真空吸附缸集合体的制作方法

1.本发明涉及连结有多个真空吸附缸的真空吸附缸集合体。


背景技术：

2.已知有下述的技术：在吸附输送电子零部件等的装置中，在通过气缸而上下移动的活塞杆的顶端设置吸附用具，并向该吸附用具供给真空。
3.例如，在日本特开2000-165094号公报中记载了一种吸附输送组装体，该吸附输送组装体具备：气压缸，该气压缸使中空的活塞杆往复移动，该中空的活塞杆具有与设置于顶端的吸附用具连通的真空引导路；以及安装于该气压缸的供气块和真空产生块。另外，在该文献中记载了层叠该吸附输送组装体的内容。
4.然而，在连结多个能够独立地控制的真空吸附缸的情况下，对于使真空吸附缸的追加、拔去等处理变得容易这点，未作充分的考虑。另外，从通过减少各真空吸附缸的工作所需的流量等来改善响应性的观点出发，也未作充分的考虑。


技术实现要素：

5.本发明是以这种情况为背景而做出的，其目的在于提供一种处理容易的真空吸附缸集合体。另外，本发明的目的在于提供一种关于各真空吸附缸的工作的响应性良好的真空吸附缸集合体。
6.本发明所涉及的真空吸附缸集合体是多个真空吸附缸沿规定方向连结而成的，多个真空吸附缸使用拉杆而夹持在第一流路块与第二流路块之间，由此被相互连结，拉杆插通于贯通各真空吸附缸的缸筒的侧壁的插通孔、设置于第一流路块的插通孔以及设置于第二流路块的插通孔。
7.根据上述真空吸附缸集合体，能够容易地连结多个真空吸附缸，并且能够容易地应对真空吸附缸数量的增减要求。另外，能够迅速地进行气体相对于各真空吸附缸的给排。
8.本发明所涉及的真空吸附缸集合体使用插通于各真空吸附缸的缸筒、第一流路块和第二流路块的拉杆而将多个真空吸附缸夹持在第一流路块与第二流路块之间，因此能够容易地连结多个真空吸附缸，并且能够容易地应对真空吸附缸数量的增减要求。另外，由于在多个真空吸附缸的两侧配置有流路块，因此能够迅速地进行气体相对于各真空吸附缸的给排，响应性提高。
附图说明
9.图1是本发明的实施方式所涉及的真空吸附缸集合体的主视图。
10.图2是图1的真空吸附缸集合体的侧视图。
11.图3是包含沿着图1的真空吸附缸集合体的iii-iii线的剖面的剖视图。
12.图4是沿着图2的真空吸附缸集合体的iv-iv线的剖视图。
13.图5是用于说明图1的真空吸附缸集合体的作用的流体回路图。
14.图6是用于说明图1的真空吸附缸集合体的组装的图。
15.图7是表示图1的真空吸附缸集合体中的真空吸附缸的变形例的图，是与图3对应的图。
具体实施方式
16.以下，针对本发明所涉及的真空吸附缸集合体的基本结构，举出优选的实施方式，并一边参照附图一边进行说明。此外，在以下的说明中，在使用了与上下左右方向有关的词语时，为了方便起见，是指附图上的方向，并非限定部件等的实际配置。
17.如图1所示，真空吸附缸集合体10是将多个真空吸附缸12a～12f沿横向连结而成的，安装于机械臂的顶端，例如用于拾取片剂并输送至包装位置。
18.多个真空吸附缸12a～12f配设于第一流路块58与第二流路块60之间。在本实施方式中，配设有合计6个真空吸附缸12a～12f。各真空吸附缸12a～12f为相同的构造，因此，以下代表它们而对与第一流路块58相邻的真空吸附缸12a进行说明。
19.如图3所示，真空吸附缸12a由包括缸筒14及活塞24的气缸部、包括喷射器主体82及吸附垫84的喷射器部、以及电磁阀部构成。
20.四棱柱状的缸筒14被分割为上部缸筒16和下部缸筒18。中间罩体20设置于上部缸筒16的下端部与下部缸筒18的上端部之间，端部罩体22设置于下部缸筒18的下端部。
21.活塞24滑动自如地设置在下部缸筒18的内部。在活塞24的中央，上部杆26的下端部和下部杆28的上端部以在轴向上对接的方式插通固定。在上部杆26设有沿其轴心方向贯通的上部杆孔26a，在下部杆28设有沿其轴心方向贯通的下部杆孔28a。这些上部杆孔26a和下部杆孔28a相互连通，成为向喷射器部供给的气体的通路。
