一种便于上料的晶圆探针台的制作方法

1.本技术涉及微电子技术领域，尤其是涉及一种便于上料的晶圆探针台。


背景技术：

2.探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试。随着科技的发展，元器件的体积越来越小，通常将多个元器件集成于晶圆上以形成待测件，方便后续进行检测。检测方式通常为：用带电的探针来导通待检测元器件的正负极，再根据元器件的工作情况来判断被检测的元器件是否合格。
3.目前，在实现本技术过程中，发明人发现该技术中至少存在如下问题，在进行晶圆测试前，需要将装有晶圆的晶圆盒放入探针台的机箱内，机箱的一侧设有机械手，机械手抓取晶圆盒中的晶圆进行下一步的检测工作。而现有技术中的机箱通常为具有一定深度的机箱，需要工作人员手动深入放置晶圆盒，操作不便。


技术实现要素：

4.本技术的目的在于提供一种便于上料的晶圆探针台，以解决上述背景技术中提出现有的探针台机箱过深且需要工作人员手动深入放置晶圆盒，操作不便的问题。
5.为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：包括探针台主体与机箱，所述机箱内上下分别开设有晶圆盒容置腔与机动腔，所述晶圆盒容置腔内两侧竖直安装有两个丝杠，所述丝杠的下端伸入所述机动腔内，所述机动腔内水平安装有同时与两个所述丝杠下端啮合传动的驱动轴，所述驱动轴连接有电机，且所述晶圆盒容置腔内水平设置有套于两个所述丝杠之间的升降板，所述升降板的上端面两侧对称构造有两个侧护板，两个所述侧护板相向的一侧均弹性安装有夹持板。
6.优选的，所述电机安装于机动腔内，所述电机的机轴固定有主动链轮，且所述驱动轴上固定有从动链轮，所述从动链轮与所述主动链轮之间连接有传动链带。
7.通过上述技术方案，使得电机可能通过传动链带来带动驱动轴转动。
8.优选的，两个所述侧护板远离彼此的一侧中部均固定有驱动块，所述驱动块上开设有供所述丝杠螺纹贯穿的通孔。
9.通过上述技术方案，使得丝杠可带动升降板进行升降移动。
10.优选的，两个所述夹持板的顶部对称构造有两个抵接部，两个所述抵接部朝向远离彼此的一侧倾斜，形成敞口形结构。
11.优选的，所述晶圆盒容置腔的顶部设有与所述检测台上端面连通的端口，所述端口处安装有门盖，且所述晶圆盒容置腔的上端口内对称固定有两个与所述抵接部抵接配合的抵接杆。
12.优选的，所述侧护板朝向所述夹持板的一侧固定有多个固定柱，所述固定柱远离所述夹持板的一端活动插接有与所述夹持板固定的活动柱。
13.优选的，所述固定柱与所述活动柱上共同套有弹簧，所述弹簧的两端分别固定于
所述侧护板与所述夹持板上。
14.通过上述技术方案，使夹持板弹性安装于侧护板上。
15.优选的，所述探针台主体与机箱的侧面连接，且所述探针台主体的上端面安装有检测台，所述检测台上设有晶圆探针板。
16.综上，本技术的技术效果和优点：该便于上料的晶圆探针台，得益于丝杠、驱动轴、电机以及升降板的配合，可通过驱使两个丝杠同时转动来带动升降板在晶圆盒容置腔内进行升降，从而方便工作人员从晶圆盒容置腔的端口将晶圆盒放置于升降板上，然后通过升降板带入晶圆盒容置腔内，操作简单，一定程度上减轻了工作人员的劳动强度；
17.且得益于侧护板、夹持板、抵接部以及抵接杆的配合，当升降板升至晶圆盒容置腔的端口时，抵接杆会抵接抵接部从而将两个夹持板之间的间距撑大，而当升降板下降时，则两个夹持板则会相向移动，方便对放置于升降板上的晶圆盒进行自动夹持固定，上料方便。
附图说明
18.图1是本技术的结构示意图；
