洗涤器用燃烧器的制作方法

1.本发明涉及一种安装在处理在电子工业过程期间产生的废气的洗涤器上的燃烧器。


背景技术：

2.在诸如半导体生产工艺、lcd生产工艺和oled生产工艺的电子工业过程期间产生的废气由voc、pfc气体、水分和其它外来物质的混合物构成。前述废气在半导体刻蚀工艺期间和在化学吸附过程期间大量产生，并且包含促进全球变暖的气体。另外，已知前述废气中包含的ppc气体在处理期间难以分解。前述废气中包含的pfc气体通过使用加热方法、吸附方法和等离子体方法的洗涤器来处理。
3.前述加热方法洗涤器可以包括：燃烧器，其通过产生火焰来加热废气；反应室，其附接到燃烧器的下部以进行燃烧和反应以产生副产物颗粒；以及水箱，其位于反应室的下部的一侧处以收集副产物颗粒和含水废气。前述燃烧器通过使用供应的氧化剂和燃料两者形成火焰，并且通过加热废气来分解废气。前述废气可能根据过程而在排放的气体的类型和体积方面不同。
4.因此，前述燃烧器有必要根据废气的类型形成适当的火焰，以便更高效地燃烧废气。


技术实现要素：

5.本发明试图解决的问题本发明的目的是提供一种在燃烧废气的过程中可以减少一氧化碳和氮氧化物的产生的洗涤器燃烧器。
6.解决问题的方法根据本发明的洗涤器用燃烧器包括：第一喷嘴，其配备有呈管的形状的第一主体；第二喷嘴，其配备有第二主体，以包裹前述第一主体的外圆周；第三喷嘴，其配备有第三本体，该第三本体定位成包裹在前述第二主体的外圆周周围。
7.另外，对于根据本发明的洗涤器用燃烧器，前述第一喷嘴可以喷射氧化剂，前述第二喷嘴可以喷射燃料或由燃料和氧化剂构成的混合气体，并且前述第三喷嘴可以喷射氧化剂或由燃料和氧化剂构成的混合气体。这里，从前述第一喷嘴喷射的氧化剂可以与从前述第三喷嘴喷射的氧化剂在氧含量方面不同。
8.另外，本发明的洗涤器燃烧器可以配备有：第一通道，其形成在前述第一主体内部，并且从前述第一喷嘴喷射的氧化剂流过该第一通道；第二通道，其形成在前述第一主体的外圆周和前述第二主体的内圆周之间，并且从前述第二喷嘴喷射的燃料或由燃料和氧化剂构成的混合气体流过该第二通道；以及第三通道，其形成在第二主体的外圆周和第三本体的内圆周之间，并且氧化剂或由燃料和氧化剂构成的混合气体流过该第三通道。
9.另外，根据本发明的洗涤器用燃烧器可以定位成使得前述第一主体、第二主体和
第三本体可以具有相同的中心轴线。
10.另外，对于根据本发明的洗涤器用燃烧器，前述第一主体、第二主体和第三本体的下端部可以位于相同的高度处。
11.另外，对于根据本发明的洗涤器用燃烧器，前述第一主体、第二主体和第三本体的下端部可以位于不同的高度处。
12.另外，对于根据本发明的洗涤器用燃烧器，前述第一主体的下端部和前述第二主体的下端部可以位于相同的高度处，并且前述第三本体的下端部可以定位成比前述第一主体的下端部和前述第二主体的下端部更低。
13.另外，根据本发明的洗涤器用燃烧器还可以包括：第一分离部件，其位于前述第一主体和前述第二主体之间，以保持前述第一主体和前述第二主体之间的分离距离；以及第二分离部件，其位于前述第二主体和前述第三本体之间，以保持前述第二主体和前述第三本体之间的分离距离。
14.另外，前述第一分离部件和第二分离部件可以由多孔材料构成。
15.发明效果根据废气的类型，根据本发明的洗涤器用燃烧器可以通过改变供应到定位在内部的第一喷嘴的氧化剂的类型和供应到位于外侧处的第三喷嘴的氧化剂的类型来提高火焰稳定性，并减少排放的一氧化碳和氮氧化物的产生。
16.另外，对于根据本发明的洗涤器用燃烧器，由于位于外侧处的第三喷嘴的端部比位于内侧的喷嘴向下突出更多的事实，可以防止由于流入火焰的废气引起的火焰不稳定。
17.另外，对于根据本发明的洗涤器用燃烧器，通过对位于外侧处的第三喷嘴使用耐腐蚀材料，有可能防止废气的腐蚀。
18.另外，对于根据本发明的洗涤器用燃烧器，由于由多孔材料构成的分离部件支撑喷嘴的事实，喷嘴之间的空间恒定地保持，使得燃料和氧化剂被恒定地供应，并且可以恒定地形成火焰。