22.上部杆26从活塞24向上方延伸并插通于中间罩体20，进一步延伸至上部缸筒16的内部。下部杆28从活塞24向下方延伸并插通于端部罩体22，进一步延伸至外部。在下部杆28延伸至外部的端部，通过拧入而连结有喷射器主体82。在中间罩体20安装有与上部杆26滑动接触的一对杆衬垫20c，在端部罩体22安装有与下部杆28滑动接触的杆衬垫22b。
23.设置于下部缸筒18的内部的缸孔18a被活塞24划分为下方的第一压力室30和上方的第二压力室32。在活塞24的外周安装有与缸孔18a滑动接触的活塞衬垫24a。在下部缸筒18的侧壁设置有与第一压力室30连通的第一通路30a、以及与第二压力室32连通的第二通路32a。这些第一通路30a和第二通路32a在与下部缸筒18的长度方向垂直的方向上延伸，并在下部缸筒18的一个侧面18b开口。
24.上部杆26收容于在上部缸筒16的内部设置的缸孔16a。在该缸孔16a的壁面与上部杆26的外周之间形成有与上部杆孔26a连通的第三压力室34。第三压力室34经由上部杆孔26a和下部杆孔28a与喷射器主体82的内部连通。
25.在端部罩体22设置有从外部对第一压力室30进行密封的密封环22a。在中间罩体20设置有从外部对第二压力室32进行密封的密封环20a和从外部对第三压力室34进行密封的密封环20b。
26.在上部缸筒16的侧壁设置有与第三压力室34连通的第三通路34a。该第三通路34a在与上部缸筒16的长度方向垂直的方向上延伸，并在上部缸筒16的一个侧面16b开口。第三通路34a开口的上部缸筒16的侧面16b是与第一通路30a和第二通路32a开口的下部缸筒18
的侧面18b匹配的侧面，两者为同一平面。
27.如图1所示，电磁阀部由缸用第一电磁阀36、缸用第二电磁阀38以及喷射器用电磁阀40构成。缸用第一电磁阀36是为了对气体相对于第一压力室30的给排进行切换而设置的，缸用第二电磁阀38是为了对气体相对于第二压力室32的给排进行切换而设置的。喷射器用电磁阀40是为了对气体相对于第三压力室34的给排进行切换而设置的。
28.缸用第一电磁阀36以覆盖第一通路30a的开口的方式安装于下部缸筒18的侧面18b。缸用第二电磁阀38以覆盖第二通路32a的开口的方式横跨下部缸筒18的侧面18b和上部缸筒16的侧面16b而安装。喷射器用电磁阀40以覆盖第三通路34a的开口的方式安装于上部缸筒16的侧面16b。
29.第一通路30a与缸用第一电磁阀36连接，第二通路32a与缸用第二电磁阀38连接，第三通路34a与喷射器用电磁阀40连接。
30.如图3和图4所示，在构成下部缸筒18的侧面18b的侧壁，从下方到上方依次设置有缸用第一横穿排气路42、缸用第一横穿供给路44、缸用第二横穿供给路46以及缸用第二横穿排气路48。这些供给路44、46和排气路42、48横穿并贯通下部缸筒18的侧壁，这些供给路44、46和排气路42、48的两端都向外部开口。在该两端开口部中的位于左方的开口部，经由槽部安装有密封环54(参照图4)。此外，图3是包含沿着在图1中以通过各电磁阀36、38、40的方式弯曲的iii-iii线的剖面的剖视图，但为了方便起见，省略了各电磁阀36、38、40的剖面。
31.缸用第一横穿排气路42设置于第一通路30a的下侧，缸用第一横穿供给路44设置于第一通路30a的上侧。缸用第一横穿排气路42经由在下部缸筒18的侧面18b开口的第一分支路42a与缸用第一电磁阀36连接。缸用第一横穿供给路44经由在下部缸筒18的侧面18b开口的第二分支路44a与缸用第一电磁阀36连接。
32.另外，缸用第二横穿供给路46设置于第二通路32a的下侧，缸用第二横穿排气路48设置于第二通路32a的上侧。缸用第二横穿供给路46经由在下部缸筒18的侧面18b开口的第三分支路46a与缸用第二电磁阀38连接。缸用第二横穿排气路48经由在下部缸筒18的侧面18b开口的第四分支路48a与缸用第二电磁阀38连接。
33.在构成上部缸筒16的侧面16b的侧壁设置有喷射器用横穿供给路50以及喷射器用横穿排气路52。喷射器用横穿供给路50和喷射器用横穿排气路52横穿并贯通上部缸筒16的侧壁，喷射器用横穿供给路50和喷射器用横穿排气路52的两端都向外部开口。在该两端开口部中的位于左方的开口部，经由槽部安装有密封环54(参照图4)。