19.图2是本技术的机箱的内部结构示意图；
20.图3是本技术的升降板与夹持板配合的结构示意图；
21.图4是本技术的图2中a处结构的放大示意图。
22.附图标记说明：
23.1、探针台主体；2、检测台；3、机箱；4、晶圆盒容置腔；5、门盖；6、机动腔；7、驱动轴；701、从动链轮；8、电机；801、主动链轮；802、传动链带；9、丝杠；10、升降板；11、侧护板；12、驱动块；13、固定柱；14、活动柱；15、弹簧；16、夹持板；1601、抵接部；17、抵接杆。
具体实施方式
24.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
25.参照图1、图2与图3，一种便于上料的晶圆探针台，包括探针台主体1与机箱3，机箱3内上下分别开设有晶圆盒容置腔4与机动腔6，晶圆盒容置腔4内两侧竖直设置有两个丝杠9，两个丝杠9旋转安装于晶圆盒容置腔4内，同时，丝杠9的下端伸入机动腔6内，而机动腔6内水平安装有同时与两个丝杠9下端通过齿轮啮合传动的驱动轴7，驱动轴7连接有电机8，具体实施时，如图4所示，电机8安装于机动腔6内，电机8的机轴固定有主动链轮801，而驱动轴7上固定有从动链轮701，从动链轮701与主动链轮801之间连接有传动链带802，使得电机8可通过传动链带802来驱使驱动轴7进行转动，以驱使丝杠9进行转动。
26.如图2与图3所示，晶圆盒容置腔4内水平设置有套于两个丝杠9之间的升降板10，升降板10的上端面两侧对称构造有两个侧护板11，两个侧护板11相向的一侧均弹性安装有夹持板16，具体为，两个侧护板11远离彼此的一侧中部均固定有驱动块12，驱动块12上开设有供丝杠9螺纹贯穿的通孔，从而将升降板10安装于两个丝杠9之间，而侧护板11朝向夹持板16的一侧固定有多个固定柱13，固定柱13远离夹持板16的一端活动插接有与夹持板16固
定的活动柱14，固定柱13与活动柱14上共同套有弹簧15，弹簧15的两端分别固定于侧护板11与夹持板16上，从而将夹持板16弹性安装于侧护板11上。
27.同时，两个夹持板16的顶部对称构造有两个抵接部1601，两个抵接部1601朝向远离彼此的一侧倾斜，形成敞口形结构，而晶圆盒容置腔4的顶部设有与检测台2上端面连通的端口，端口处安装有门盖5，且晶圆盒容置腔4的上端口内对称固定有两个与抵接部1601抵接配合的抵接杆17，抵接杆17能够沿着抵接部1601的斜面滑动抵接，从而将两个夹持板16撑开，以便于将晶圆盒放置于两个夹持板16之间，方便夹持板16在失去抵接杆17的抵接时，会自动将晶圆盒进行夹持固定。
28.如图1所示，探针台主体1与机箱3的侧面连接，且探针台主体1的上端面安装有检测台2，检测台2内设有晶圆探针板，可对晶圆进行检测。
29.工作原理，该便于上料的晶圆探针台，使用时，可启动电机8来带动驱动轴7转动，从而驱使晶圆盒容置腔4内的两个丝杠9进行转动，以带动升降板10在晶圆盒容置腔4内进行升降。当升降板10升至晶圆盒容置腔4的上端口时，抵接杆17会抵接抵接部1601的斜面，将两个夹持板16之间的间距撑大，此时，方便工作人员直接在晶圆盒容置腔4的上端口处将晶圆盒放置于升降板10上的两个夹持板16之间，而随着升降板10的下降，抵接部1601与抵接杆17脱离，则两个夹持板16会在弹簧15的作用下相向移动，以将晶圆盒进行夹持固定，操作简单，上料方便，在一定程度上减轻了工作人员的劳动强度。
30.最后应说明的是：以上仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。