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一种水平式多硅片中转机构的制作方法

2022-06-01 01:56:41 来源:中国专利 TAG:


1.本发明涉及硅片生产技术领域,尤其是一种水平式多硅片中转机构。


背景技术:

2.在光伏行业应用中,转运半成品镀膜硅片的翻面,现在最常用的方法是采用机械手和吸盘抓取,由机械手进行翻转后放入一个装置中,再从另一面进行取出,以达到翻面的目的;但这种吸盘抓取的方法容易对硅片造成污染和留下痕迹,从而影响后续工艺的加工效果,也会对成品的成型效果造成一定的影响。


技术实现要素:

3.本发明的目的是为了解决上述技术问题,而提供一种水平式多硅片中转机构。
4.本发明的技术方案:一种水平式多硅片中转机构,包括:
5.型材架;
6.放置板,设置在所述型材架上,所述放置板上设置有若干个通槽;
7.若干个夹持机构,其包括两个固定板、两个驱动装置和若干个夹杆,所述夹杆上设置有卡槽,两个所述固定板对置设置,每两个所述夹杆为一组设置在所述固定板上且该两个所述夹杆上的卡槽互相垂直,所述驱动装置倾斜一定角度的设置在所述放置板上用于驱动所述固定板移动。
8.优选的,所述驱动装置相对所述放置板呈45度角。
9.优选的,所述固定板一侧具有向外延伸的突出部。
10.优选的,还包括若干个辅助支撑装置,设置在所述放置板上用于对所述固定板移动起到导向和支撑作用。
11.优选的,所述辅助支撑装置包括导轨和移动块,所述移动块可滑动地设置在所述导轨上,所述导轨倾斜一定角度的设置在所述放置板上。
12.优选的,所述导轨相对所述放置板呈45度角。
13.优选的,所述固定板上设置有若干个避让槽。
14.本发明的有益效果是:本发明采用模拟人的手指方式固定硅片的四个边角,以达到夹住的目的,同时对硅片进行校正动作,且在与硅片接触时,最大限度的减少对硅片的磨损,使抓取时对硅片不造成污染,减少不良率;一个驱动装置可以同时定位两个夹杆方向的位置,解决了空间受限问题,减少了气缸的使用数量,用最简单的方式,以最大限度解决了硅片在翻面过程中的磨损、表面刮花、破裂等问题的出现;可实现一次性水平放置多片,且能同时满上下两面进行取放,提高转运效率和灵活性。
附图说明
15.图1是本发明优选实施例的整体结构立体图;
16.图2是本发明优选实施例的整体结构主视图;
17.图3是本发明优选实施例中放置板设置在型材架上立体图;
18.图4是本发明优选实施例中夹持机构立体图;
19.图5是图4中a处局部放大图;
20.图6是硅片放置在机构上示意图。
21.附图标记:型材架10、放置板2、通槽21、夹持机构3、固定板31、突出部311、避让槽312、驱动装置32、夹杆33、卡槽331、辅助支撑装置4、导轨41、移动块42。
具体实施方式
22.下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
23.参照图1至图6,一种水平式多硅片中转机构,包括:
24.型材架10;
25.放置板2,设置在型材架10上,放置板2上设置有若干个通槽21;
26.若干个夹持机构3,其包括两个固定板31、两个驱动装置32和若干个夹杆33,夹杆33上设置有卡槽331,两个固定板31对置设置,每夹杆33为一组设置在固定板31上且该两个夹杆33上的卡槽331互相垂直,驱动装置32倾斜一定角度的设置在放置板2上用于驱动所述固定板31移动。本发明中,原始位两个固定板31处于张开状态,当外部抓手抓取硅片从上面放在两个固定板31之间后,两个驱动装置32动作分别带动固定板31在通槽21内运动,使两个固定板31靠近,一个固定板31上的一组夹杆33与另一个固定板31上的一组夹杆33配合,卡槽331卡住硅片的侧边,实现四个夹杆33的配合将一个硅片固定,当需要将硅片从两个固定板31取出时,另外的外部抓手从型材架10底部抓住硅片,两个驱动装置32动作使两个固定板31远离,实现将硅片取出。具体的,驱动装置32为气缸,固定板31通过螺栓可拆卸地设置在气缸上;放置板2通过隔板分成两个区域;夹杆33上设置有防护垫,在与硅片接触时,最大限度的减少对硅片的磨损。