附图说明
19.图1是根据本发明的实施例的洗涤器用燃烧器的竖直剖视图。
20.图2是图1的a-a的水平剖视图。
21.图3是图1的b-b的水平剖视图。
22.图4是根据本发明的另一个实施例的洗涤器用燃烧器的竖直剖视图。
23.图5是根据本发明的实施例的与洗涤器用燃烧器一起安装的洗涤器的局部竖直剖视图。
具体实施方式
24.下面，将通过参考附图和实施例来详细地描述根据本发明的实施例的洗涤器用燃烧器。
25.首先，将描述根据本发明的实施例的洗涤器用燃烧器。
26.图1是根据本发明的实施例的洗涤器用燃烧器的竖直剖视图。图2是图1的a-a的水平剖视图。图3是图1的b-b的水平剖视图。图4是根据本发明的另一个实施例的洗涤器用燃
烧器的竖直剖视图。
27.当我们参考图1至图3时，根据本发明的实施例的洗涤器用燃烧器(10)包括第一喷嘴(110)、第二喷嘴(120)和第三喷嘴(130)。前述洗涤器用燃烧器(10)还可以包括第一分离部件(140)和第二分离部件(150)。前述洗涤器用燃烧器(10)可以形成为三管的形状，其具有第一喷嘴(110)、第二喷嘴(120)和第三喷嘴(130)，它们具有相同的中心轴线。前述洗涤器用燃烧器(10)安装有洗涤器，以处理由半导体工艺产生的废气，从而能够燃烧废气。
28.前述洗涤器用燃烧器(10)可以根据被处理的废气的类型从第一喷嘴(110)、第二喷嘴(120)和第三喷嘴(130)选择性地喷射燃料和氧化剂。例如，前述第一喷嘴(110)可以喷射氧化剂，第二喷嘴(120)可以喷射燃料，并且第三喷嘴(130)可以喷射氧化剂。另外，由前述第一喷嘴喷射的氧化剂的氧含量和由第三喷嘴喷射的氧化剂的氧含量可以不同。例如，从前述第一喷嘴(110)喷射的氧化剂的氧含量可以大于从第三喷嘴(130)喷射的氧化剂的氧含量。在这种情况下，当由第二喷嘴(120)喷射的燃料膨胀时，前述洗涤器用燃烧器(10)可以与由第一喷嘴(110)喷射的氧化剂在内侧处稳定地形成火焰。另外，前述洗涤器用燃烧器(10)能够利用由第三喷嘴(130)喷射的氧化剂稳定地保持火焰。另外，由前述第一喷嘴喷射的氧化剂的氧含量可以相对小于由第三喷嘴喷射的氧化剂的氧含量。
29.另外，前述第一喷嘴(110)可以喷射氧化剂，并且前述第二喷嘴(120)和前述第三喷嘴(130)可以喷射燃料。在这种情况下，利用前述洗涤器用燃烧器(10)，由第一喷嘴(110)喷射的氧化剂与由第二喷嘴(120)和第三喷嘴(130)喷射的燃料接触以形成火焰。特别地，前述洗涤器用燃烧器(10)能够随着燃料在氧化剂在内侧处被喷射的方向上膨胀而在相对内侧处形成稳定的火焰。
30.另外，前述第一喷嘴(110)可以喷射氧化剂，并且第二喷嘴(120)和第三喷嘴(130)可以在混合燃料和氧化剂后喷射它们。另外，前述第一喷嘴(110)和第三喷嘴(130)可以喷射氧化剂，并且第二喷嘴(120)可以混合燃料和氧化剂并喷射它们。在这种情况下，利用前述洗涤器用燃烧器(10)，由于部分燃料在被喷射之前预先与氧化剂混合的事实，有可能减少氮氧化物的产生。
31.对于前述氧化剂，可以使用氧、cda、空气、氧 空气、氧 cda、氧 氮、cda 氮、空气 氮、或氧 空气 氮。另外，对于前述燃料，可以使用氢(h2)、甲烷(ch4)、丙烷(c3h8)、天然气(ch4 c3h8 等)。另外，对于前述燃料，可以使用所有类型的烃类燃料(c
nhm
)。
32.在下面的描述中，内部、内侧或内圆周是指图1中朝向第一喷嘴(110)的中心轴线的方向或一侧，并且外部、外侧或外圆周是指相反的方向或一侧。此外，上侧或顶部是指图1中朝向上部的方向或一侧，并且下侧或底部是指图1中朝向下部的方向或一侧。
33.前述第一喷嘴(110)可以包括第一主体(111)和第一供应管(113)。前述第一喷嘴(110)可以位于洗涤器用燃烧器(10)的最内侧处。前述第一喷嘴(110)可以喷射氧化剂。前述第一喷嘴(110)可以形成氧化剂流过的第一通道(110a)。
