20a供给的电流的方向和对第二线圈20b供给的电流的方向是根据永磁体24的磁极的位置来设定的。
108.接着，参照图5、图6以及图8，来对将供电对象线圈从2个切换为3个时的动作的一例进行说明。在从图5的状态成为图6所示的状态的情况下，位于永磁体24的行进方向(参照箭头c)的前方侧的第六位置传感器34f与永磁体24的前端部在交叉方向上相向，由此第六位置传感器34f检测到永磁体24的前端部。因而，控制器28将配置有第六位置传感器34f的第三线圈20c设为供电对象线圈。因而，在图6所示的状态中，第一放大器30a、第二放大器30b以及第三放大器30c成为供电对象放大器。控制器28向作为供电对象放大器的第一放大器30a、第二放大器30b以及第三放大器30c的切换处理部56发送判定为是供电对象的切换信号，并且发送指令，对第一放大器30a、第二放大器30b以及第三放大器30c进行补偿。
109.还参照图8来对进行供电对象线圈的切换时的控制器28的动作进行说明。
110.首先，控制器28获取紧挨在一个以上的供电对象线圈的切换之前由一个以上的供电对象放大器分别计算出的偏差累计值(步骤s11)。在从图5所示的状态切换为图6所示的状态的情况下，控制器28获取紧挨在该切换之前由作为供电对象放大器的第一放大器30a计算出的偏差累计值和由第二放大器30b计算出的偏差累计值。
111.接着，控制器28通过将获取到的偏差累计值进行合计，来计算在紧挨在该切换之前进行的供电中使用的偏差累计值的合计值即合计后偏差累计值(步骤s12)。如图5所示，紧挨在该切换之前的供电对象放大器是第一放大器30a和第二放大器30b，因此控制器28通过将从第一放大器30a获取到的偏差累计值与从第二放大器30b获取到的偏差累计值进行合计，来计算在紧挨在该切换之前进行的供电中使用的偏差累计值的合计值即合计后偏差累计值。
112.接着，控制器28将计算出的偏差累计值除以紧接在该切换之后的供电对象线圈的个数，来计算除法后偏差累计值(步骤s13)。如图6所示，紧接在该切换之后的供电对象线圈是第一线圈20a、第二线圈20b以及第三线圈20c三个线圈，因此控制器28通过将计算出的合计后偏差累计值除以3，来计算除法后偏差累计值。
113.最后，控制器28将除法后偏差累计值发送到紧接在该切换之后的供电对象放大器，并且向该供电对象放大器的切换处理部56发送判定为是供电对象的切换信号(步骤s14)。如图6所示，控制器28将除法后偏差累计值发送到作为紧接在该切换之后的供电对象放大器的第一放大器30a、第二放大器30b以及第三放大器30c。此外，在进行该切换时，开关52瞬间切换为将补偿部40与加法器54连接的状态，将从控制器28发送的除法后偏差累计值输入到作为供电对象放大器的第一放大器30a的加法器54(在乘以积分增益53后)以及加法器51，并且输入到作为供电对象放大器的第二放大器30b的加法器54(在乘以积分增益53后)以及加法器51，输入到作为供电对象放大器的第三放大器30c的加法器54(在乘以积分增益53后)以及加法器51。
114.此外，动子18进一步移动，当在排列方向上的位于永磁体24的行进方向的后方侧的第一位置传感器34a与永磁体24的后端部在交叉方向上相向而检测到永磁体24的后端部的情况下，控制器28不将配置有第一位置传感器34a的第一线圈20a设为供电对象线圈。
115.如以上那样，控制器28通过将在紧挨在切换之前通过供电对象放大器进行的供电中使用的偏差累计值的合计值即合计后偏差累计值除以紧接在切换之后的供电对象线圈的个数后发送，来进行补偿。由此，作为紧接在切换之后的供电对象放大器的第一放大器30a、第二放大器30b以及第三放大器30c能够承继紧挨在切换之前的偏差累计值，能够均使用除法后偏差累计值进行供电。由此，能够减小切换冲击。
116.根据以上那样的直线电动机系统10，补偿部40在一个以上的供电对象线圈的切换时，通过将合计后偏差累计值除以紧接在该切换之后的一个以上的供电对象线圈的个数来计算除法后偏差累计值，所述合计后偏差累计值是将在紧挨在该切换之前对一个以上的供电对象线圈的各供电对象线圈进行的供电中使用的偏差累计值进行合计所得到的值。而且，速度控制部48使用计算出的除法后偏差累计值来生成转矩指令，电流控制部50基于生成的转矩指令来对紧接在该切换之后的一个以上的供电对象线圈进行供电。因而，即使在进行该切换的前后一个以上的供电对象线圈的个数改变，也能够将合计后偏差累计值大致均等分地对紧接在该切换之后的一个以上的供电对象线圈中的各供电对象线圈进行供电，所述合计后偏差累计值是将紧挨在该切换之前所使用的偏差累计值进行合计所得到的值。由此，能够抑制在进行该切换时施加于动子的推力急剧地变化，从而能够减小切换一个以上的供电对象线圈时的切换冲击。
