干式真空泵及制造方法与流程

技术特征：
1.一种干式真空泵(1)，具有定子(2)和容纳在所述定子(2)的至少一个压缩室(3)中的两个转子(5)，所述转子(5)构造成沿相反方向同步旋转，以便驱动要在所述真空泵(1)的进气口(4)和排气口之间泵送的气体，其特征在于，所述转子(5)和所述定子(2)的压缩室(3)涂覆有含磷9％-14％且厚度(e)大于20μm的镍-磷涂层(11)，该镍-磷涂层(11)已经经过硬化热处理，该硬化热处理包括在1小时以上的处理持续时间(d)上的加热到250℃以上的处理温度(t)的步骤(102)，以便具有大于700hv的硬度。2.根据前一项权利要求所述的真空泵(1)，其特征在于，所述处理持续时间(d)在8小时以上。3.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述处理持续时间(d)在15小时以下。4.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述硬度在800hv与1000hv之间。5.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述处理温度(t)低于350℃。6.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述镍-磷涂层(11)含磷10％至13％。7.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述镍-磷涂层(11)的厚度(e)小于或等于60μm，例如25μm /-5μm。8.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述真空泵(1)具有至少两个泵级(1a-1e)，每个泵级限定一压缩室(3)，连续的泵级(1a-1e)的压缩室(3)通过设置在所述定子(2)的主体(9)中的至少一个级间通道(8)串联连接，所述级间通道(8)也设置有镍-磷涂层(11)。9.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述镍-磷涂层(11)覆盖所述真空泵(1)的所有可能与要泵送的气体接触的壁。10.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述定子(2)的主体(9)和所述转子(5)的主体(10)由铸铁或钢制成。11.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述真空泵(1)构造成以40hz以上的频率旋转。12.一种用于制造干式真空泵(1)的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：-在定子(2)的内壁上和转子(5)的壁上沉积镍-磷涂层(11)，该镍-磷涂层(11)含9％-14％的磷并具有大于20μm的厚度(e)，以及-通过在1小时以上的处理持续时间(d)上的加热到250℃以上的处理温度(t)的步骤(102)，对所述定子(2)和所述转子(5)的镍-磷涂层(11)进行热处理，以便具有大于700hv的硬度，例如在800hv与1000hv之间的硬度。13.根据前一项权利要求所述的用于制造真空泵(1)的方法，其特征在于，所述处理持续时间(d)在8小时以上和/或15小时以下。14.根据权利要求12和13中任一项所述的用于制造真空泵(1)的方法，其特征在于，所述硬化热处理包括至少一个升温步骤(101)，在该升温步骤期间，温度设定点以1℃/min到3℃/min之间的升温速率从环境温度升高到所述处理温度(t)。
15.根据权利要求12至14中任一项所述的用于制造真空泵(1)的方法，其特征在于，利用将所述定子(2)的主体(9)和所述转子(5)的主体(10)浸入的技术来沉积所述镍-磷涂层(11)。

技术总结
一种干式真空泵，具有定子(2)和容纳在定子(2)的至少一个压缩室(3)中的两个转子(5)，这些转子(5)构造成沿相反方向同步旋转，以便驱动要在真空泵的进气口和排气口之间泵送的气体。转子(5)和定子(2)的压缩室(3)涂覆有含磷9％-14％且厚度大于20μm的镍-磷涂层(11)，该镍-磷涂层(11)已经经过硬化热处理，该硬化热处理包括在1小时以上的处理持续期间内的加热到250℃以上的处理温度的步骤，以便具有大于700HV的硬度。的硬度。的硬度。


技术研发人员：L
受保护的技术使用者：普发真空公司
技术研发日：2020.09.24
技术公布日：2022/6/10