34.前述第一主体(111)可以形成为上部和下部开放的管的形状。前述第一主体(111)可以具有形成在内侧的第一通道(110a)。前述第一主体(111)可以具有第一内径、第一外径和第一高度。前述第一主体(111)的上部和下部可以具有相同的第一内径。另外，前述第一主体(111)可以具有在上部和下部处相同的第一直径。即，前述第一主体(111)可以形成为直线管的形状。前述第一内径可以根据喷射的氧化剂的量确定适当的直径。即，前述第一内
径可以确定为与氧化剂流动所需的第一通道(110a)的水平横截面积相对应的直径。
35.对于前述第一主体(111)，第一外径根据必要的强度水平和耐热水平来确定，并且可以形成有适当的厚度。前述第一高度可以根据在其上安装洗涤器用燃烧器(10)的洗涤器的结构适当地确定。前述第一主体(111)可以以下部由平坦表面构成的方式形成。前述第一主体(111)可以由诸如不锈钢的耐腐蚀的金属材料构成。前述第一主体(111)可以与诸如f和cl的材料接触，并且可以由耐腐蚀材料构成。
36.前述第一供应管(113)可以是具有与第一主体(111)的内径相同的内径的管。根据洗涤器用燃烧器(10)形成的位置，前述第一供应管(113)可以形成为直线或曲线。前述第一供应管(113)的下端部与第一主体(111)的上端部连接，并且向第一主体(111)供应从外部供应的氧化剂。
37.前述第二喷嘴(120)可以包括第二主体(121)、第二密封环(122)和第二供应管(123)。前述第二喷嘴(120)可以在洗涤器用燃烧器(10)处位于第一喷嘴(110)的外侧处。前述第二喷嘴(120)可以形成第二通道(120a)，燃料或氧化剂或两者可以流过该第二通道。前述第二喷嘴(120)可以仅喷射由燃料和氧化剂构成的混合气体的燃料。
38.前述第二主体(121)可以形成为上部和下部开放的管的形状。前述第二主体(121)可以具有第二内径、第二外径和第二高度。前述第二主体(121)可以具有对于上部和下部相同的第二内径。另外，前述第二主体(121)可以具有对于上部和下部相同的外径。即，前述第二主体(121)可以形成为直线管的形状。前述第二直径可以大于第一主体(111)的第一外径。
39.前述第二主体(121)可以位于第一主体(111)的外侧处，使得中心轴线位于与第一主体(111)的中心轴线相同的位置。例如，前述第二主体(121)可以与第一主体(111)结合，以便形成以水平截面为基准点的与第一主体(111)同心的圆。前述第二主体(121)可以被定位成完全包裹第一主体(111)的外圆周，以便形成第二通道(120a)。即，前述第一主体(111)可以插入前述第二主体(121)的内部。另外，前述第二通道(120a)可以通过第一主体(111)的外圆周与第二主体(121)的内圆周之间的空间而形成。因此，前述第二内径可以根据喷射的燃料或混合气体的量并且根据第一主体(111)的外径适当地确定。即，前述第二内径可以通过第二通道(120a)的水平横截面积和第一外径确定。前述第二通道(120a)提供由通过第二喷嘴(120)喷射的燃料或由燃料和氧化剂构成的混合气体流过的通道。
40.另外，前述第二高度可以根据在其上安装洗涤器用燃烧器(10)的洗涤器的结构适当地确定。前述第二高度可以低于第一主体(111)的第一高度。前述第二主体(121)可以以下端部由平坦表面构成的方式形成。另外，前述第二主体(121)可以与第一主体(111)结合，使得下端部位于与第一主体(111)的下端部的高度相同的高度处。因此，前述第二主体(121)的上端部可以位于比第一主体(111)的上端部的位置低的位置处。前述第二主体(121)的第二外径根据必要的强度水平和耐热水平来确定，并且可以形成有适当的厚度。前述第二主体(121)可以由诸如不锈钢的耐腐蚀的金属材料形成。由于前述第二主体(121)可以与诸如f和cl的材料接触的事实，它可以由耐腐蚀材料形成。