34.喷射器用横穿供给路50设置于第三通路34a的下侧，喷射器用横穿排气路52设置于第三通路34a的上侧。喷射器用横穿供给路50经由在上部缸筒16的侧面16b开口的第五分支路50a与喷射器用电磁阀40连接。喷射器用横穿排气路52经由在上部缸筒16的侧面16b开口的第六分支路52a与喷射器用电磁阀40连接。
35.缸用第一横穿排气路42、缸用第一横穿供给路44、缸用第二横穿供给路46、缸用第二横穿排气路48、喷射器用横穿供给路50以及喷射器用横穿排气路52在与缸筒14的长度方向垂直的方向上延伸，在上下方向(与缸筒14的轴线平行的方向)上排列并相互平行地配置。
36.如图5所示，缸用第一电磁阀36在通电时将第一压力室30与缸用第一横穿排气路
42连接，在不通电时将第一压力室30与缸用第一横穿供给路44连接。缸用第二电磁阀38在通电时将第二压力室32与缸用第二横穿供给路46连接，在不通电时将第二压力室32与缸用第二横穿排气路48连接。喷射器用电磁阀40在通电时将第三压力室34与喷射器用横穿供给路50连接，在不通电时将第三压力室34与喷射器用横穿排气路52连接。
37.在下部缸筒18，位于缸用第一横穿供给路44与缸用第二横穿供给路46之间而设有第一插通孔56a和第二插通孔56b。第一插通孔56a和第二插通孔56b横穿并贯通下部缸筒18的侧壁，第一插通孔56a和第二插通孔56b的两端都向外部开口。
38.在上部缸筒16，位于喷射器用横穿供给路50的下方而设有第三插通孔56c。第三插通孔56c横穿并贯通上部缸筒16的侧壁，第三插通孔56c的两端在上部缸筒16的外表面开口。第一插通孔56a、第二插通孔56b及第三插通孔56c与上述的缸用第一横穿排气路42等一起在与缸筒14的长度方向垂直的方向上延伸，在上下方向上排列且相互平行地配置。
39.喷射器主体82安装于从下部缸筒18向下方突出的下部杆28的端部。当从第三压力室34经由上部杆孔26a和下部杆孔28a向喷射器主体82的内部供给气体时，该气体在通过喷射器主体82内的未图示的喷嘴之后排出至外部。此时，通过吸引吸附垫84内的气体而在吸附垫84中生成真空压力(负压)。
40.接着，对第一流路块58的结构进行说明。此外，第二流路块60形成为与第一流路块58相同的构造，关于第二流路块60的结构，省略说明。
41.如图4所示，第一流路块58具备喷射器用供给路62、缸用供给路64及共用排气路66。喷射器用供给路62由喷射器用供给横向流路62a和喷射器用供给纵向流路62b构成，该喷射器用供给横向流路62a与真空吸附缸12a的喷射器用横穿供给路50连接并沿横向延伸，该喷射器用供给纵向流路62b与该喷射器用供给横向流路62a连通且朝向第一流路块58的上表面延伸。
42.缸用供给路64由缸用第一供给横向流路64a、缸用第二供给横向流路64b以及缸用供给纵向流路64c构成。缸用第一供给横向流路64a与真空吸附缸12a的缸用第一横穿供给路44连接，并沿横向延伸。缸用第二供给横向流路64b与真空吸附缸12a的缸用第二横穿供给路46连接，并沿横向延伸。缸用供给纵向流路64c与这些缸用第一供给横向流路64a以及缸用第二供给横向流路64b连通，并朝向第一流路块58的上表面延伸。
43.共用排气路66由缸用第一排气横向流路66a、缸用第二排气横向流路66b、喷射器用排气横向流路66c以及排气纵向流路66d构成。缸用第一排气横向流路66a与真空吸附缸12a的缸用第一横穿排气路42连接，并沿横向延伸。缸用第二排气横向流路66b与真空吸附缸12a的缸用第二横穿排气路48连接，并沿横向延伸。喷射器用排气横向流路66c与真空吸附缸12a的喷射器用横穿排气路52连接，并沿横向延伸。排气纵向流路66d与这些缸用第一排气横向流路66a、缸用第二排气横向流路66b及喷射器用排气横向流路66c连通，并朝向第一流路块58的上表面延伸。
