一种均匀分布式物料循环系统喷嘴的制作方法

1.本发明涉及喷嘴领域，更具体地说，本发明涉及一种均匀分布式物料循环系统喷嘴。


背景技术：

2.喷嘴用来供应光刻胶和各种有机溶剂，每一个喷嘴对应一种材料，在整个光刻工艺中，除了曝光，其余所有的步骤都是在匀胶显影机中完成的。匀胶显影机的主要工艺单元分别有晶圆表面增粘处理，光刻胶旋涂单元，边缘曝光，显影单元等，这些单元的装置都离不开喷嘴。
3.现有技术中，仍旧存在较多缺点，如在对物料进行释放时，不能使得物料均匀位于喷嘴内部，无法使得物料后续均匀的使用，使用不方便。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.为了克服现有技术的上述缺陷，本发明的实施例提供一种均匀分布式物料循环系统喷嘴，通过设有套筒与凹槽，与现有技术相比，通过套筒的向上运动可以让环形伸缩管的长度增加，可以根据环形伸缩管长度的增加盛放不同容量的物料，便于后续进行均匀分布，且之后将管道进行转动，由于管道与螺旋形状的凹槽活动连接，可以将管道进行转动，使得管道沿着螺旋状的凹槽进行旋转，使得物料不会一直释放在一个位置上，让物料均匀的分布在喷嘴本体的内部，让物料后续进行均匀的使用，使用更加方便，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种均匀分布式物料循环系统喷嘴，包括喷嘴本体，所述喷嘴本体的顶端内部设置有固定板，且固定板与喷嘴本体内壁固定连接，所述固定板的顶部设置有储存盒，所述储存盒的顶部设置有环形伸缩管，所述环形伸缩管为塑料构件制成，所述固定板与储存盒之间设置有管道。
8.所述环形伸缩管的顶部设置有圆环，所述圆环通过环形伸缩管与储存盒固定连接，所述固定板的表面设置有凹槽，所述管道的底端延伸至凹槽的内部，且与凹槽活动连接，所述凹槽的横截面形状为螺旋形状，所述储存盒的一侧设置有皮尺。
9.具体实施方式：通过套筒的向上运动可以让环形伸缩管的长度增加，可以根据环形伸缩管长度的增加盛放不同容量的物料，便于后续进行均匀分布，且之后将管道进行转动，由于管道与螺旋形状的凹槽活动连接，可以将管道进行转动，使得管道沿着螺旋状的凹槽进行旋转，使得物料不会一直释放在一个位置上，让物料均匀的分布在喷嘴本体的内部，让物料后续进行均匀的使用，使用更加方便。
10.在一个优选的实施方式中，所述圆环的两侧均设置有横板，所述横板的数量为两个，且皮尺的顶端与一个横板固定连接。
11.在一个优选的实施方式中，所述储存盒的底端内壁设置有环形板，所述环形板的顶部表面为倾斜设置。
12.在一个优选的实施方式中，所述储存盒的底部表面设置有孔洞，所述孔洞与管道的顶端相连通。
13.在一个优选的实施方式中，所述储存盒的另一侧设置有螺纹杆，所述螺纹杆以及皮尺的底端均匀储存盒固定连接，所述螺纹杆的顶端外侧设置有套筒，所述套筒位于螺纹杆的顶部。
14.在一个优选的实施方式中，所述套筒的顶端与另一个横板活动连接，且螺纹杆与套筒螺纹连接。
15.在一个优选的实施方式中，所述管道的内部设置有挡板，所述挡板与管道活动连接，且挡板的一端延伸至管道的外侧。
16.在一个优选的实施方式中，所述挡板的一侧设置有伸缩杆，所述伸缩杆位于储存盒的底部。
17.(三)有益效果
18.本发明提供了一种均匀分布式物料循环系统喷嘴，具备以下有益效果：
19.1、本发明通过设有套筒与凹槽，与现有技术相比，通过套筒的向上运动可以让环形伸缩管的长度增加，可以根据环形伸缩管长度的增加盛放不同容量的物料，便于后续进行均匀分布，且之后将管道进行转动，由于管道与螺旋形状的凹槽活动连接，可以将管道进行转动，使得管道沿着螺旋状的凹槽进行旋转，使得物料不会一直释放在一个位置上，让物料均匀的分布在喷嘴本体的内部，让物料后续进行均匀的使用，使用更加方便；
20.2、本发明通过设有环形板与皮尺，与现有技术相比，通过另一个横板的向上运动，将皮尺进行拉伸，可以观察到环形伸缩管长度的增加，防止长度增加过度，提高了使用的精准度，因为环形板的顶部表面为倾斜设置，通过储存盒内壁的环形板防止物料发生堆积。
附图说明
21.图1为本发明的整体结构示意图。
22.图2为本发明的环形板与储存盒俯视图。
23.图3为本发明的管道与挡板俯视图。
24.图4为本发明的固定板与管道俯视图。
25.图5为本发明的圆环与螺纹杆底视图。
26.附图标记为：1喷嘴本体、2固定板、3储存盒、4环形伸缩管、5管道、6圆环、7凹槽、8皮尺、9横板、10环形板、11孔洞、12螺纹杆、13套筒、14挡板、15伸缩杆。