41.前述第二密封环(122)可以包括第二穿透孔(122a)。前述第二密封环(122)可以形成为具有与第二主体(121)的第二内径或第二外径相对应的直径的板形状。前述第二穿透孔(122a)可以形成为具有对应于第一主体(111)的第一外径的直径。前述第二密封环(122)
密封第二主体(121)的上端部，并提供第一主体(111)插入其中的通道。前述第一主体(111)通过第二穿透孔(122a)插入到第二主体(121)的内侧以结合。
42.前述第二供应管(123)可以是具有一定内径的管。对于前述第二供应管(123)，一个端部可以与第二主体(121)的上部结合，以便与第二通道(120a)连接。根据洗涤器用燃烧器(10)形成的位置，前述第二供应管(123)可以形成直线或曲线。前述第二供应管(123)向第二主体(121)供应从外部供应的燃料或混合气体。
43.前述第三喷嘴(130)可以包括第三主体(131)、第三密封环(132)和第三供应管(133)。第三喷嘴可以位于洗涤器用燃烧器(10)上的第二喷嘴(120)的外侧处。前述第三喷嘴(130)可以形成第三通道(130a)，燃料和氧化剂中的至少一者流过该第三通道。前述第三喷嘴(130)可以仅喷射燃料，或者可以喷射由燃料和氧化剂构成的混合气体。
44.前述第三主体(131)可以形成为上部和下部开放的管的形状。前述第三主体(131)可以具有第三内径、第三外径和第三高度。前述第三主体(131)可以具有在上部和下部处相同的内径。另外，前述第三主体(131)可以具有在上部和下部处相同的外径。即，前述第三主体(131)可以形成为直线管的形状。前述第三内径可以大于第二主体(121)的外径。前述第三主体(131)可以定位在第二主体(121)的外侧处，以便其轴线位于与第一主体(111)的中心轴线相同的位置处。例如，前述第二主体(121)可以插入第三主体(131)的内侧。另外，前述第三主体(131)可以与第二主体(121)结合，以便形成以水平截面为基准点的与第一主体(111)和第二主体(121)同心的圆。
45.前述第三主体(131)的内圆周可以被定位成包裹第二主体(121)的整个外圆周，以形成第三通道(130a)。前述第三通道(130a)可以形成为在第二主体(121)的外圆周与第三主体(131)的内圆周之间的空间。因此，前述第三内径可以根据喷射的燃料或混合气体的量并且根据第二主体(121)的外径适当地确定。即，第三直径可以根据第三通道(130a)的水平横截面积和第二外径来确定。前述第三通道(130a)提供由通过第三喷嘴(130)喷射的氧化剂或由燃料和氧化剂构成的混合气体流过的通道。
46.另外，前述第三高度可以根据在其上安装洗涤器用燃烧器(10)的洗涤器的结构适当地确定。前述第三高度可以低于第二主体(121)的第二高度。前述第三主体(131)可以以下端部形成平坦表面的方式形成。另外，前述第三主体(131)可以与第二主体(121)结合，使得下端部具有与第一主体(111)的下端部和第二主体(121)的下端部相同的高度。前述第三主体(131)可以定位成比第二主体(121)的上端部更低。
47.另一方面，根据另一个实施例，当我们参考图4时，前述第三主体(131)的下端部可以低于第一主体(111)的下端部和第二主体(121)的下端部。此时，前述第一主体(111)和第二主体(121)可以位于相同的高度处。前述第三主体(131)可以通过包裹形成的火焰的外侧来拦截废气流入形成火焰的区域。因此，前述洗涤器用燃烧器(10)可以防止火焰被半导体工艺中供应的废气熄灭。特别地，即使在其中前述半导体工艺中供应的废气中包含显著量的氮的情况下，也可以防止火焰的熄灭。
48.另外，虽然没有具体地图示，但是前述洗涤器用燃烧器(10)对于第一主体(111)、第二主体(121)和第三主体(131)的下端部可以具有不同的高度，以通过预先混合燃料和氧化剂来提高燃烧效率，或者通过燃料的反向膨胀来提高燃烧效率。
