显示设备及其制造方法与流程

技术特征：
1.一种显示设备，所述显示设备包括：基底，包括显示区域和外围区域；以及垫单元，在所述外围区域处，所述垫单元包括：第一导电层；第二导电层，在所述第一导电层上，并具有第一开口；第三导电层，在所述第二导电层上，并具有与所述第一开口叠置的第二开口，所述第二开口具有比所述第一开口的在所述第二导电层的顶表面处的面积小的面积；有机保护层，填充所述第一开口，并具有与所述第二开口叠置的第三开口；以及附加金属层，覆盖所述第一导电层的通过所述第一开口暴露的顶表面、所述第二开口的内表面、所述第三开口的内表面以及所述第三导电层的顶表面的一部分。2.根据权利要求1所述的显示设备，其中，所述第二开口的所述内表面比所述第一开口的内表面朝向所述第二开口的中心突出得远。3.根据权利要求1所述的显示设备，其中，所述垫单元还包括在所述有机保护层与所述第二导电层之间的延迟膜。4.根据权利要求3所述的显示设备，其中，所述延迟膜包括硫和所述第二导电层中包括的金属的组合。5.根据权利要求4所述的显示设备，其中，所述第二导电层包括铜，并且所述延迟膜包括硫化铜。6.根据权利要求1所述的显示设备，其中，所述第一导电层、所述第二导电层和所述第三导电层在一个方向上延伸。7.根据权利要求6所述的显示设备，其中，所述第一导电层的外边缘、所述第二导电层的外边缘和所述第三导电层的外边缘彼此对准。8.根据权利要求1所述的显示设备，所述显示设备还包括在所述显示区域处的多个薄膜晶体管，所述多个薄膜晶体管中的每个包括源电极和漏电极，其中，所述源电极和所述漏电极中的每个包括包含与所述第一导电层的材料相同的材料的第一层、包含与所述第二导电层的材料相同的材料的第二层以及包含与所述第三导电层的材料相同的材料的第三层。9.根据权利要求8所述的显示设备，其中，所述第一导电层包括钛，所述第二导电层包括铜，并且所述第三导电层包括氧化铟锡。10.根据权利要求1所述的显示设备，其中，在所述第二开口的所述内表面与所述第三开口的所述内表面之间不存在台阶部分。11.根据权利要求1所述的显示设备，所述显示设备还包括：像素电极，在所述显示区域处；以及上绝缘层，在所述像素电极上，并且具有使所述像素电极的中心部分暴露的像素开口以及与所述第一开口叠置的第四开口。12.根据权利要求11所述的显示设备，其中，所述有机保护层包括与所述上绝缘层的材料相同的材料。13.根据权利要求1所述的显示设备，其中，所述附加金属层将所述第二导电层的位于所述第一开口的一侧处的部分电连接到所述第二导电层的位于所述第一开口的另一侧处的部分。14.根据权利要求1所述的显示设备，其中，所述附加金属层包括银或钨。
15.一种制造显示设备的方法，所述方法包括：在基底的显示区域处形成多个薄膜晶体管；在所述基底的外围区域处形成垫单元，所述垫单元包括第一导电层、第二导电层和第三导电层；遍及所述多个薄膜晶体管形成像素电极材料层；通过使所述像素电极材料层图案化来形成像素电极，以形成在所述第二导电层的一部分中的第一开口以及在所述第三导电层的一部分中的与所述第一开口叠置的第二开口；在所述垫单元之上形成有机材料层以填充所述第一开口；在所述像素电极上形成上绝缘层，所述上绝缘层具有使所述像素电极的中心部分暴露的像素开口以及与所述第一开口叠置的第四开口；通过使所述有机材料层图案化来形成填充所述第一开口的有机保护层，所述有机保护层具有与所述第一开口叠置的第三开口；以及形成附加金属层，所述附加金属层覆盖所述第一导电层的通过所述第一开口暴露的顶表面、所述第二开口的内表面、所述第三开口的内表面以及所述第三导电层的顶表面的一部分。16.根据权利要求15所述的方法，所述方法还包括通过所述有机保护层和所述第二导电层的彼此反应而在所述有机保护层与所述第二导电层之间的接触部分处形成延迟膜。17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述延迟膜包括硫和所述第二导电层中包括的金属的组合。18.根据权利要求17所述的方法，其中，所述第二导电层包括铜，并且所述延迟膜包括硫化铜。19.根据权利要求15所述的方法，其中，所述多个薄膜晶体管中的每个包括源电极和漏电极，并且其中，所述源电极和所述漏电极中的每个包括包含与所述第一导电层的材料相同的材料的第一层、包含与所述第二导电层的材料相同的材料的第二层以及包含与所述第三导电层的材料相同的材料的第三层。20.根据权利要求19所述的方法，其中，所述第一导电层包括钛，所述第二导电层包括铜，并且所述第三导电层包括氧化铟锡。21.根据权利要求15所述的方法，其中，在所述第二开口的所述内表面与所述第三开口的所述内表面之间不存在台阶部分。22.根据权利要求15所述的方法，其中，所述附加金属层将所述第二导电层的位于所述第一开口的一侧处的部分电连接到所述第二导电层的位于所述第一开口的另一侧处的部分。23.根据权利要求15所述的方法，其中，所述附加金属层包括银或钨。

技术总结
提供了一种显示设备及其制造方法。所述显示设备包括：基底，包括显示区域和外围区域；以及垫单元，在外围区域处，垫单元包括：第一导电层；第二导电层，在第一导电层上，并具有第一开口；第三导电层，在第二导电层上，并具有与第一开口叠置的第二开口，第二开口具有比第一开口的在第二导电层的顶表面处的面积小的面积；有机保护层填充第一开口，并具有与第二开口叠置的第三开口；以及附加金属层，覆盖第一导电层的通过第一开口暴露的顶表面、第二开口的内表面、第三开口的内表面以及第三导电层的顶表面的一部分。的一部分。的一部分。


技术研发人员：梁伸赫 姜东汉 洪淳旭 金有珍 金志训 尹汉熙
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2021.08.19
技术公布日：2022/6/14