两部分式玻璃反应容器、制造方法和分析方法与流程

技术特征：
1.用于制造大量玻璃反应容器的方法，所述玻璃反应容器作为第一玻璃板(1)中的凹槽(2)形成，所述方法具有以下步骤：1.将可透过第一玻璃板(1)的波长的激光脉冲照射到第一玻璃板(1)的位点，在所述位点处应各自产生一个作为反应容器的凹槽(2)，2.蚀刻所述第一玻璃板(1)的持续时间足以沿所述位点产生凹槽(2)，其中进行所述蚀刻直到形成具有在所述第一玻璃板(1)的整个厚度上延伸的深度的凹槽(2)，和将第二板(6)与所述第一玻璃板(1)的表面连接，其特征在于，所述连接通过如下方式进行：通过将玻璃料(10)施加到所述第一玻璃板(1)的表面(4、5)上或第二板(6)的表面上并随后加热，或者通过阳极键合，或者仅通过将所述第一玻璃板(1)靠在所述第二板(6)上然后加热。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述凹槽(2)的深度为至少30μm。3.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述凹槽(2)的深度与在第一表面(4)的平面中测量的直径的纵横比至少为2。4.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在步骤1之后并且在步骤2之前，用抗蚀剂(8)涂覆所述第一玻璃板(1)的表面(4、5)，并且在蚀刻之后并且在与所述第二板(6)连接之前去除抗蚀剂(8)。5.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述第二板(6)由玻璃、硅、蓝宝石、陶瓷、金属或由这些的至少两个层组成。6.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述第一玻璃板(1)在应产生凹槽(2)的位点处在多个相互间隔的位置处用激光脉冲进行照射。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在一部分位置(12)处将激光脉冲较浅地照射进所述第一玻璃板(1)中直至第一厚度部段(20)中，在一部分位置(13)处将激光脉冲较深地照射进所述第一玻璃板(1)中直至邻接的第二厚度部段(21)中，其中在蚀刻期间形成在所述第一厚度部段上延伸的凹槽(2)，并且形成与子壁(22)间隔开的、在第二厚度部段(21)上延伸的子凹槽(2')。8.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述位置以最大10μm的距离布置，其中至少三个位置彼此间隔至少20μm。9.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，激光辐射和/或激光脉冲的焦点位置被调整为使得所述激光辐射和/或所述激光脉冲仅穿透到所述第一玻璃板(1)中直至没有在所述第一玻璃板(1)的整个厚度上延伸的厚度部段中。10.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在所述第一玻璃板(1)的应产生凹槽(2)的位点处，激光束沿周向闭合的路径照射。11.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述沿周向闭合的路径照射的激光束由并排照射的激光束脉冲形成。12.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在步骤2之前，用抗蚀剂(10)涂覆所述第一玻璃板(1)的至少一侧。13.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，进行所述蚀刻，直到与涂覆有抗蚀剂(10)的表面邻接地形成围绕所述凹槽的倒角(9)。14.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述连接如下进行：通过印刷工