117.另外，补偿部40在该切换时将除法后偏差累计值发送到紧接在该切换之后的一个以上的供电对象放大器，紧接在该切换之后的一个以上的供电对象放大器的速度控制部48使用除法后偏差累计值来生成转矩指令，紧接在该切换之后的一个以上的供电对象放大器的电流控制部50基于转矩指令来对紧接在该切换之后的一个以上的供电对象线圈进行供电。像这样，紧接在该切换之后的一个以上的供电对象放大器分别能够使用将合计后偏差累计值大致均等分得到的除法后偏差累计值来进行供电，所述合计后偏差累计值是将紧挨在该切换之前所使用的偏差累计值进行合计所得到的值。由此，能够抑制在进行该切换时
施加于动子的推力急剧地变化，从而能够减小切换一个以上的供电对象线圈时的切换冲击。
118.另外，紧挨在该切换之前的一个以上的供电对象放大器分别通过将速度偏差累计到除法后偏差累计值来计算偏差累计值，补偿部40通过将紧挨在该切换之前由一个以上的供电对象放大器分别计算出的偏差累计值进行合计，来计算将在紧挨在该切换之前对一个以上的供电对象线圈的各供电对象线圈进行的供电中使用的偏差累计值进行合计所得到的值即合计后偏差累计值。由此，补偿部40能够容易地计算在紧挨在该切换之前对一个以上的供电对象线圈的各供电对象线圈进行的供电中使用的偏差累计值的合计值。
119.另外，控制装置14还具有能够与第一～第十放大器30a～30j进行通信的控制器28，控制器28具有补偿部40。像这样，控制器28能够与第一～第十放大器30a～30j进行通信，因此能够容易地对第一～第十放大器30a～30j进行补偿。
120.另外，还具备配置于第一～第十线圈20a～20j各自的排列方向上的两端部的第一～第二十位置传感器，针对第一～第十线圈20a～20j的各线圈，当在排列方向上的位于永磁体24的行进方向的前方侧的位置传感器检测到永磁体24的前端部的情况下，切换部36将配置有该位置传感器的线圈选择为供电对象线圈，在排列方向上的位于永磁体24的行进方向的后方侧的位置传感器检测到永磁体24的后端部的情况下，切换部36不将配置有该位置传感器的线圈选择为供电对象线圈。由此，切换部36能够容易地切换供电对象线圈。
121.(实施方式2)
122.接着，对实施方式2进行说明。在实施方式2中，与实施方式1的主要不同点在于，第一～第十放大器具有补偿部40。此外，在以下的说明中，以与实施方式1的不同点为中心进行说明。
123.图9是表示实施方式2所涉及的直线电动机系统10a的功能结构的框图。如图9所示，实施方式2所涉及的直线电动机系统10a具有控制器28a和第一～第三放大器60a～60c。此外，虽然省略图示，但直线电动机系统10a还具有第四～第十放大器。
124.控制器28a与控制器28的不同点在于，不具有补偿部40。
125.第一放大器60a与第一放大器30a的不同点在于，具有补偿部40。第二放大器60b和第三放大器60c是与第一放大器60a同样的结构。另外，直线电动机系统10a中的第四～第十放大器也是与第一放大器60a同样的结构。在直线电动机系统10a中，第一放大器60a、第二放大器60b、第三放大器60c以及第四～第十放大器能够相互通信。
126.图10是用于说明图9的直线电动机系统10a的动作的一例的说明图，是表示第一状态的图。图11是用于说明图9的直线电动机系统10a的动作的一例的说明图，是表示第二状态的图。图12是用于说明图1的直线电动机系统10a的动作的一例的说明图，是表示第三状态的图。图13是用于说明图1的直线电动机系统10a的动作的一例的说明图，是表示第四状态的图。参照图10～图13，来对直线电动机系统10a的动作的一例进行说明。
127.参照图10和图11，来对将供电对象线圈从1个切换为2个时的动作的一例进行说明。在图10所示的状态中，第一放大器60a为供电对象放大器，在图11所示的状态中，第一放大器60a和第二放大器60b为供电对象放大器。作为紧挨在切换之前的供电对象放大器的第一放大器60a的补偿部40对作为紧接在该切换之后的供电对象放大器的第一放大器60a和第二放大器60b进行补偿。具体地说，第一放大器60a的补偿部40通过进行与从图3所示的状
态切换为图4所示的状态时的控制器28的补偿部40的动作同样的动作，来对作为紧接在该切换之后的供电对象放大器的第一放大器60a和第二放大器60b进行补偿。即，紧挨在该切换之前的第一放大器60a的补偿部40在该切换时通过将合计后偏差累计值除以紧接在该切换之后的一个以上的供电对象线圈的个数来计算除法后偏差累计值，并将除法后偏差累计值发送到作为紧接在该切换之后的供电对象放大器的第一放大器60a和第二放大器60b。
