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一种钻石晶体生长设备的真空系统结构的制作方法

2022-06-22 14:46:13 来源:中国专利 TAG:


1.本发明涉及合成钻石技术领域,具体是一种钻石晶体生长设备的真空系统结构。


背景技术:

2.合成钻石又名人工钻石,是一种由直径10到30纳米的钻石结晶聚合而成的多结晶钻石,钻石晶体生长工艺使用的真空系统结构在进行安装的时候,需要人工手动辅助真空系统结构的吊装,容易出现晃动,而与放置台贴合时,晃动导致不平整面接触产生冲击力,会对放置台上的晶体造成影响。
3.在授权公告号为cn210560879u的中国专利中公开了一种一种钻石晶体生长设备的真空系统结构,包括顶梁和工作台,所述顶梁的顶部固定安装有电机,所述电机的输出轴套接有收卷盘。该钻石晶体生长设备的真空系统结构,当工作人员将抛光完成的晶体放置到真空系统结构内后,启动电机带动收卷盘转动,使牵引绳开始放线,炉体随着牵引绳放线下降向底盖靠近,在炉体移动的同时,拉索与炉体连接的那端被拉动,拉索就绕着定滑轮移动。
4.但是,上述技术方案还存在以下缺陷,现有的真空系统结构安装时通常采用吊装,虽然吊装时采用侧板对其进行限位,但是吊装过程中牵引绳无法起到对真空炉体进行固定限位的作用,使得真空炉体容易出现晃动,导致其安装时出现偏移,从而导致其漏气,影响其工作时的真空系数。


技术实现要素:

5.本发明的目的在于提供一种钻石晶体生长设备的真空系统结构,旨在解决现有技术中的现有的真空系统结构安装时通常采用吊装,虽然吊装时采用侧板对其进行限位,但是吊装过程中牵引绳无法起到对真空炉体进行固定限位的作用,使得真空炉体容易出现晃动,导致其安装时出现偏移,从而导致其漏气,影响其工作时的真空系数的问题。
6.为实现上述目的,本发明采用如下技术方案:所述钻石晶体生长设备的真空系统结构,包括:工作台以及位于其上方的顶板,所述工作台的顶端中部固定安装有承载台,所述承载台的顶部边缘处安装有密封环,所述顶板的底部安装有真空炉体,所述真空炉体的内壁底部开设有用于与密封环配合的第一密封槽,所述承载台四个外壁顶部以及真空炉体四个外壁底部均开设有第二密封槽,所述工作台的顶部四边均安装有用于与第二密封槽配合的密封板,所述密封板远离承载台的一侧安装有气动顶紧机构,所述真空炉体的顶部边缘处与顶板之间安装有气动限位件。
7.本发明的进一步的技术方案为,所述真空炉体的顶端中部与顶板的中部之间安装有用于带动其升降的自动伸缩杆,所述气动限位件与气动顶紧机构的数量相同。
8.本发明的进一步的技术方案为,所述自动伸缩杆为电动伸缩杆或者液压伸缩杆,所述气动限位件为气动伸缩杆。
9.本发明的进一步的技术方案为,所述气动顶紧机构包括至少固定安装在工作台顶
部且两个沿密封板长度方向均布的气缸。
10.本发明的进一步的技术方案为,所述气缸靠近气动限位件的一端与气动限位件的顶部之间安装有用于两者之间连通的连接管。
11.本发明的进一步的技术方案为,所述气缸的活动端与密封板的外壁固定连接,多个所述气缸靠近密封板的一端之间连通有连通管。
12.本发明的进一步的技术方案为,所述密封环以及密封板均由橡胶材料支撑。
13.本发明的进一步的技术方案为,所述工作台的顶部四角与顶板的底部四角之间均固定安装有用于对顶板进行支撑的支撑柱。
14.本发明的有益效果是:
15.真空系统结构安装时,启动自动伸缩杆,使其带动真空炉体下降,同时四个气动限位件能够对其下降进行限位,使其只能沿竖直方向下降,避免了其下降时发生偏移,随着真空炉体的下降,气动限位件的活动端伸长,并通过连接管将气动顶紧机构的空气抽出,使得气动顶紧机构的顶出端带动密封板向承载台移动,当真空炉体与承载台接触时,此时密封环刚好卡入第一密封槽中,气动顶紧机构将密封板顶入第二密封槽中,保证了真空系统结构安装后的气密性,避免了其工作时漏气,影响其真空系数。
附图说明
16.图1是本发明的具体实施例的整体结构示意图。
17.图2是本发明的工作台的俯视结构示意图。
18.图3是本发明的真空炉的密封结构示意图。
19.图4是本发明的气动限位件和气动顶紧机构的连接结构示意图。
20.图中:1、工作台;2、顶板;3、支撑柱;4、承载台;5、真空炉体;6、密封环;7、第一密封槽;8、第二密封槽;9、密封板;10、自动伸缩杆;11、气动限位件;12、气动顶紧机构;13、连接管;14、连通管。
具体实施方式
21.下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。
22.如图1-4所示,一种钻石晶体生长设备的真空系统结构,包括:工作台以及位于其上方的顶板,工作台的顶端中部固定安装有承载台,承载台的顶部边缘处安装有密封环,顶板的底部安装有真空炉体,真空炉体的内壁底部开设有用于与密封环配合的第一密封槽,承载台四个外壁顶部以及真空炉体四个外壁底部均开设有第二密封槽,工作台的顶部四边均安装有用于与第二密封槽配合的密封板,密封板远离承载台的一侧安装有气动顶紧机构,真空炉体的顶部边缘处与顶板之间安装有气动限位件。
23.在本具体实施例中,真空系统结构安装时,启动自动伸缩杆10,使其带动真空炉体5下降,同时四个气动限位件11能够对其下降进行限位,使其只能沿竖直方向下降,避免了其下降时发生偏移,随着真空炉体5的下降,气动限位件11的活动端伸长,并通过连接管13将气动顶紧机构12的空气抽出,使得气动顶紧机构12的顶出端带动密封板9向承载台4移动,当真空炉体5与承载台4接触时,此时密封环6刚好卡入第一密封槽7中,气动顶紧机构12将密封板9顶入第二密封槽8中,保证了真空系统结构安装后的气密性,避免了其工作时漏
气,影响其真空系数。
24.具体的,真空炉体的顶端中部与顶板的中部之间安装有用于带动其升降的自动伸缩杆,气动限位件与气动顶紧机构的数量相同。
25.自动伸缩杆为电动伸缩杆或者液压伸缩杆,气动限位件为气动伸缩杆。
26.具体的,气动顶紧机构包括至少固定安装在工作台顶部且两个沿密封板长度方向均布的气缸。
27.优选的,进一步的,气缸靠近气动限位件的一端与气动限位件的顶部之间安装有用于两者之间连通的连接管。
28.进一步的,气缸的活动端与密封板的外壁固定连接,多个气缸靠近密封板的一端之间连通有连通管。
29.优选的,密封环以及密封板均由橡胶材料支撑。
30.进一步的,工作台的顶部四角与顶板的底部四角之间均固定安装有用于对顶板进行支撑的支撑柱。
31.在本发明的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
32.对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
33.此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
再多了解一些

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