一种晶片抛光用陶瓷盘及抛光装置的制作方法

技术特征：
1.一种晶片抛光用陶瓷盘，包括盘体(1)，其特征在于，所述盘体(1)上设有用于容纳待抛光晶片的凹槽(11)；还包括一基板(2)，所述基板(2)与所述凹槽(11)适配，所述基板(2)以可拆的方式固定在所述凹槽(11)内，外设晶片(a)以可拆的方式固定在所述基板(2)上，外设晶片(a)的待抛光面延伸至凹槽(11)外。2.根据权利要求1所述的晶片抛光用陶瓷盘，其特征在于，所述基板(2)与外设晶片(a)配合的表面为安装面，外设晶片(a)与基板(2)的重合面积小于所述安装面的面积。3.根据权利要求1所述的晶片抛光用陶瓷盘，其特征在于，所述基板(2)通过热熔蜡粘接在所述凹槽(11)内。4.根据权利要求3所述的晶片抛光用陶瓷盘，其特征在于，所述凹槽(11)的边缘设有用于容纳多余液体蜡的容纳凹部(b)。5.根据权利要求4所述的晶片抛光用陶瓷盘，其特征在于，所述凹槽(11)为多边形。6.根据权利要求5所述的晶片抛光用陶瓷盘，其特征在于，所述凹槽(11)为方形，所述容纳凹部(b)为设置在所述凹槽(11)的四个。7.一种抛光装置，包括可旋转的抛光台(10)、可升降且可旋转的夹具(20)、抛光液喷嘴(30)，其特征在于，还包括如权利要求1-6任一所述的晶片抛光用陶瓷盘(a)，所述夹具(20)用于夹紧所述盘体并将盘体压在抛光台(10)上；所述抛光台(10)用于对外设晶片(a)进行抛光；所述抛光液喷嘴(30)用于将抛光液输出到所述抛光台(10)上。

技术总结
本实用新型公开了一种晶片抛光用陶瓷盘，旨在避免晶片固定在陶瓷盘上时出现移位的现象，保证晶片的抛光质量，其技术方案：一种晶片抛光用陶瓷盘，包括盘体，所述盘体上设有用于容纳待抛光晶片的凹槽，还包括一基板，所述基板与所述凹槽适配，所述基板以可拆的方式固定在所述凹槽内，外设晶片以可拆的方式固定在所述基板上，外设晶片的待抛光面延伸至凹槽外；还公开了一种抛光装置；属于晶片加工技术领域。域。域。


技术研发人员：廖彬 周铁军 曾琦 张昌文
受保护的技术使用者：广东先导微电子科技有限公司
技术研发日：2021.11.23
技术公布日：2022/6/24