1.本实用新型涉及防震脚技术领域，具体是一种用于半导体生产设备安装用的防震脚。
背景技术：
2.半导体制造一般对环境要求都比较高，特别是对地震引起的振动；由于地震的震动会对设备产生水平方向和垂直方向的加速度；由于设备一般情况下是直接安装在地板上，没有对设备的脚进行相应的固定措施，所以当发生地震时，设备会在水平方向和垂直方向受到地震加速度，从而使设备产生水平方向以及垂直方向的移动，从而会损坏设备以及导致设备生产出来的产品的质量受到影响。
3.传统固定方式为z字形固定片，但仅仅是通过一体成型的z型结构，其强度不够，有的是在内外两侧添加加强筋，但是因加强筋设计不合理，其强度提高不大。
技术实现要素：
4.实用新型的目的在于提供一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，以解决上述背景技术中存在的问题。
5.本实用新型的技术方案是这样实现的：
6.一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，包括u型卡槽和安装孔，所述防震脚整体呈z型结构，所述u型卡槽开设于防震脚z型结构的上部中间位置，所述安装孔为两个，并列开设于防震脚z型结构的下部位置，所述防振脚z型结构的中间部位的外侧焊接有外侧加强筋板，所述防振脚z型结构的中间部位的内侧两端分别焊接有内侧加强筋板。
7.进一步地，所述防振脚由不锈钢板整体加工成z型结构。
8.进一步地，所述外侧加强筋板呈三角形，位于两个安装孔之间。
9.进一步地，所述内侧加强筋板呈三角形，内侧加强筋板的上边长度与防震脚z型结构的上部长度一致。
10.本实用新型的有益效果为：
11.本实用新型通过设计三块加强筋板有效提高了防震脚的强度，尤其内侧两块加强筋板的设计，大大提高了防震脚上部的抗折强度，避免防震脚出现折弯等问题，大大提高了防震脚的防震能力，且防震脚结构简单，成本低，安装方便。
附图说明
12.图1为本实用新型的立体结构示意图。
13.图2为本实用新型的放倒后的结构示意图。
14.图3为本实用新型的安装结构示意图。
15.图中1-u 型卡槽，2-外侧加强筋板，3-安装孔，4-内侧加强筋版，5-螺栓，6-半导体生产设备，7-底座，8-基座。
具体实施方式
16.下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.如图1-3所示，一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，包括u型卡槽1和安装孔3，所述防震脚整体呈z型结构，所述u型卡槽1开设于防震脚z型结构的上部中间位置，所述安装孔3为两个，并列开设于防震脚z型结构的下部位置，所述防振脚z型结构的中间部位的外侧焊接有外侧加强筋板2，所述防振脚z型结构的中间部位的内侧两端分别焊接有内侧加强筋板4。
18.所述防振脚由不锈钢板整体加工成z型结构。
19.所述外侧加强筋板2呈三角形，位于两个安装孔3之间。
20.所述内侧加强筋板4呈三角形，内侧加强筋板4的上边长度与防震脚z型结构的上部长度一致。
21.防震脚安装时，将半导体生产设备6安装于基座8上部，防振脚的u型卡槽1与底座7固定连接，将螺栓5穿过防震脚的安装孔3与基座8栓接固定。
22.本实用新型通过设计三块加强筋板有效提高了防震脚的强度，尤其内侧两块加强筋板的设计，大大提高了防震脚上部的抗折强度，避免防震脚出现折弯等问题，大大提高了防震脚的防震能力，且防震脚结构简单，成本低，安装方便。
23.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
技术特征：
1.一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，包括u型卡槽和安装孔，其特征在于，所述防震脚整体呈z型结构，所述u型卡槽开设于防震脚z型结构的上部中间位置，所述安装孔为两个，并列开设于防震脚z型结构的下部位置，所述防震脚z型结构的中间部位的外侧焊接有外侧加强筋板，所述防震脚z型结构的中间部位的内侧两端分别焊接有内侧加强筋板。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，其特征在于，所述防震脚由不锈钢板整体加工成z型结构。3.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，其特征在于，所述外侧加强筋板呈三角形，位于两个安装孔之间。4.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，其特征在于，所述内侧加强筋板呈三角形，内侧加强筋板的上边长度与防震脚z型结构的上部长度一致。
技术总结
本实用新型提供一种用于半导体生产设备安装用的防震脚，包括U型卡槽和安装孔，所述防震脚整体呈Z型结构，所述U型卡槽开设于防震脚Z型结构的上部中间位置，所述安装孔为两个，并列开设于防震脚Z型结构的下部位置，所述防振脚Z型结构的中间部位的外侧焊接有外侧加强筋板，所述防振脚Z型结构的中间部位的内侧两端分别焊接有内侧加强筋板。本实用新型通过设计三块加强筋板有效提高了防震脚的强度，尤其内侧两块加强筋板的设计，大大提高了防震脚上部的抗折强度，避免防震脚出现折弯等问题，大大提高了防震脚的防震能力，且防震脚结构简单，成本低，安装方便。安装方便。安装方便。
技术研发人员：赵小江 刘国东 王宁
受保护的技术使用者：大连地拓电子工程技术有限公司
技术研发日：2022.01.27
技术公布日：2022/6/2
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