一种嵌入式塑封模具用抽真空机构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体封装技术领域，具体为一种嵌入式塑封模具用抽真空机构。


背景技术：

2.半导体封装是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程，封装过程为:来自晶圆前道工艺的晶圆通过划片工艺后被切割为小的晶片，然后将切割好的晶片用胶水贴装到相应的基板(引线框架)架的小岛上，再利用超细的金属(金锡铜铝)导线或者导电性树脂将晶片的接合焊盘连接到基板的相应引脚，并构成所要求的电路，然后再对独立的晶片用塑料外壳加以封装保护，塑封之后还要进行一系列操作，封装完成后进行成品测试，通常经过入检、测试和包装等工序，最后入库出货。
3.现有模具模腔抽真空技术一般采用整体式，背面加工真空气道，塑封板直接放置在模腔上，真空气道分布在塑封板非塑封区域，即靠近边缘区域，因此中间区域无真空气道，使产品存在的轻微翘曲度差，导致产品与蜜桔模腔贴合度差，影响封装效果。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
5.为此，本实用新型所采用的技术方案为：
6.一种嵌入式塑封模具用抽真空机构，包括固定模具、窝镶条和气动增压头，所述固定模具的底部设有垫板，所述垫板内嵌装有调节柱，所述固定模具的底部设有底真空气道；所述窝镶条设置于固定模具上，所述窝镶条与固定模具四周留有侧真空气道，且所述侧真空气道与所述底真空气道贯通；所述气动增压头设置于所述固定模具上，所述气动增压头贯通连接于所述侧真空气道。
7.通过采用上述技术方案，采用镶嵌式模型模腔窝镶条结构，在中间塑封区域增加真空气道，克服了产品轻微翘曲的问题，使产品整个底面都很好的被吸附在窝镶条上面，提高了塑封产品品质。
8.本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述窝镶条比固定模具的型面值低0.005mm。
9.通过采用上述技术方案，可以根据产品需求调整型面高度，实用性较高。
10.本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述侧真空气道腔体的厚度值为0.05mm。
11.通过采用上述技术方案，可以将底真空气道与侧真空气道贯通，便于空气的抽取。
12.本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述垫板上均匀开设有圆孔，且所述调节柱位于该圆孔内，用于调节型面高度。
13.通过采用上述技术方案，可以按需将调节柱设置在垫板上，实用性较高。
14.本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述气动增压头等距分布在所述
固定模具的侧面，用于抽取所述侧真空气道内空气。
15.通过采用上述技术方案，可以采用多组气动增压头进行同步抽取，效率更高。
16.本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述垫板上还设有分布于所述圆孔侧的梯孔。
17.通过采用上述技术方案，可以便于模具的散热，合理性较高。
18.本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述气动增压头的底部连接有抽真空设备。
19.通过采用上述技术方案，可以利用真空泵设备进行自动抽取空气，效果较好。
20.本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
21.本实用新型通过采用镶嵌式模型模腔窝镶条结构，在中间塑封区域增加真空气道，克服了产品轻微翘曲的问题，使产品整个底面都很好的被吸附在窝镶条上面，提高了塑封产品品质。
附图说明
22.图1为本实用新型的拆分图；
23.图2为本实用新型的俯视图；
24.图3为本实用新型的侧剖图；
25.图4为本实用新型的侧视图。
26.附图标记：
27.1、固定模具；2、窝镶条；3、垫板；4、调节柱；5、气动增压头；6、底真空气道；7、侧真空气道。
具体实施方式
28.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
29.该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。
30.下面结合附图描述本实用新型的一些实施例提供的一种嵌入式塑封模具用抽真空机构。
31.结合图1-4所示，本实用新型提供的一种嵌入式塑封模具用抽真空机构，包括：固定模具1、窝镶条2和气动增压头5，固定模具1的底部设有垫板3，垫板3内嵌装有调节柱4，固定模具1的底部设有底真空气道6；窝镶条2设置于固定模具1上，窝镶条2与固定模具1四周留有侧真空气道7，且侧真空气道7与底真空气道6贯通；气动增压头5设置于固定模具1上，气动增压头5贯通连接于侧真空气道7。
32.具体的，本实用新型通过采用镶嵌式模型模腔窝镶条结构，在中间塑封区域增加真空气道，克服了产品轻微翘曲的问题，使产品整个底面都很好的被吸附在窝镶条上面，提高了塑封产品品质。
33.在该实施例中，窝镶条2比固定模具1的型面值低0.005mm，通过调节柱4方便调节窝镶条2的高度值，进而调节型面，侧真空气道7腔体的厚度值为0.05mm，气动增压头5等距
分布在固定模具1的侧面，用于抽取侧真空气道7内空气，通过底真空气道6与侧真空气道7贯通连接，可以实现全面抽取空气，快速形成真空状态，垫板3上均匀开设有圆孔，且调节柱4位于该圆孔内，用于调节型面高度，通过圆孔便于调节柱4的分布设置，按需使用即可。
34.另一方面，垫板3上还设有分布于圆孔侧的梯孔，通过该梯孔，便于模具的散热，合理性较高，并且气动增压头5的底部连接有抽真空设备，抽真空设备为真空泵设备。
35.本实用新型的工作原理及使用流程：首先将调节柱4按需设置在垫板3上，然后将固定模具1、窝镶条2和垫板3合模。通过气动增压头5连接的真空泵抽取底真空气道6和侧真空气道7内的空气，后续产品成型后产品整个底面都很好的被吸附在窝镶条2上面，品质较好。
36.在本实用新型中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接;“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
37.需要说明的是，当元件被称为“装配于”、“安装于”、“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
38.在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
39.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解，在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。