49.前述第三主体(131)的第三外径根据必要的强度和耐热水平来确定，并且第三主
体可以形成有适当的厚度。前述第三主体(131)可以由诸如不锈钢的耐腐蚀的金属材料形成。前述第三主体(131)可以由耐腐蚀材料形成，因为它可能与诸如f和cl的材料接触。
50.前述第三密封环(132)可以包括第三穿透孔(132a)。前述第三密封环(132)可以由具有与第三主体(131)的第三内径或第三外径相对应的直径的板形成。前述第三穿透孔(132a)可以形成为具有对应于第二主体(121)的第二外径的直径。前述第三密封环(132)提供通道，第二主体(121)通过该通道插入同时密封第三主体(131)的上端部。前述第二主体(121)通过第三穿透孔(132a)插入第三主体(131)的内侧。
51.前述第三供应管(133)可以形成为具有一定内径的管。前述第三供应管(133)的一个端部可以在与第三主体(131)的上部结合的同时连接到第三通道(130a)。根据洗涤器用燃烧器(10)形成的位置，前述第三供应管(133)可以形成为直线或曲线。前述第三供应管(133)向第三主体(131)供应从外部供应的燃料或混合气体。
52.前述第一分离部件(140)呈块、条或板的形状，并且可以形成有与第一主体(111)和第二主体(121)之间的距离相对应的长度或宽度。前述第一分离部件(140)可以形成为与第一主体(111)的外径和第二主体(121)的外径之间的距离相对应的长度。在这种情况下，前述第一分离部件(140)的内端部可以与第一主体(111)的外圆周接触，并且外端部可以结合，使得外端部通过穿透第二主体(121)暴露于外圆周。另外，前述第一分离部件(140)可以形成为与第一主体(111)的外径和第二主体(121)的内径之间的距离相对应的长度。在这种情况下，前述第一分离部件(140)的内端部可以与第一主体(111)的外圆周接触，其外端部可以与第二主体(121)的内圆周接触。前述第一分离部件(140)的内端部可以是与第一主体(111)的外径或内径相对应的圆弧的形状，并且外端部可以形成为与第二主体(121)的内径或外径相对应的圆弧的形状。
53.前述第一分离部件(140)可以由多孔材料形成。例如，前述第一分离部件(140)可以由诸如多孔板、珠、多孔泡沫、烧结板、金属纤维和填充床的材料构成。
54.前述第一分离部件(140)中的一个或多个可以通过根据第一主体(111)的高度方向分离而定位。另外，前述第一分离部件(140)中的至少两个可以通过沿着第一主体(111)的周向方向彼此分离而定位。前述第一分离部件(140)通过支撑第一主体(111)和第二主体(121)来保持第一主体(111)和第二主体(121)之间的分离距离。更具体地，前述第一分离部件(140)的内侧和外侧分别与第一主体(111)和第二主体(121)结合，使得第一主体(111)的外圆周与第二主体(121)的内圆周之间的空间保持一致。
55.前述第二分离部件(150)呈块、条或板的形状，并且可以形成有与第二主体(121)和第三主体(131)之间的距离相对应的长度或宽度。前述第二分离部件(150)可以形成为与第二主体(121)的外径和第三主体(131)的外径之间的距离相对应的长度。在这种情况下，前述第二分离部件(150)可以以其内侧端部与第二主体(121)的外圆周接触并且外侧端部穿透第三主体(131)并暴露于外圆周的方式结合。另外，前述第二分离部件(150)可以形成为与第二主体(121)的外径和第三主体(131)的内径之间的距离相对应的长度。在这种情况下，前述第二分离部件(150)的内侧端部可以与第二主体(121)的外圆周接触，并且外侧端部可以与第三主体(131)的内圆周接触。前述第二分离部件(150)的内侧端部可以形成为与第二主体(121)的外径或内径相对应的圆弧的形状，并且外侧端部可以形成为与第三主体(131)的内径或外径相对应的圆弧的形状。
