弧形玻璃真空磁控溅射镀膜的装置的制作方法

1.本实用新型属于玻璃镀膜技术领域，具体地说，涉及一种弧形玻璃真空磁控溅射镀膜的装置。


背景技术：

2.对于玻璃镀膜技术领域,常采用真空溅射镀膜、射频(rf)镀膜、磁控溅射镀膜、化学气相沉积(cvd)镀膜等，其中磁控溅射镀膜常用于镀制玻璃品种，被生产商广泛应用，磁控溅射镀膜有如下特点：
3.1)沉积速率高；
4.2)功率效率高；
5.3)工作参数有较大的调节范围，镀制的膜层厚度容易控制；
6.4)膜层厚度均匀，无液滴颗粒问题；
7.5)对磁控靶的形状无特殊要求，可根据需要进行设计；
8.6)通过调节参数可形成精确恒定的合金镀膜或金属反应膜，能满足高精度的要求；
9.镀膜工装作为镀膜设备其中的一个部件，其功能主要是起到承载玻璃、固定玻璃，获取合格的电学、光学性能的作用，目前对于平板玻璃，由于平板玻璃膜层沉积均匀性较高，电学性能稳定，工艺方法较为简单，其镀膜工装已趋于成熟，根据玻璃不同的尺寸和镀膜方式对平板镀膜工装进行相应的设计制造。但是对于弧形玻璃，镀膜工装的设计制造由于玻璃形状自身的限制以及磁控溅射的原理机制，导致其设计难度大大增加。
10.目前对于弧形玻璃镀膜工装存在许多不足之处；
11.1)玻璃表面加热保温均匀性较差且不能将玻璃表面完全放置在加热源导致沉积在玻璃表面膜层电学性能不稳定，良品率较低；
12.2)镀膜工装使用时间较长后易发生形变，导致玻璃与工装吻合度发生偏差，增加玻璃掉落隐患；
13.3)对于大弧形玻璃，镀膜设备运动系统与镀膜工装难以匹配，玻璃在镀膜过程中难以获得均匀的膜层；
14.4)对于不同尺寸、形状的玻璃，镀膜工装外形差异性较大，不能形成模块化式生产。
15.因此，目前急需一种能够解决不同形状的弧形玻璃在真空磁控溅射镀膜保温过程中热辐射不均匀、膜层沉积不均匀、工装易变形、不能形成模块化式生产的问题。


