废气处理装置的制作方法

技术特征：
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：至少两个处理模块，每个所述处理模块包括：一个或复数个进气管，所述进气管包括进气口，用于输入废气至所述废气处理装置中；一等离子焰炬，用于持续电离，产生高温区域，使得所述废气被点燃；一反应腔，用于使所述废气在其中剧烈燃烧并高温裂解，分解有害成分，得到反应气体；一冷却腔，用于将所述反应气体初步冷却；一收集器，用于吸附收集所述反应气体中的颗粒物和有害粉尘；一换热器，用于将通过收集器后的反应气体进一步降温；一排气口，用于排出通过换热器处理过的所述反应气体；所述处理模块的所述进气管之间通过连接管并联连接；所述的进气管和连接管之间设置有阀门；进气管、连接管以及阀门连接形成进气管道网路；所述处理模块通过控制阀门的开启或关闭，控制进气管道的切换，以控制废气是否进入该处理模块内。2.根据权利要求1所述的一种废气处理装置，其特征在于，每个所述处理模块包括四个进气管。3.根据权利要求1所述的一种废气处理装置，其特征在于，所述废气类包含单硅烷(sih4)、氯气(cl2)、pfc(全氟化合物(perfluoro compounds))。4.根据权利要求1所述的一种废气处理装置，其特征在于，所述等离子焰炬的采用微波等离子焰炬，所述微波的频段为915mhz或2450mhz。5.根据权利要求2所述的一种废气处理装置，其特征在于，每个处理模块进气口均为四个；不同处理模块的所述进气管之间通过所述阀门和所述连接管连接；所述阀门为自动三通阀。6.根据权利要求2-5任一项所述的一种废气处理装置，其特征在于，所述反应腔的壳体采用热稳定性高的材料；在所述反应腔的壳体内壁使用特种的陶瓷涂层工艺，均匀涂上一层以三氧化二铝为主要成分的陶瓷材料。7.根据权利要求6所述的一种废气处理装置，其特征在于，所述反应腔的壳体材料为添加mo元素的特种不锈钢材料，其组成成分包括：p≤0.035％、s≤0.03％、ni:10.0～14.0％、cr:16.0～18.5％、mo:2.5～4.0％、c：0.1～0.12％，余量为fe。8.根据权利要求2-5任一项所述的一种废气处理装置，其特征在于，所述冷却腔包括壳体，所述壳体的内部对称设置有第一冷却腔体和第二冷却腔体，其中，所述第一冷却腔体和所述第二冷却腔体的内部分别设置有冷却通道。9.根据权利要求2-5任一项所述的一种废气处理装置，其特征在于，所述换热器包括依次连通设置的导热介质入口、导热介质换热腔和导热介质出口。10.根据权利要求9所述的一种废气处理装置，其特征在于，所述排气口与所述换热器相连，所述换热器通过所述收集器与所述冷却腔相连，所述冷却器与所述离子焰炬相连，所述进气管与所述离子焰炬相连。11.根据权利要求1所述的一种废气处理装置，其特征在于，所述收集器包括静电收集装置、蜂窝陶瓷过滤装置、活性炭滤网过滤装置的一种或多种。12.一种利用权利要求1-11任一项所述的一种废气处理装置的废气处理方法，其特征
在于，当进气口的管道通路按用户设置或者系统智能控制实现全部开启、选择性开启或关闭，装置内的并联的处理模块实现全部开启或者部分开启或者关机；废气通过进气口后，进入离子焰炬，与装置内的气体混合；同时，所述离子焰炬内的等离子焰炬在电源的支持下持续电离，产生高温区域，使得所述废气被点燃，所述废气在反应腔内剧烈燃烧并高温裂解，分解有害成分，得到反应气体，然后所述反应气体在冷却腔内初步冷却；燃烧后所述反应气体进入收集器，所述收集器吸附收集所述反应气体中的颗粒物和有害粉尘，然后所述反应气体进入换热器，在换热器内进一步降温并达到排放标准，经由排气口排出。13.一种利用权利要求12所述的废气处理方法，所述的废气处理装置内的每个处理模块均具备完整的废气处理能力，不同处理模块的进气管之间采用连接管通过自动三通阀门相互连接形成进气管道网络；自动三通阀门开关通过控制模块进行控制，实现进气管道开闭状态的切换，进而控制废气进入部分处理模块或者全部处理模块。14.一种利用权利要求12所述的废气处理方法，所述装置内可以选择性地通入空气(cda，clean dry air)或者其他有益处理气体，所述气体为n2、cf4、sf6、nf3中的一种或多种。

技术总结
本发明公开了一种废气处理装置，包括：两个处理模块，所述两个处理模块均具有完整的废气处理能力，即既可以单独工作，也可以与其他处理模块并联或串联组成。每个处理模块均包括一个或复数个进气口、等离子焰炬、反应腔、冷却腔、收集器、换热器及排气口。本发明一种废气处理装置具有离子点火装置持续工作时间长，维护时间短、无水化除害、耐腐蚀性强，没有废水排放，减少二次污染、降低装置停机概率、实现不停机维护等优点。机维护等优点。机维护等优点。


技术研发人员：郑洪
受保护的技术使用者：上海协微环境科技有限公司
技术研发日：2020.12.25
技术公布日：2022/6/30