56.前述第二分离部件(150)可以由多孔材料形成。例如，前述第二分离部件(150)可以由诸如多孔板、珠、多孔泡沫、烧结板、金属纤维和填充床的材料形成。
57.前述第二分离部件(150)中的一个或多个可以通过沿着第二主体(121)的高度方向分离而定位。另外，前述第二分离部件(150)中的至少两个可以沿着第二主体(121)的周向方向彼此分离地定位。前述第二分离部件(150)通过支撑第二主体(121)和第三主体(131)来保持第二主体(121)和第三主体(131)之间的分离距离。更具体地，前述分离部件(150)的内侧和外侧分别与第二主体(121)和第三主体(131)结合，以保持第二主体(121)的外圆周与第三主体(131)的内圆周之间的距离恒定。
58.前述洗涤器用燃烧器(10)可以以第一主体(111)、第二主体(121)和第三主体(131)可以彼此分离的方式结合。例如，前述第二主体(121)的第二密封环(122)可以以可分离的方式结合到第一主体(111)的外圆周。另外，前述第三主体(131)的第三密封环(132)可以与第二主体(121)的外圆周结合而可分离。另外，前述第一分离部件(140)和前述第二分离部件(150)可以分别与第一主体(111)和第二主体(121)或与第二主体和第三主体(131)结合。因此，在前述洗涤器用燃烧器(10)的任何一个主体变得严重腐蚀的情况下，有可能仅通过更换适用的主体来降低总维护成本。
59.另外，前述洗涤器用燃烧器(10)可以通过调节从第一喷嘴(110)和第三喷嘴(130)喷射的氧化剂而在富燃料燃烧的条件下形成部分氧化火焰。因此，前述洗涤器用燃烧器(10)可以通过使用由部分氧化火焰产生的氢自由基来增加nf3和cf
4 dre(%)。
60.另外，通过根据由半导体生产工艺排放的废气的类型(例如pfc气体的类型)区分从第一喷嘴(110)和第二喷嘴(120)喷射的氧化剂的类型，前述洗涤器用燃烧器(10)可以通过调节火焰的温度和强度来增加pfc气体的dre(%)。
61.另外，通过使用具有减少量的氧或氮的混合气体用于从第一喷嘴(110)或第三喷嘴(130)喷射的氧化剂，前述洗涤器用燃烧器(10)有可能减少在燃烧过程期间排放的一氧化碳的量和氮氧化物的量。
62.将概要地描述在其上安装根据本发明的实施例的洗涤器用燃烧器的洗涤器。
63.图5是在其上安装根据本发明的实施例的洗涤器用燃烧器的洗涤器部分的局部竖直剖视图。
64.前述洗涤器可以通过包括燃烧器(10)、壳体(20)和废气流入管(30)来形成。前述洗涤器能够处理从半导体生产工艺排放的废气。前述洗涤器的壳体(20)和废气流入管(30)可以形成为不同的结构，并且图5中图示的结构是说明性结构。
65.尽管前述洗涤器未图示，但是它可以位于壳体(20)的下部处，并且还可以包括燃烧废气的燃烧室和水箱。
66.由于前述壳体(20)和前述废气流入管(30)是由洗涤器使用的一般结构，因此这里将省略具体描述。
67.前述洗涤器用燃烧器(10)可以形成为根据上述图1至图4的洗涤器用燃烧器(10)。
68.当洗涤器用燃烧器(10)中形成火焰时，前述洗涤器能够通过经废气流入管(30)引入废气来燃烧废气。此时，从前述废气流入管(30)流入的废气在与火焰接触后可以通过被加热而燃烧。
69.前述描述仅仅是体现根据本发明的洗涤器用燃烧器的实施例。本发明不受前述实
施例的限制。如在下面的权利要求书部分中要求保护的，在本发明所属领域中具有普通知识水平的人能够在不偏离本发明的要旨的情况下做出各种改变的范围由本发明的技术精神所涵盖。
70.部件的描述110: 第一喷嘴111: 第一主体113: 第一供应管120: 第二喷嘴121: 第二主体122: 第二密封环123: 第二供应管130: 第三喷嘴131: 第三主体132: 第三密封环133: 第三供应管140: 第一分离部件150: 第二分离部件。