一种用于质谱仪的正弦波形射频电源

技术特征：
1.一种用于质谱仪的正弦波形射频电源，其特征在于，包括：第一射频发生器(1)、第一射频功率放大器(2)、第二射频发生器(3)、第二射频功率放大器(4)以及耦合电路(5)；所述第一射频发生器(1)连接至所述第一射频功率放大器(2)，所述第一射频发生器(1)输出rf信号rf1，所述第一射频功率放大器(2)将所述信号rf1放大并输出至所述耦合电路(5)；所述第二射频发生器(3)连接至所述第二射频功率放大器(4)，所述第二射频发生器(3)输出rf信号rf2，所述第二射频功率放大器(4)将所述信号rf2放大并输出至所述耦合电路(5)；所述耦合电路(5)接收第一、第二放大器的放大信号并耦合直流电压，耦合射频电压和直流电压并施加于质谱仪内传输四极杆(6)的极杆上，所述第一射频发生器的将调控所述极杆的射频电压，所述第二射频发生器(3)将调控所述极杆的射频电压。2.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪的正弦波形射频电源，其特征在于，所述第一功率放大器(2)及所述第二功率放大器(4)分别接收第一射频发生器(1)与第二射频发生器(3)的射频信号；通过放大功率为100mv-500mv的射频信号至40v-200v，经过所述耦合电路(5)通过直流源v1施加直流电平，最终施加在所述极杆上；rf电压信号均可以通过计算机调控：达到相位范围为0～2π，射频频率在射频发生器范围为0.1～5mhz，幅值在功率放大器范围为0～1000v，时序范围为100ms～1000ms；所述耦合电路(5)采用同一直流电压进行控制，使两传输四极杆负载上的直流电平相同。3.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪的正弦波形射频电源，其特征在于，所述耦合电路(5)为了减少电路交错和导线带来的阻抗干扰，所述耦合电路(5)采用完全的镜像对称设置。4.根据权利要求1所述的根据权利要求1所述的一种用于质谱仪的正弦波形射频电源，其特征在于，所述极杆为质谱仪中传输四极杆；所述极杆的长度为10-15cm，并在1-10pa的气压下进行工作。

技术总结
本发明提供一种用于质谱仪的正弦波形射频电源，包括：第一射频发生器、第一射频功率放大器、第二射频发生器、第二射频功率放大器以及耦合电路；所述第一射频发生器连接至所述第一射频功率放大器，所述第一射频发生器输出RF信号RF1，所述第一射频功率放大器将所述信号RF1放大并输出至所述耦合电路；所述第二射频发生器连接至所述第二射频功率放大器，所述第二射频发生器输出RF信号RF2，所述第二射频功率放大器将所述信号RF2放大并输出至所述耦合电路。本发明提供一种为质谱仪中的传输四杆极两对极杆施加反向的任意的波形的射频源。设计了简洁的结构，安装简便，可靠性高等特点，适合为质谱仪传输四极杆提供准确射频电压。为质谱仪传输四极杆提供准确射频电压。为质谱仪传输四极杆提供准确射频电压。


技术研发人员：李海洋 文宇轩 陈平 王祯鑫 曹艺雪 陈懿
受保护的技术使用者：中国科学院大连化学物理研究所
技术研发日：2020.12.09
技术公布日：2022/6/10