44.在第一流路块58的上表面设置有：与喷射器用供给纵向流路62b连接的喷射器用供给端口68、与缸用供给纵向流路64c连接的缸用供给端口70、以及与排气纵向流路66d连接的排气端口72。从未图示的气体供给源向喷射器用供给端口68和缸用供给端口70供给气体。排气端口72向大气开放。
45.在第一流路块58，位于缸用第一供给横向流路64a与缸用第二供给横流路64b之间
而设置有第一插通孔59a和第二插通孔59b。这些第一插通孔59a和第二插通孔59b横穿并贯通第一流路块58。另外，在第一流路块58，位于缸用第二排气横向流路66b与喷射器用供给横向流路62a之间而设置有第三插通孔59c。第三插通孔59c横穿并贯通第一流路块58。
46.如图6所示，多个真空吸附缸12a～12f使用第一～第三拉杆74a～74c而夹持在第一流路块58与第二流路块60之间，由此被相互连结。第一拉杆74a分别插通于第一流路块58的第一插通孔59a、各真空吸附缸12a～12f的第一插通孔56a以及第二流路块60的第一插通孔59a，在第一拉杆74a的两端螺合固定有螺母76。
47.同样地，第二拉杆74b分别插通于第一流路块58的第二插通孔59b、各真空吸附缸12a～12f的第二插通孔56b以及第二流路块60的第二插通孔59b，并通过螺母76进行固定。第三拉杆74c分别插通于第一流路块58的第三插通孔59c、各真空吸附缸12a～12f的第三插通孔56c以及第二流路块60的第三插通孔59c，并通过螺母76进行固定。此外，在图6中，省略了真空吸附缸12a等的各横穿供给路44、46、50和各横穿排气路42、48、52、以及第一流路块58的各供给横向流路62a、64a、64b和各排气横向流路66a、66b、66c。
48.在第一流路块58的外侧配设有第一端板78，在第二流路块60的外侧配设有第二端板80。在第一端板78和第二端板80也插通有第一～第三拉杆74a～74c。在第一流路块58与第一端板78的接合面及第二流路块60与第二端板80的接合面中的规定部位也安装有未图示的密封环。但是，也可以不设置第一端板78和第二端板80。
49.在本实施方式中，将合计6个真空吸附缸12a～12f进行了连结，但能够追加或拔去适当数量的真空吸附缸。在该情况下，预先准备不同长度的第一～第三拉杆74a～74c，并根据真空吸附缸的连接数来使用适当长度的第一～第三拉杆74a～74c即可。
50.当连结多个真空吸附缸12a～12f时，各真空吸附缸12a～12f的缸用第一横穿排气路42在横向上排列在一条直线上，相互连通。同样地，各缸用第一横穿供给路44、各缸用第二横穿供给路46、各缸用第二横穿排气路48、各喷射器用横穿供给路50、各喷射器用横穿排气路52均在横向上排列在一条直线上，相互连通。
51.真空吸附缸12a的缸用第一横穿排气路42与第一流路块58的缸用第一排气横向流路66a连接，真空吸附缸12a的缸用第一横穿供给路44与第一流路块58的缸用第一供给横向流路64a连接。真空吸附缸12a的缸用第二横穿供给路46与第一流路块58的缸用第二供给横向流路64b连接，真空吸附缸12a的缸用第二横穿排气路48与第一流路块58的缸用第二排气横向流路66b连接。真空吸附缸12a的喷射器用横穿供给路50与第一流路块58的喷射器用供给横向流路62a连接，真空吸附缸12a的喷射器用横穿排气路52与第一流路块58的喷射器用排气横向流路66c连接。
52.真空吸附缸12f的缸用第一横穿排气路42与第二流路块60的缸用第一排气横向流路66a连接，真空吸附缸12f的缸用第一横穿供给路44与第二流路块60的缸用第一供给横向流路64a连接。真空吸附缸12f的缸用第二横穿供给路46与第二流路块60的缸用第二供给横向流路64b连接，真空吸附缸12f的缸用第二横穿排气路48与第二流路块60的缸用第二排气横向流路66b连接。真空吸附缸12f的喷射器用横穿供给路50与第二流路块60的喷射器用供给横向流路62a连接，真空吸附缸12f的喷射器用横穿排气路52与第二流路块60的喷射器用排气横向流路66c连接。
53.因此，能够从第一流路块58的缸用供给端口70和第二流路块60的缸用供给端口70