27.作为本发明的优选实施例,其还可具有以下附加技术特征:
28.本实施例中,驱动装置32相对放置板2呈45度角,两个夹杆33为一组且其上的卡槽331互相垂直,驱动装置32带动固定板31相对放置板2四十五度角运动,能同时使两个夹杆33的卡槽331与硅片侧边配合。
29.本实施例中,固定板31一侧具有向外延伸的突出部311,突出部311上设置有夹杆33,使夹杆33能对靠近硅片的中部进行固定,使硅片不会掉落。
30.本实施例中,还包括若干个辅助支撑装置4,设置在放置板2上用于对固定板31移动起到导向和支撑作用。
31.本实施例中,辅助支撑装置4包括导轨41和移动块42,移动块42可滑动地设置在导轨41上,导轨41倾斜一定角度的设置在放置板2上。具体的,固定板31通过螺栓可拆卸地设置在放置板2上。
32.本实施例中,导轨41相对所述放置板2呈45度角。
33.本实施例中,固定板31上设置有若干个避让槽312,便于外部抓手抓取硅片,不会
产生干涉。
34.需要说明的是,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个
……”
限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
35.尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征:
1.一种水平式多硅片中转机构,其特征在于,包括:型材架(10);放置板(2),设置在所述型材架(10)上,所述放置板(2)上设置有若干个通槽(21);若干个夹持机构(3),其包括两个固定板(31)、两个驱动装置(32)和若干个夹杆(33),所述夹杆(33)上设置有卡槽(331),两个所述固定板(31)对置设置,每两个所述夹杆(33)为一组设置在所述固定板(31)上且该两个所述夹杆(33)上的卡槽(331)互相垂直,所述驱动装置(32)倾斜一定角度的设置在所述放置板(2)上用于驱动所述固定板(31)移动。2.根据权利要求1所述的一种水平式多硅片中转机构,其特征在于:所述驱动装置(32)相对所述放置板(2)呈45度角。3.根据权利要求1所述的一种水平式多硅片中转机构,其特征在于:所述固定板(31)一侧具有向外延伸的突出部(311)。4.根据权利要求1所述的一种水平式多硅片中转机构,其特征在于:还包括若干个辅助支撑装置(4),设置在所述放置板(2)上用于对所述固定板(31)移动起到导向和支撑作用。5.根据权利要求4所述的一种水平式多硅片中转机构,其特征在于:所述辅助支撑装置(4)包括导轨(41)和移动块(42),所述移动块(42)可滑动地设置在所述导轨(41)上,所述导轨(41)倾斜一定角度的设置在所述放置板(2)上。6.根据权利要求5所述的一种水平式多硅片中转机构,其特征在于:所述导轨(41)相对所述放置板(2)呈45度角。7.根据权利要求1所述的一种水平式多硅片中转机构,其特征在于:所述固定板(31)上设置有若干个避让槽(312)。

技术总结
本发明公开了一种水平式多硅片中转机构,包括:型材架;放置板,其上设置有若干个通槽;若干个夹持机构,其包括两个固定板、两个驱动装置和若干个夹杆,夹杆上设置有卡槽,每两个夹杆为一组设置在固定板上且该两个夹杆上的卡槽互相垂直,驱动装置倾斜一定角度的设置在放置板上用于驱动固定板移动。本发明采用模拟人的手指方式固定硅片的四个边角,以达到夹住的目的,同时对硅片进行校正动作,且在与硅片接触时,最大限度的减少对硅片的磨损,使抓取时对硅片不造成污染,减少不良率;一个驱动装置可以同时定位两个夹杆方向的位置,解决了空间受限问题,可实现一次性水平放置多片,且能同时满上下两面进行取放,提高转运效率和灵活性。性。性。


技术研发人员:刘翠翠 徐亮
受保护的技术使用者:江西汉可泛半导体技术有限公司
技术研发日:2022.03.03
技术公布日:2022/5/30
再多了解一些

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