一种光刻机用边胶去除装置的制作方法

1.本实用新型是一种光刻机用边胶去除装置，属于芯片加工技术领域。


背景技术：

2.光致抗蚀剂在旋转涂覆过程中在芯片边缘的堆积，形成边胶，通常将存在有边胶的芯片在推动设备的驱动下使芯片通过安装有刀片的导向结构，刀片沿着导向结构移动过程中刀片将芯片边缘处的边胶去除，但导向结构的结构固定，其宽度不能根据芯片的宽度进行调整，只适用于单一宽度的芯片，适用范围单一，通用性不足。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种光刻机用边胶去除装置，以解决上述背景技术中提出芯片的导向结构的结构固定，其宽度不能根据芯片的宽度进行调整，只适用于单一宽度的芯片，适用范围单一，通用性不足的问题，本实用新型实现根据芯片的宽度调整导向结构的宽度，扩大适应范围，提高通用性。
4.为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种光刻机用边胶去除装置，包括用于限制芯片移动路径的导轨，所述导轨横截面为c字形，所述导轨一侧面开设有条形口，所述条形口内安装有可拆卸的用于去除芯片上边胶的切刀件，所述导轨背离条形口的一侧设有用于限制芯片另一端位置的l型板，所述l型板面向导轨的一面中部位置固定连接有方形杆，所述方形杆安插在方形管内，所述方形杆通过夹紧螺丝固定在方形管内，所述方形管远离方形杆的一端与导轨固定连接。
5.进一步地，所述切刀件包括条形框，所述条形框安插在条形口内，所述条形框的两端均固定连接有连板，所述连板通过螺丝与导轨固定连接，所述条形框内均匀安装有多个倾斜布置的刀片。
6.进一步地，所述方形管安装夹紧螺丝的位置处开设有螺纹孔，所述夹紧螺丝螺纹连接在螺纹孔内。
7.进一步地，所述方形杆面向夹紧螺丝的一面安装有橡胶条，所述橡胶条沿着方形杆的长度方向布置。
8.进一步地，所述橡胶条面向方形杆的一面等距固定有多个与橡胶条一体成型的橡胶头，所述方形杆面向橡胶条的一面等距开设有多个与橡胶头相配合的销孔，所述橡胶头安插在销孔内并与销孔过盈配合。
9.进一步地，所述导轨开设条形口的一面下部位置固定连接有条形板，所述条形板上表面对称开设有两个用于安装螺丝的固定孔。
10.进一步地，所述条形板上侧设有与条形板存在一定间距的限位板，所述限位板与导轨固定连接，所述限位板上表面对称开设有两个与固定孔相对齐的圆孔。
11.进一步地，所述导轨的两端均固定连接有用于托举芯片的第一支撑条，所述l型板的两端均固定连接有用于托举芯片的第二支撑条。
12.本实用新型的有益效果：
13.1、当l型板与导轨之间的间距不满足芯片宽度的要求时，调整方形杆在方形管内的位置，直至l型板与导轨之间的间距符合芯片的需要，然后利用夹紧螺丝固定方形杆在方形管内的位置，实现便捷调整l型板与导轨之间间距的目的，达到根据芯片的宽度调整导向结构的宽度，扩大适应范围，提高通用性。
14.2、在导轨的两端安装第一支撑条以及在l型板的两端安装第二支撑条，从而实现在芯片进出导轨与l型板形成的导向结构的过程中对芯片进行支撑。
15.3、利用螺丝将导轨固定在支撑载体上时，将螺丝依次穿过限位板上的圆孔和条形板上的固定孔，进而在限位板的支撑作用下，固定导轨位置的螺丝一部分处于裸露状态，为后期采用锯断的方式处理难以拧动的螺丝。
附图说明
16.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
17.图1为本实用新型一种光刻机用边胶去除装置的结构示意图；
18.图2为本实用新型一种光刻机用边胶去除装置中a处放大图；
