一种新型电极驱动结构及MEMS开关

技术特征：
1.一种新型电极驱动结构，其特征在于，包括：基底；设于所述基底上表面的滑动部件；用于驱动所述滑动部件的驱动部件，且驱动部件的位置不低于所述基底的上表面，所述驱动部件驱动所述滑动部件在所述基底的上表面滑动。2.如权利要求1所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述驱动部件位于所述滑动部件的两侧。3.如权利要求1所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述驱动部件位于所述滑动部件的上方；相应的，还包括设于所述基底上表面且与所述驱动部件连接的支撑部件。4.如权利要求1所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述驱动部件设于所述滑动部件的两端，且所述滑动部件于所述驱动部件之间运动。5.如权利要求3所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述支撑部件为绝缘部件。6.如权利要求3所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述支撑部件和所述驱动部件为一体式驱动部件。7.如权利要求1所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述驱动部件包括两个驱动组件，每个所述驱动组件包括至少两个驱动电极。8.如权利要求1至7任一项所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述滑动部件与所述基底上表面之间超滑接触。9.如权利要求8所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述滑动部件包括至少一个超滑片。10.如权利要求8所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述基底上表面的预设区域为超滑面，其中所述预设区域为整个上表面区域或者所述滑动部件往复滑动的区域。11.一种mems开关，其特征在于，所述mems开关包括如权利要求1至10任一项所述的新型电极驱动结构。

技术总结
本申请公开了一种新型电极驱动结构，包括基底；设于所述基底上表面的滑动部件；用于驱动所述滑动部件的驱动部件，且驱动部件的位置不低于所述基底的上表面，所述驱动部件驱动所述滑动部件在所述基底的上表面滑动。本申请的驱动结构中滑动部件设置在基底的上表面，驱动部件的位置不低于基底的上表面，即驱动部件并不设置在基底内部，驱动部件在驱动滑动部件在基底上表面滑动时，驱动部件和滑动部件之间的力并不会施加在滑动部件朝向基底的方向上，滑动部件在更小的驱动力作用下就可以实现更快速地驱动。此外，本申请还提供一种MEMS开关。本申请还提供一种MEMS开关。本申请还提供一种MEMS开关。


技术研发人员：李闯 向小健 聂锦辉 胡恒谦 郑泉水
受保护的技术使用者：深圳清华大学研究院
技术研发日：2021.11.30
技术公布日：2022/6/1