一种半导体加工部件电弧溶射专用保护治具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体加工部件电弧溶射专用保护治具。


背景技术：

2.半导体加工即半导体加工技术，半导体技术是指半导体加工的各种技术，包括晶圆的生长技术、薄膜沉积、光刻、蚀刻、掺杂技术和工艺整合等技术。在半导体加工时，常用到电弧溶射技术。电弧溶射是利用燃烧于两根连续送进的金属丝之间的电弧来熔化金属，用高速气流把熔化的金属雾化，并对雾化的金属粒子加速使它们喷向工件形成涂层的技术。电弧溶射是钢结构防腐蚀、耐磨损和机械零件维修等实际应用工程中最普遍使用的一种热喷涂方法。
3.然而在加工时，为了避免金属喷涂在半导体加工部件边缘，需要将边缘进行保护，常用的方法是使用胶带将其边缘粘贴起来，加工完毕将胶带去除，操作较为不便，且粘贴胶带容易偏移，导致加工速率较慢。
4.针对上述问题。为此，提出一种半导体加工部件电弧溶射专用保护治具。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种半导体加工部件电弧溶射专用保护治具，在对半导体加工部件进行溶射加工时，可将原料放置在夹持板内部，可将两侧的夹持板拉开，由于伸缩弹簧的作用力带动夹持板向中部移动，进而将半导体加工部件固定住，固定完毕之后转动两侧夹持板内部的传动螺杆，进而螺纹安装的支撑连接件进行移动，带动弹性挡片移动到半导体加工部件的另一侧，将半导体加工部件的另一侧防护住，进而夹持板、活动板和弹性挡片的搭配将半导体加工部件的侧面进行保护遮挡，便于进行加工，使用方便，从而解决了上述背景技术中的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工部件电弧溶射专用保护治具，包括安装箱和设置在安装箱内部的活动板，所述活动板的上端活动安装有夹持板，夹持板的上端设置有活动安装的保护挡片；
7.所述夹持板的内侧设置有卡合件和设置在卡合件上端的活动口，夹持板的下端设置有活动件，活动件的一侧设置有伸缩弹簧。
8.优选的，所述活动板为一种呈l型的部件，活动板的上端设置有限位滑槽，活动件活动安装在限位滑槽内部。
9.优选的，所述夹持板设置有两组，且呈对称状安装在活动板的上端，一侧贴合活动板设置，另一侧通过保护挡片相连接。
10.优选的，所述保护挡片包括弹性挡片和设置在弹性挡片两侧的支撑连接件，支撑连接件与传动螺杆螺纹连接。
11.优选的，所述支撑连接件与活动口大小相匹配，传动螺杆活动安装在活动口内部。
12.优选的，所述活动板的下端设置有固定件，固定件的中部设置有传动齿槽。
13.优选的，所述安装箱的一侧设置有活动盖，安装箱的内部设置有固定槽，安装箱的内部设置有移动单元。
14.优选的，所述移动单元包括传动齿轮和设置在传动齿轮一侧的从动齿轮，从动齿轮的一侧设置有驱动齿轮，驱动齿轮与驱动电机相连接。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
16.1、本实用新型提出的一种半导体加工部件电弧溶射专用保护治具，在对半导体加工部件进行溶射加工时，可将原料放置在夹持板内部，可将两侧的夹持板拉开，由于伸缩弹簧的作用力带动夹持板向中部移动，进而将半导体加工部件固定住，固定完毕之后转动两侧夹持板内部的传动螺杆，进而螺纹安装的支撑连接件进行移动，带动弹性挡片移动到半导体加工部件的另一侧，将半导体加工部件的另一侧防护住，进而夹持板、活动板和弹性挡片的搭配将半导体加工部件的侧面进行保护遮挡，便于进行加工，使用方便。