19.图3为本实用新型一种光刻机用边胶去除装置中刀片与导轨的装配示意图；
20.图4为本实用新型一种光刻机用边胶去除装置中橡胶条与方形杆的装配示意图；
21.图中：1-导轨、2-方形管、3-方形杆、4-l型板、5-第一支撑条、6-第二支撑条、7-橡胶条、8-夹紧螺丝、9-条形框、10-条形板、11-刀片、12-连板、13-固定孔、14-限位板、15-圆孔、16-销孔、17-橡胶头。
具体实施方式
22.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
23.请参阅图1和图3，本实用新型提供一种技术方案：一种光刻机用边胶去除装置，包括用于限制芯片移动路径的导轨1，导轨1横截面为c字形，导轨1一侧面开设有条形口，条形口内安装有可拆卸的条形框9，条形框9的两端均固定连接有连板10，连板10通过螺丝与导轨1固定连接，条形框9内均匀安装有多个倾斜布置的刀片11，利用螺丝将连板10固定在导轨1上后，完成条形框9位置的固定，当芯片从导轨1与l型板4形成的导向结构中通过时，刀片11将芯片边缘处的边胶去除。
24.参阅图1和图2，导轨1背离条形口的一侧设有用于限制芯片另一端位置的l型板4，l型板4面向导轨1的一面中部位置固定连接有方形杆3，方形杆3安插在方形管2内，方形杆3通过夹紧螺丝8固定在方形管2内，方形管2远离方形杆3的一端与导轨1固定连接，方形管2安装夹紧螺丝8的位置处开设有螺纹孔，夹紧螺丝8螺纹连接在螺纹孔内，螺纹孔为夹紧螺丝8提供安装空间，便于夹紧螺丝8与方形管2的螺纹连接，当l型板4与导轨1之间的间距不满足芯片宽度的要求时，调整方形杆3在方形管2内的位置，直至l型板4与导轨1之间的间距符合芯片的需要，然后利用夹紧螺丝8固定方形杆3在方形管2内的位置，实现便捷调整l型板4与导轨1之间间距的目的，达到根据芯片的宽度调整导向结构的宽度，扩大适应范围，提
高通用性。
25.参阅图1、图2和图4，方形杆3面向夹紧螺丝8的一面安装有橡胶条7，橡胶条7沿着方形杆3的长度方向布置，橡胶条7面向方形杆3的一面等距固定有多个与橡胶条7一体成型的橡胶头17，方形杆3面向橡胶条7的一面等距开设有多个与橡胶头17相配合的销孔16，橡胶头17安插在销孔16内并与销孔16过盈配合，将橡胶头17安插在销孔16内后，完成橡胶条7与方形杆3的插接，便于后期对受损的橡胶条7进行更换，在拧紧夹紧螺丝8时，夹紧螺丝8首先挤压橡胶条7，从而增加夹紧螺丝8与方形杆3之间的摩擦系数，提高夹紧螺丝8固定方形杆3位置的稳定性。
26.参阅图3，导轨1开设条形口的一面下部位置固定连接有条形板12，条形板12上表面对称开设有两个用于安装螺丝的固定孔13，条形板12上侧设有与条形板12存在一定间距的限位板14，限位板14与导轨1固定连接，限位板14上表面对称开设有两个与固定孔13相对齐的圆孔15，利用螺丝将导轨1固定在支撑载体上时，将螺丝依次穿过限位板14上的圆孔15和条形板12上的固定孔13，进而在限位板14的支撑作用下，固定导轨1位置的螺丝一部分处于裸露状态，为后期采用锯断的方式处理难以拧动的螺丝。
27.参阅图1，导轨1的两端均固定连接有用于托举芯片的第一支撑条5，l型板4的两端均固定连接有用于托举芯片的第二支撑条6，在导轨1的两端安装第一支撑条5以及在l型板4的两端安装第二支撑条6，从而实现在芯片进出导轨1与l型板4形成的导向结构的过程中对芯片进行支撑。
28.虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。