这两方同时向各真空吸附缸12a～12f的缸用第一横穿供给路44和缸用第二横穿供给路46供给气体。另外，能够从第一流路块58的喷射器用供给端口68和第二流路块60的喷射器用供给端口68这两方同时向各真空吸附缸12a～12f的喷射器用横穿供给路50供给气体。而且，各真空吸附缸12a～12f的缸用第一横穿排气路42、缸用第二横穿排气路48以及喷射器用横穿排气路52经由第一流路块58的排气端口72和第二流路块60的排气端口72这两方向大气开放。由此，能够迅速地进行气体相对于各真空吸附缸12a～12f的缸用第一电磁阀36、缸用第二电磁阀38以及喷射器用电磁阀40的给排，响应性提高。
54.本发明的实施方式所涉及的真空吸附缸集合体10基本上如以上那样构成，以下，对其作用进行说明。
55.对于多个真空吸附缸12a～12f中的任一个，都将向缸用第一电磁阀36、缸用第二电磁阀38以及喷射器用电磁阀40的通电停止的状态设为初始状态。
56.由于停止了向缸用第一电磁阀36的通电，因此各真空吸附缸12a～12f的第一压力室30与缸用第一横穿供给路44连接。另外，由于停止了向缸用第二电磁阀38的通电，因此各真空吸附缸12a～12f的第二压力室32与缸用第二横穿排气路48连接。
57.因此，成为下述的状态：来自第一流路块58或第二流路块60的缸用供给端口70的气体经由缸用供给路64等向各第一压力室30供给，并且各第二压力室32内的气体经由共用排气路66等而从第一流路块58或第二流路块60的排气端口72被排出。因此，各真空吸附缸12a～12f的活塞24处于上升了的位置，吸附垫84也保持在上升了的位置。
58.另外，由于停止了向喷射器用电磁阀40的通电，因此各真空吸附缸12a～12f的第三压力室34与喷射器用横穿排气路52连接。因此，成为各喷射器主体82内的气体经由共用排气路66等从第一流路块58或第二流路块60的排气端口72被排出的状态。因此，在各吸附垫84未生成真空压力。
59.从上述初始状态起对多个真空吸附缸12a～12f中的规定的真空吸附缸例如真空吸附缸12a～12c向缸用第一电磁阀36、缸用第二电磁阀38以及喷射器用电磁阀40进行通电。
60.通过对缸用第一电磁阀36进行通电，真空吸附缸12a～12c的第一压力室30与缸用第一横穿排气路42连接，通过对缸用第二电磁阀38进行通电，真空吸附缸12a～12c的第二压力室32与缸用第二横穿供给路46连接。
61.因此，来自第一流路块58或第二流路块60的缸用供给端口70的气体经由缸用供给路64等向真空吸附缸12a～12c的第二压力室32供给。另外，真空吸附缸12a～12c的第一压力室30内的气体经由共用排气路66等从第一流路块58或第二流路块60的排气端口72被排出。由此，真空吸附缸12a～12c的活塞24下降，吸附垫84也下降。
62.另外，通过对喷射器用电磁阀40进行通电，真空吸附缸12a～12c的第三压力室34与喷射器用横穿供给路50连接。因此，来自第一流路块58或第二流路块60的喷射器用供给端口68的气体经由喷射器用供给路62等被供给到真空吸附缸12a～12c的喷射器主体82内。由此，在真空吸附缸12a～12c的吸附垫84生成真空压力。
63.以这种方式，真空吸附缸12a～12c中，活塞24和吸附垫84下降，并且在吸附垫84生成真空压力，因此真空吸附缸12a～12c能够对存在于吸附垫84的下方的未图示的片剂等工件进行吸附。
64.在真空吸附缸12a～12c吸附了工件之后，对于这些真空吸附缸12a～12c，在继续向喷射器用电磁阀40的通电的状态下，停止向缸用第一电磁阀36及缸用第二电磁阀38的通电。
65.通过停止向缸用第一电磁阀36的通电，真空吸附缸12a～12c的第一压力室30与缸用第一横穿供给路44连接。另外，通过停止向缸用第二电磁阀38的通电，真空吸附缸12a～12c的第二压力室32与缸用第二横穿排气路48连接。由此，真空吸附缸12a～12c的活塞24和吸附垫84上升。
66.另一方面，由于继续向喷射器用电磁阀40的通电，因此维持在真空吸附缸12a～12c的吸附垫84生成真空压力的状态。然后，在真空吸附缸12a～12c吸附保持有工件的状态下操作未图示的机械臂，由此能够使真空吸附缸集合体10移动而将工件输送至规定的位置。