17.2、本实用新型提出的一种半导体加工部件电弧溶射专用保护治具，在进行溶射操作时，可启动安装箱内部的驱动电机带动驱动齿轮进行旋转，驱动齿轮带动从动齿轮进行旋转，进而带动一侧固定安装的传动齿轮进行旋转，进而带动传动齿槽进行移动，进而将活动板从安装箱内部移动出来，缓慢移动的活动板带动半导体加工部件移动，方便进行加工，且可以控制外露部分的长度，方便进行溶射操作。
附图说明
18.图1为本实用新型的整体结构示意图；
19.图2为本实用新型的夹持板安装结构示意图；
20.图3为本实用新型的夹持板结构示意图；
21.图4为本实用新型的保护挡片结构示意图；
22.图5为本实用新型的活动板下端结构示意图；
23.图6为本实用新型的安装箱结构示意图；
24.图7为本实用新型的移动单元结构示意图。
25.图中：1、安装箱；11、活动盖；12、固定槽；2、活动板；21、限位滑槽；22、固定件；23、传动齿槽；3、夹持板；31、卡合件；32、活动口；33、活动件；34、伸缩弹簧；4、保护挡片；41、弹性挡片；42、支撑连接件；43、传动螺杆；5、移动单元；51、传动齿轮；52、从动齿轮；53、驱动齿轮。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.为了解决如何方便对半导体加工部件边缘进行保护的技术问题，如图1-4所示，提供以下优选技术方案：
28.一种半导体加工部件电弧溶射专用保护治具，包括安装箱1和设置在安装箱1内部
的活动板2，活动板2为一种呈l型的部件，活动板2的上端设置有限位滑槽21，活动板2的上端活动安装有夹持板3，夹持板3的上端设置有活动安装的保护挡片4，夹持板3设置有两组，且呈对称状安装在活动板2的上端，一侧贴合活动板2设置，另一侧通过保护挡片4相连接。
29.夹持板3的内侧设置有卡合件31和设置在卡合件31上端的活动口32，夹持板3的下端设置有活动件33，活动件33活动安装在限位滑槽21内部，活动件33的一侧设置有伸缩弹簧34。
30.保护挡片4包括弹性挡片41和设置在弹性挡片41两侧的支撑连接件42，支撑连接件42与活动口32大小相匹配，传动螺杆43活动安装在活动口32内部，支撑连接件42与传动螺杆43螺纹连接。
31.具体的，在对半导体加工部件进行溶射加工时，可将原料放置在夹持板3内部，可将两侧的夹持板3拉开，由于伸缩弹簧34的作用力带动夹持板3向中部移动，进而将半导体加工部件固定住，固定完毕之后转动两侧夹持板3内部的传动螺杆43，进而螺纹安装的支撑连接件42进行移动，带动弹性挡片41移动到半导体加工部件的另一侧，将半导体加工部件的另一侧防护住，进而夹持板3、活动板2和弹性挡片41的搭配将半导体加工部件的侧面进行保护遮挡，便于进行加工，使用方便。
32.为了解决如何方便带动半导体加工部件进行移动的技术问题，如图5-7所示，提供以下优选技术方案：
33.活动板2的下端设置有固定件22，固定件22的中部设置有传动齿槽23。
34.安装箱1的一侧设置有活动盖11，安装箱1的内部设置有固定槽12，安装箱1的内部设置有移动单元5。
35.移动单元5包括传动齿轮51和设置在传动齿轮51一侧的从动齿轮52，从动齿轮52的一侧设置有驱动齿轮53，驱动齿轮53与驱动电机相连接。
36.具体的，在进行溶射操作时，可启动安装箱1内部的驱动电机带动驱动齿轮53进行旋转，驱动齿轮53带动从动齿轮52进行旋转，进而带动一侧固定安装的传动齿轮51进行旋转，进而带动传动齿槽23进行移动，进而将活动板2从安装箱1内部移动出来，缓慢移动的活动板2带动半导体加工部件移动，方便进行加工，且可以控制外露部分的长度，方便进行溶射操作。
37.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
38.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。