一种全自动双面数字光刻机的制作方法

技术特征：
1.一种全自动双面数字光刻机，其特征在于，包括第一输送线、第二输送线和第三输送线，所述第二输送线和所述第三输送线分别位于所述第一输送线的两端并与其呈相交设置，所述第一输送线的一端设有第一分板机构，另一端设有第二分板机构，所述第一分板机构用于将位于所述第一输送线上的工件转移至所述第二输送线上，所述第二分板机构用于将位于所述第一输送线上的工件转移至所述第三输送线上;所述第二输送线与所述第三输送线之间设有曝光机，所述曝光机的相对两侧设有第一曝光平台和第二曝光平台，所述第一曝光平台位于所述第二输送线与所述曝光机之间，所述第二曝光平台位于所述第三输送线与所述曝光机之间，所述第一曝光平台与所述第二曝光平台均可移动至所述曝光机的下方;所述第一曝光平台的上方设有第一机械手，所述第二曝光平台的上方设有第二机械手，所述第一机械手用于将所述第二输送线上的工件转移至所述第一曝光平台上以及用于将曝光后的工件从所述第一曝光平台上转移至所述第一输送线上，所述第二机械手用于将所述第三输送线上的工件转移至所述第二曝光平台上以及用于将曝光后的工件从所述第二曝光平台上转移至所述第一输送线上;所述第一输送线上设有翻板机，所述翻板机用于将经所述第一机械手转从所述第一曝光平台转移至所述第一输送线上的工件翻转预设角度。2.根据权利要求1所述的全自动双面数字光刻机，其特征在于，所述第一分板机构与所述第二分板机构的结构相同，其均包括有第一驱动模组和沿竖直方向间隔设置的多个推杆，所述多个推杆分别与所述第一驱动模组传动连接，所述第一驱动模组用于驱动所述多个推杆沿竖直方向移动，以及用于驱动所述多个推杆沿所述第二输送线的分布方向移动。3.根据权利要求2所述的全自动双面数字光刻机，其特征在于，还包括设于所述第一输送线下方的第一止挡机构和第二止挡机构，所述第一止挡机构用于将所述第一输送线上的工件止挡于第一预设位置，所述第二止挡机构用于将所述第一输送线上的工件止挡于第二预设位置；其中，所述工件于所述第一预设位置，所述第一分板机构将所述工件转移至所述第二输送线上，所述工件于所述第二预设位置时，所述第二分板机构将所述工件转移至所述第三输送线上。4.根据权利要求3所述的全自动双面数字光刻机，其特征在于，所述第一止挡机构与所述第二止挡机构的结构相同，其均包括有第二驱动模组和沿竖直方向间隔设置的多个挡杆，所述第二驱动模组用于驱动所述多个挡杆沿竖直方向移动。5.根据权利要求1所述的全自动双面数字光刻机，其特征在于，所述第一机械手与所述第二机械手结构相同，其均包括有进料移载机构和出料移载机构，所述进料移载机构包括第三驱动模组和多个第一吸附组件，所述出料移载机构包括第四驱动模组和多个第二吸附组件；其中，所述第三驱动模组用于驱动所述多个第一吸附组件沿竖直方向移动，以及用于驱动所述多个第一吸附组件沿所述第一输送线的分布方向移动，所述第四驱动模组用于驱动所述多个第二吸附组件沿所述竖直方向移动，以及用于驱动所述多个第二吸附组件沿所
述第二输送线的分布方向移动。6.根据权利要求1所述的全自动双面数字光刻机，其特征在于，还包括第一定位机构和第二定位机构，所述第一定位机构设于所述第二输送线上，所述第二定位机构设于所述第三输送线上，所述第一定位机构用于对位于所述第二输送线上的工件进行定位，所述第二定位机构用于对位于所述第三输送线上的工件进行定位。7.根据权利要求6所述的全自动双面数字光刻机，其特征在于，所述第一定位机构与所述第二定位机构的结构相同，其均包括有两间隔设置的第一夹持组件和第二夹持组件，所述第一夹持组件包括第五驱动模组和沿竖直方向间隔设置的多个第一夹持杆，所述第二夹持组件包括第六驱动模组和沿竖直方向间隔设置的多个第二夹持杆。8.根据权利要求6所述的全自动双面数字光刻机，其特征在于，还包括第一升降机构和第二升降机构，所述第一升降机构设于所述第二输送线上，所述第二升降机构设于所述第三输送线上，所述第一升降机构用于升降位于所述第二输送线上的工件，所述第二升降机构用于升降位于所述第三输送线上的工件。9.根据权利要求8所述的全自动双面数字光刻机，其特征在于，所述第一升降机构与所述第二升降机构的结构相同，其均包括有第七驱动模组、多个升降杆和升降平台，每一所述升降杆的一端与所述第七驱动模组连接，另一端与所述升降平台连接。10.根据权利要求1-9任一项所述的全自动双面数字光刻机，其特征在于，所述翻板机包括第八驱动模组和翻转平台，所述第八驱动模组用于驱动所述翻转平台翻转180度。

技术总结
本实用新型公开一种全自动双面数字光刻机，包括第一输送线、第二输送线和第三输送线，第二输送线和第三输送线分别位于第一输送线的两端并与其呈相交设置，第一输送线的一端设有第一分板机构，另一端设有第二分板机构;第二输送线与第三输送线之间设有曝光机，曝光机的相对两侧设有第一曝光平台和第二曝光平台，第一曝光平台位于第二输送线与曝光机之间，第二曝光平台位于第三输送线与曝光机之间，第一曝光平台与第二曝光平台均可移动至曝光机的下方；第一曝光平台的上方设有第一机械手，第二曝光平台的上方设有第二机械手；第一输送线上设有翻板机，翻板机用于将经第一机械手转从第一曝光平台转移至第一输送线上的工件翻转预设角度。预设角度。预设角度。


技术研发人员：陈志特 王华 黄海浩 甘泉 何增灿 龚海峰
受保护的技术使用者：广东科视光学技术股份有限公司
技术研发日：2022.02.07
技术公布日：2022/6/28