128.接着，参照图12和图13，来对将供电对象线圈从2个切换为3个时的动作的一例进行说明。在图12所示的状态中，第一放大器60a和第二放大器60b为供电对象放大器，在图13所示的状态中，第一放大器60a、第二放大器60b以及第三放大器60c为供电对象放大器。作为紧挨在切换之前的供电对象放大器的第一放大器60a的补偿部40和第二放大器60b的补偿部40中的任一方对作为紧接在该切换之后的供电对象放大器的第一放大器60a、第二放大器60b以及第三放大器60c进行补偿。具体地说，第一放大器60a的补偿部40和第二放大器60b的补偿部40中的任一方通过进行与从图5所示的状态切换为图6所示的状态时的控制器28的动作同样的动作，来对作为紧接在该切换之后的供电对象放大器的第一放大器60a、第二放大器60b以及第三放大器60c进行补偿。即，紧挨在该切换之前的第一放大器60a的补偿部40或第二放大器60b的补偿部40在该切换时通过将合计后偏差累计值除以紧接在该切换之后的一个以上的供电对象线圈的个数来计算除法后偏差累计值，并将除法后偏差累计值发送到作为紧接在该切换之后的供电对象放大器的第一放大器60a、第二放大器60b以及第三放大器60c。在图13中，示出第一放大器60a的补偿部40进行补偿的情况。
129.此外，也可以是，例如，在紧挨在一个以上的供电对象线圈的切换之前不是供电对象放大器的放大器对紧接在该切换之后的一个以上的供电对象放大器进行补偿。
130.根据以上那样的直线电动机系统10a，第一～第三放大器60a～60c以及第四～第十放大器能够相互通信，第一～第三放大器60a～60c以及第四～第十放大器分别具有补偿部40，紧挨在切换之前的一个以上的供电对象放大器的补偿部40通过将合计后偏差累计值除以紧接在该切换之后的一个以上的供电对象线圈的个数来计算除法后偏差累计值，并将除法后偏差累计值分别发送到紧接在该切换之后的一个以上的供电对象放大器。由于像这样，第一～第三放大器60a～60c以及第四～第十放大器能够相互通信，因此不设置上级控制部，就能够对紧接在该切换之后的一个以上的供电对象放大器进行补偿。
131.(补充)
132.如以上那样，作为在本技术中公开的技术的示例，对实施方式1和实施方式2进行了说明。然而，本公开的技术不限定于此，除非脱离本公开的主旨，否则也能够应用于适当地进行了变更、置换、附加、省略等所得到的实施方式或变形例。
133.例如，在上述的实施方式中，说明了第一～第十放大器具有速度计算部44和偏差计算部46的情况，但不限定于此。也可以是，例如，控制器具有速度计算部44和偏差计算部46。
134.另外，例如，在上述的实施方式中，说明了直线电动机系统10a具备控制器28a的情况，但不限定于此。例如，直线电动机系统也可以不具备控制器。在该情况下，第一～第十放大器可以分别具有指令部和切换部。
135.此外，在上述的说明中，切换部36设为如下结构：将多个线圈中的一个以上的线圈选择为成为供电的对象的一个以上的供电对象线圈，所述一个以上的线圈是各线圈的遍及
排列方向上的两端部的区域的全部与永磁体24相向的线圈，但并不限于此。例如，在图1a中，在从交叉方向观察时，第二线圈20b的遍及两端部的区域的全部与永磁体24相向，但例如也可以设为以下结构：在从交叉方向观察时，即使第二线圈20b部分不与永磁体24相向，但只要第二线圈20b的排列方向(x方向)上的两端部与永磁体24相向就选择为供电对象线圈。
136.产业上的可利用性
137.本公开所涉及的直线电动机系统能够广泛地利用于搬送装置等。
138.附图标记说明
139.10、10a：直线电动机系统；12：直线电动机；14：控制装置；15：位置检测装置；16：定子；18：动子；20a：第一线圈；20b：第二线圈；20c：第三线圈；20d：第四线圈；20e：第五线圈；20f：第六线圈；20g：第七线圈；20h：第八线圈；20i：第九线圈；20j：第十线圈；22：基台；24：永磁体；26：物品台；28、28a：控制器；30a：第一放大器；30b：第二放大器；30c：第三放大器；30d：第四放大器；30e：第五放大器；30f：第六放大器；30g：第七放大器；30h：第八放大器；30i：第九放大器；30j：第十放大器；34a：第一位置传感器；34b：第二位置传感器；34c：第三位置传感器；34d：第四位置传感器；34e：第五位置传感器；34f：第六位置传感器；34g：第七位置传感器；34h：第八位置传感器；34i：第九位置传感器；34j：第十位置传感器；34k：第十一位置传感器；34l：第十二位置传感器；34m：第十三位置传感器；34n：第十四位置传感器；34o：第十五位置传感器；34p：第十六位置传感器；34q：第十七位置传感器；34r：第十八位置传感器；34s：第十九位置传感器；34t：第二十位置传感器；35：标度检测装置；36：切换部；38：指令部；40：补偿部；41：加法器；42：除法器；44：速度计算部；46：偏差计算部；48：速度控制部；50：电流控制部；51：加法器；52、57：开关；53：积分增益；54：加法器；55：比例增益；56：切换处理部；60a：第一放大器；60b：第二放大器；60c：第三放大器。