具体实施方式
27.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
28.本发明提供了一种均匀分布式物料循环系统喷嘴，包括喷嘴本体1，所述喷嘴本体
1的顶端内部设置有固定板2，且固定板2与喷嘴本体1内壁固定连接，所述固定板2的顶部设置有储存盒3，所述储存盒3的顶部设置有环形伸缩管4，所述环形伸缩管4为塑料构件制成，所述固定板2与储存盒3之间设置有管道5。
29.参照说明书附图1-5，该实施例的均匀分布式物料循环系统喷嘴的环形伸缩管4的顶部设置有圆环6，所述圆环6通过环形伸缩管4与储存盒3固定连接，所述固定板2的表面设置有凹槽7，所述管道5的底端延伸至凹槽7的内部，且与凹槽7活动连接，所述凹槽7的横截面形状为螺旋形状，所述储存盒3的一侧设置有皮尺8。
30.进一步的，所述圆环6的两侧均设置有横板9，所述横板9的数量为两个，且皮尺8的顶端与一个横板9固定连接。
31.进一步的，所述储存盒3的底端内壁设置有环形板10，所述环形板10的顶部表面为倾斜设置。
32.进一步的，所述储存盒3的底部表面设置有孔洞11，所述孔洞11与管道5的顶端相连通。
33.进一步的，所述储存盒3的另一侧设置有螺纹杆12，所述螺纹杆12以及皮尺8的底端均匀储存盒3固定连接，所述螺纹杆12的顶端外侧设置有套筒13，所述套筒13位于螺纹杆12的顶部。
34.进一步的，所述套筒13的顶端与另一个横板9活动连接，且螺纹杆12与套筒13螺纹连接。
35.进一步的，所述管道5的内部设置有挡板14，所述挡板14与管道5活动连接，且挡板14的一端延伸至管道5的外侧。
36.进一步的，所述挡板14的一侧设置有伸缩杆15，所述伸缩杆15位于储存盒3的底部。
37.综上可得，本发明的工作流程：在使用时，让挡板14的一端延伸至管道5的内部，通过挡板14的一端将管道5内部堵上，防止物料自动向下运动，便于后续的操作，之后将套筒13发生转动，由于套筒13与螺纹杆12螺纹连接，通过螺纹杆12让套筒13向上运动，使得套筒13沿着螺纹杆12向上运动，可以推动顶部的横板9向上运动，也带动了圆环6的向上运动，由于圆环6与环形伸缩管4固定连接，让环形伸缩管4发生形变，使得环形伸缩管4的长度增加，可以让盛放更多的物料，提高了整体的使用，因为两个横板9均匀圆环6固定连接，使得两个圆环6同时发生转动，通过另一个横板9的向上运动，将皮尺8进行拉伸，可以观察到环形伸缩管4长度的增加，防止长度增加过度，提高了使用的精准度，当物料放置完成之后，将伸缩杆15进行长度缩减，可以带动了挡板14发生运动，由于挡板14与管道5活动连接，使得挡板14的一端向着螺纹杆12的方向进行移动，可以让管道5内部的物料自动发生运动，且让储存盒3内部的物料通过孔洞11进到管道5的内部，由于管道5与孔洞11相连通，让物料源源不断向下运动，且通过储存盒3内壁的环形板10防止物料发生堆积，因为环形板10的顶部表面为倾斜设置，在物料通过管道5进行释放时，将管道5进行转动，由于管道5与螺旋形状的凹槽7活动连接，可以将管道5进行转动，使得管道5沿着螺旋状的凹槽7进行旋转，使得物料不会一直释放在一个位置上，让物料均匀的分布在喷嘴本体1的内部，让物料后续进行均匀的使用，使用更加方便。
38.本发明工作原理：
39.参照说明书附图1-5，本发明实施例的均匀分布式物料循环系统喷嘴，在使用时，通过套筒13的向上运动可以让环形伸缩管4的长度增加，可以根据环形伸缩管4长度的增加盛放不同容量的物料，便于后续进行均匀分布，且之后将管道5进行转动，由于管道5与螺旋形状的凹槽7活动连接，可以将管道5进行转动，使得管道5沿着螺旋状的凹槽7进行旋转，使得物料不会一直释放在一个位置上，让物料均匀的分布在喷嘴本体1的内部，让物料后续进行均匀的使用，使用更加方便；
40.参照说明书附图1-2，本发明实施例的均匀分布式物料循环系统喷嘴，在使用时，通过另一个横板9的向上运动，将皮尺8进行拉伸，可以观察到环形伸缩管4长度的增加，防止长度增加过度，提高了使用的精准度，因为环形板10的顶部表面为倾斜设置，通过储存盒3内壁的环形板10防止物料发生堆积。
41.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
42.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。