艺将糊状玻璃料(10)施加到所述第一玻璃板(1)的表面(4、5)上，将第二板(6)靠着施加的玻璃料(10)放置并加热所述第一玻璃板(1)和第二板(6)与施加在其间的玻璃料(10)的组件。15.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，将第一印制导线(15)施加到第一玻璃板(1)的与所述第二板(6)相对的第一表面(4)上，并且将第二印制导线(16)施加到所述第二板(6)的面向所述第一玻璃板(1)的表面上，然后将第二板与第一玻璃板(1)连接。16.根据权利要求19所述的方法，其特征在于，所述第二印制导线(16)在沟槽内产生，所述沟槽产生在所述第二板(6)中。17.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，将印制导线施加到第一玻璃板(1)上，所述印制导线覆盖所述凹槽(2)的内壁的至少一部分。18.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述激光束照射到所述第一玻璃板(1)的第一表面(4)上，并且在连接期间，所述第二板(6)靠着所述第一玻璃板(1)的与第一表面(4)相对的第二表面(5)布置。19.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，将具有穿过其整个厚度延伸的第三凹槽(23)的第三板(18)以与所述第一玻璃板(1)的凹槽(2、2')相适配的第三凹槽(23)与所述第一玻璃板(1)的第一表面(4)连接。20.根据前述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在所述第二板(6)中产生第二凹槽(19)并且所述第二板(6)以其与所述第一玻璃板(1)的凹槽(2)邻接的第二凹槽(19)与所述第一玻璃板(1)连接。21.反应容器，其形成为玻璃凹槽，特别地能通过根据前述权利要求之一所述的方法获得，所述反应容器在第一玻璃板(1)中的凹槽的深度为至少30μm并且深度与在第一玻璃板(1)的第一表面(4)的平面内测量的直径的纵横比为至少2，其中凹槽(2)由壁界定，所述壁的端面布置在一个共同平面中并且形成第一玻璃板(1)的第一表面(4)，所述凹槽(2)从所述第一表面(4)凹入，其特征在于，所述凹槽(2)延伸穿过第一玻璃板(1)的整个厚度，并且形成所述反应容器的底部(3)的第二板(6)通过如下方式与第一玻璃板(1)的表面(4、5)连接：通过将玻璃料(10)施加到第一玻璃板(1)的表面(4、5)或第二板(6)的表面上然后加热，或者通过阳极键合，或者仅通过将第一玻璃板(1)靠在第二板(6)上然后加热。22.根据权利要求21所述的反应容器，其特征在于，所述第二板(6)在其面向所述第一玻璃板(1)的表面上具有延伸直至由所述凹槽(2)包围的区域中的印制导线，并且在第一玻璃板(1)和第二板(6)之间布置在熔化后固化的玻璃料(10)。23.根据权利要求22所述的反应容器，其特征在于，所述印制导线布置在沟槽内，所述沟槽在与第一玻璃板(1)连接的第二板(6)的表面中产生。24.根据权利要求21至23之一所述的反应容器，其特征在于，在所述第一玻璃板(1)和所述第二板(6)之间布置在熔化后固化的玻璃料(10)，所述玻璃料(10)具有对于300至800nm波长不可透过的颜色。25.根据权利要求21至24之一所述的反应容器，其特征在于，所述凹槽(2)的底部(3)由固化的玻璃料(10)形成，所述固化的玻璃料(10)形成玻璃透镜，其中所述玻璃料(10)布置在与所述第一玻璃板(1)连接的所述第二板(6)的表面的整个面上。26.根据权利要求21至25之一所述的反应容器，其特征在于，具有延伸穿过其整个厚度
的第三凹槽(23)的第三板(18)以与所述第一玻璃板(1)的凹槽(2、2')相适配的第三凹槽(23)与所述第一玻璃板(1)的第一表面(4)连接。27.根据权利要求21至26之一所述的反应容器，其特征在于，所述第二板(6)具有在该第二板(6)的整个厚度上延伸的第二凹槽(19)，并且所述第二板(6)以其与所述第一玻璃板(1)的凹槽(2)邻接的第二凹槽(19)与所述第一玻璃板(1)连接。28.根据权利要求21至27之一所述的反应容器，其特征在于，所述第二板(6)的第二凹槽(19)的在与所述第一玻璃板(1)邻接的表面的平面中测量的直径为1至5μm。29.用于分析样品的方法，具有如下步骤：提供反应容器，所述反应容器根据权利要求1至20之一所述的方法来制造或者是根据权利要求21至28之一所述的反应容器，将无细胞或含细胞的样品引入所述反应容器中，将至少一种试剂添加到所述反应容器中，和以光学方式测量所述反应容器。

技术总结
本发明涉及用于制造玻璃反应容器的方法以及通过该方法可获得的玻璃反应容器。所述方法具有如下步骤：1.将可透过第一玻璃板的波长的激光束照射到第一玻璃板的表面，2.蚀刻第一玻璃板以形成在第一玻璃板的整个厚度上延伸的凹槽，3.将第二板与第一玻璃板的表面连接。3.将第二板与第一玻璃板的表面连接。3.将第二板与第一玻璃板的表面连接。


技术研发人员：R.克鲁格 M.舒尔兹-鲁藤伯格 J.瓦恩阿尔斯特 M.沃勒
受保护的技术使用者：LPKF激光电子股份公司
技术研发日：2020.11.10
技术公布日：2022/7/10