67.在真空吸附缸集合体10移动至规定的位置之后，对于真空吸附缸12a～12c，对缸用第一电磁阀36和缸用第二电磁阀38进行通电，并且停止向喷射器用电磁阀40的通电。
68.通过对缸用第一电磁阀36及缸用第二电磁阀38进行通电，真空吸附缸12a～12c的活塞24下降，吸附垫84也下降。另外，通过停止向喷射器用电磁阀40的通电，在真空吸附缸12a～12c的吸附垫84生成的真空压力消失。因此，吸附于真空吸附缸12a～12c的吸附垫84的工件被释放。
69.根据本实施方式的真空吸附缸集合体10，多个真空吸附缸12a～12f使用第一～第三拉杆74a～74c而被夹持、连结在第一流路块58与第二流路块60之间，因此能够容易地应对真空吸附缸数量的增减要求。
70.另外，由于缸用第一电磁阀36、缸用第二电磁阀38以及喷射器用电磁阀40安装于缸筒14的侧面，因此能够尽可能地缩短第一压力室30、第二压力室32以及第三压力室34与各自对应的电磁阀之间的流路。
71.另外，缸用第一横穿排气路42、缸用第一横穿供给路44、缸用第二横穿供给路46、缸用第二横穿排气路48、喷射器用横穿供给路50以及喷射器用横穿排气路52在与缸筒14的长度方向垂直的方向上延伸，并在上下方向上排列且相互平行地配置，因此，能够在缸筒14的侧壁尽可能地缩短多个流路且高效地配置多个流路。
72.另外，在固定于活塞24的下部杆28延伸至外部的端部通过拧入而连结有喷射器主体82，因此能够根据要吸附的工件的种类等容易地更换喷射器部。
73.另外，形成为了下述的构造：能够从第一流路块58和第二流路块60这两方同时向各真空吸附缸12a～12f供给气体，除此之外，还能够从各真空吸附缸12a～12f朝向第一流路块58和第二流路块60这两方排出气体，因此能够迅速地进行气体的给排，响应性提高。
74.(真空吸附缸的变更例)
75.上述的真空吸附缸12a能够置换为以下方式的真空吸附缸12a’。以下，参照图7对真空吸附缸12a’进行说明。此外，对与真空吸附缸12a相同或同等的构成要素标注有相同的参照符号。
76.真空吸附缸12a’具备安装于上部缸筒16的上侧的保护罩15。上部杆26插通于作为贯通孔设置于上部缸筒16的缸孔16a，并延伸至设置于保护罩15的罩孔15a的内部。在保护罩15安装有与上部杆26滑动接触的杆衬垫17。
77.形成于上部杆26与罩孔15a的壁面之间的间隙通过杆衬垫17与上部杆26滑动接触而被相互气密地隔开为该滑动接触位置的上方的部位和下方的部位。其中，上方的部位由于罩孔15a的上端向外部开口而因此形成了与大气连通的开放室33。另外，下方的部位与形成在上部杆26与上部缸筒16的缸孔16a的壁面之间的空间成为一体地形成喷射器用压力室35。
78.设置于上部缸筒16的第三通路34a与喷射器用压力室35连通。另外，在上部杆26的侧壁设置有使喷射器用压力室35与上部杆孔26a连通的横孔26b。此外，在上部杆26的上端设置有将上部杆孔26a从开放室33气密地隔开的密封部37。
79.因此，喷射器用压力室35经由横孔26b、上部杆孔26a和下部杆孔28a与喷射器主体82的内部连通，作为向喷射器部供给的气体的填充室发挥功能。在该情况下，喷射器用压力室35的气体通过设置于上部杆26的侧壁的横孔26b而被导入上部杆孔26a，因此，喷射器用压力室35的气压不会向下压上部杆26的方向作用。
80.通过对喷射器用电磁阀40进行通电，真空吸附缸12a’的喷射器用压力室35与喷射器用横穿供给路50连接。因此，来自第一流路块58或第二流路块60的喷射器用供给端口68的气体经由喷射器用供给路62等被供给到真空吸附缸12a’的喷射器主体82内。由此，在真空吸附缸12a’的吸附垫84生成真空压力。
81.本发明所涉及的真空吸附缸集合体不限于上述的实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内可以采用各种结构，这是不言而喻的。