电子枪防粉尘装置的制作方法

技术特征：
1.电子枪防粉尘装置，包括防粉尘装置本体；其特征是，防粉尘装置本体主要由壳体(1)、电子束道(6)、射流腔(5)、进气道(3)、出气道(7)和喷嘴(4)组成；壳体(1)的轴向开设有电子束道(6)，该电子束道(6)纵向贯通壳体(1)，且电子束道(6)与电子枪内部的电子束(8)通道同轴对接；电子束道(6)的一端为电子束(8)入口端，电子束道(6)的另一端为电子束(8)出口端；壳体(1)内部开设有轴对称的射流腔(5)，且电子束道(6)贯穿射流腔(5)；进气道(3)和出气道(7)开设在壳体(1)上，并分别位于射流腔(5)的两侧；进气道(3)的入口为辅助气体入口，进气道(3)的出口连接喷嘴(4)，喷嘴(4)连接射流腔(5)的一端，射流腔(5)的另一端连接出气道(7)的入口，出气道(7)的出口为含粉尘气体出口；防粉尘装置本体沿着电子束(8)飞行方向安装在电子枪的电子束(8)发生装置之后，电子枪的电子束(8)发生装置发出的电子束(8)在穿越防粉尘装置本体的电子束道(6)的过程中经历射流腔(5)；当辅助气体由进气道(3)经喷嘴(4)进入到射流腔(5)时，在射流腔(5)内体积急剧膨胀形成超音速射流，由电子束道(6)的电子束(8)出口端进入到射流腔(5)的粉尘将被超音速射流所带动，一起向出气道(7)流动并被排出射流腔(5)，以阻止粉尘继续向电子束道(6)的电子束(8)入口端扩散。2.根据权利要求1所述的电子枪防粉尘装置，其特征是，进气道(3)上设有调节阀(2)。3.根据权利要求1所述的电子枪防粉尘装置，其特征是，出气道(7)的出口接回收泵(9)，回收泵(9)将出气道(7)内的含粉尘气体排出带有电子枪的电子束(8)加工设备；或出气道(7)的出口与带有电子枪的电子束(8)加工设备的真空工作室(10)直接相连，出气道(7)内的含粉尘气体直接排入带有电子枪的电子束(8)加工设备的真空工作室(10)。4.根据权利要求1所述的电子枪防粉尘装置，其特征是，射流腔(5)的轴线与电子束道(6)的轴线垂直相交，此时喷嘴(4)设置在射流腔(5)轴线上，喷嘴(4)的喷气方向与电子束(8)飞行方向垂直。5.根据权利要求1所述的电子枪防粉尘装置，其特征是，射流腔(5)轴线与电子束道(6)的轴线重合，此时进气道(3)和喷嘴(4)靠近壳体(1)的电子束(8)入口端，出气道(7)靠近壳体(1)的电子束(8)出口端，喷嘴(4)的喷气方向与电子束(8)飞行方向一致。6.根据权利要求1所述的电子枪防粉尘装置，其特征是，辅助气体为空气、二氧化碳气、氮气、氩气或氦气。

技术总结
本发明公开一种电子枪防粉尘装置，主要由壳体、电子束道、射流腔、进气道、出气道和喷嘴组成。本发明在不改动原有电子枪结构的基础上只要加工出对应的接口就可以直接安装使用，结构简单，加工改造成本低，可以满足所有类型的电子枪使用。由于进入电子枪的辅助气体速度极高，所用辅助气体的密度非常低就足以抵御粉尘，以至于电子枪运行过程的真空波动和电子束的散射可以忽略，防粉尘装置产生的超音速的辅助气体动能有效的抑制粉尘进入电子枪的电子束发生装置，从而提高了电子枪运行的可靠性。从而提高了电子枪运行的可靠性。从而提高了电子枪运行的可靠性。


技术研发人员：张建飞 朱国坤 唐辉 李震 黄国华 谢桂红 刘强 吴华涛 陈纪赞 张睿
受保护的技术使用者：桂林狮达技术股份有限公司
技术研发日：2022.04.01
技术公布日：2022/7/1