技术实现要素：

16.有鉴于此，本实用新型所要解决的技术问题是提供了一种弧形玻璃真空磁控溅射镀膜的装置，用于避免以往弧形玻璃镀膜在真空磁控溅射镀膜保温过程中热辐射不均匀、膜层沉积不均匀、工装易变形、不能形成模块化式生产的问题。
17.为了解决上述技术问题，本实用新型公开了一种弧形玻璃真空磁控溅射镀膜的装置，包括：
18.定型框架，定型框架架设于真空泵内，具有弧度支撑弧形玻璃的不锈钢板，不锈钢板中央具有容置弧形玻璃的不锈钢板卡槽，且不锈钢板卡槽周围焊接止抵弧形玻璃的限位块；
19.不锈钢挡板，不锈钢挡板固定于定型框架四周，且围设定型框架；
20.加热罩，加热罩对应不锈钢挡板，且位于定型框架上侧；
21.加热管，加热管安装于加热罩内，且对准下侧的弧形玻璃；
22.磁控溅射镀膜阴极，磁控溅射镀膜阴极位于定型框架下侧，且由运动系统驱动旋转。
23.根据本实用新型一实施方式，其中上述不锈钢板卡槽相对两侧分别焊接角铁，且角铁用于连接螺杆，螺杆通过拧动两端的螺母产生拉力，调整不锈钢板的弧度。
24.根据本实用新型一实施方式，其中上述不锈钢挡板设置有加强筋。
25.根据本实用新型一实施方式，其中上述不锈钢挡板高度高于弧形玻璃高度，且弧形玻璃由加热罩罩设。
26.根据本实用新型一实施方式，其中上述不锈钢板卡槽与弧形玻璃仿形，且根据弧形玻璃尺寸进行裁切。
27.根据本实用新型一实施方式，其中上述定型框架左右两侧还具有焊接不锈钢板的辅助钢板，辅助钢板周围固定不锈钢板挡板。
28.根据本实用新型一实施方式，其中上述运动系统设置为电机驱动的主轴，主轴连接磁控溅射镀膜阴极。
29.与现有技术相比，本实用新型可以获得包括以下技术效果：
30.1.制作镀膜工装的长度、宽度与加热罩尺寸一致；
31.2.镀膜工装四周采用不锈钢挡板进行焊接，且紧靠在加热罩下方，提高保温效率,且工装将玻璃完全定位在加热罩内；
32.3.镀膜工装卡槽采用螺杆控制与玻璃吻合度，可自行调节，不易变形；
33.4.对于不同尺寸弧形玻璃，工装可进行模块化式生产，阴极运动轨迹可根据不同形状进行调整；
34.采用此装置解决了弧形玻璃在真空磁控溅射镀膜保温过程中玻璃表面受热不均匀，工装易变形，工装外形差异性大的问题，能在工作现场根据不同弧形玻璃进行模块化式生产。
35.当然，实施本实用新型的任一产品必不一定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
附图说明
36.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
37.图1是本实用新型实施例的弧形玻璃真空磁控溅射镀膜的装置示意图；
38.图2是本实用新型实施例的定型框架俯视图；
39.图3是本实用新型实施例的弧形玻璃真空磁控溅射镀膜的装置的镀膜示意图。
40.附图标记
41.定型框架10，不锈钢板11，不锈钢板卡槽12，螺杆13，加强筋14，辅助钢板15，真空泵20，限位块30，不锈钢挡板40，加热罩50，加热管60，磁控溅射镀膜阴极70，运动系统80，弧形玻璃90。
具体实施方式
42.以下将配合附图及实施例来详细说明本实用新型的实施方式，借此对本实用新型如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。
43.请一并参考图1至图3，图1是本实用新型实施例的弧形玻璃真空磁控溅射镀膜的装置示意图；图2是本实用新型实施例的定型框架俯视图；图3是本实用新型实施例的弧形玻璃真空磁控溅射镀膜的装置的镀膜示意图。
44.如图所示，一种弧形玻璃真空磁控溅射镀膜的装置，包括：定型框架10，定型框架10架设于真空泵20内，具有弧度支撑弧形玻璃90的不锈钢板11，不锈钢板11中央具有容置弧形玻璃90的不锈钢板卡槽12，且不锈钢板卡槽12周围焊接止抵弧形玻璃90的限位块30；不锈钢挡板40，不锈钢挡板40固定于定型框架10四周，且围设定型框架10；加热罩50，加热罩50对应不锈钢挡板40，且位于定型框架10上侧；加热管60，加热管60安装于加热罩50内，且对准下侧的弧形玻璃90；磁控溅射镀膜阴极70，磁控溅射镀膜阴极70位于定型框架10下侧，且由运动系统80驱动旋转。
45.在本实用新型一实施方式中，定型框架10通过在不锈钢板11上开设不锈钢板卡槽12，支撑架设弧形玻璃90，完成弧形玻璃90的稳定支撑，同时在其周围边缘安装限位块30，进一步限位固定弧形玻璃90，加强稳定。不锈钢挡板40通过角铁焊接，围设在定型框架10的四周，形成围挡，且紧靠在上侧加热罩50下方，通过加热管60不断加热，能够将热辐射充分吸收保温在弧形玻璃90的表面，防止溢散，提高了保温效率。磁控溅射镀膜阴极70位于定型框架10的下侧，通电之后通过贯穿的不锈钢板卡槽12完成磁控溅射，下端的运动系统80则根据弧形玻璃90的形状需求完成旋转运动，提高镀膜的均匀性。
46.值得一提的是，本实用新型的不锈钢板卡槽12相对两侧分别焊接角铁，且角铁用于连接螺杆13，螺杆13通过拧动两端的螺母产生拉力，调整不锈钢板11的弧度，以此适应弧形玻璃90的弧度需求，无需另外设计承载的模具，采用螺杆13控制与弧形玻璃90的吻合度，调节灵活，不易变形，且适用广泛。
47.优选一实施方式中，不锈钢挡板40设置有加强筋14，提高不锈钢挡板40焊接之后的稳定性及强度，避免在真空泵20内受热变形。
48.需要了解的是，不锈钢挡板40高度高于弧形玻璃90高度，充分容纳弧形玻璃90，提高保温效率，且弧形玻璃90由加热罩50罩设，充分受热。
49.本实用新型的不锈钢板卡槽12与弧形玻璃90仿形，且根据弧形玻璃90尺寸进行裁切，保证一致性，提高弧形玻璃90的产品镀膜质量。
50.另外，定型框架10左右两侧还具有焊接不锈钢板11的辅助钢板15，辅助钢板15周围固定不锈钢板挡板40，延伸长度，保证工装整体的稳定性，另外也方便弧形玻璃90的装
卸。
51.本实用新型的运动系统80设置为电机驱动的主轴，主轴连接磁控溅射镀膜阴极70，驱动方便，使用范围广。
52.本实用新型提供具体以下实施步骤：
53.2.1根据弧形玻璃90的外形二维图，将1mm不锈钢板11切割成型；
54.2.2采用30*30mm角铁根据玻璃形状进行焊接成型；
55.2.3在成型的角铁与不锈钢板11上进行打孔；
56.2.4将螺杆13穿入角铁与不锈钢板11孔内，将弧形玻璃90放置在不锈钢板卡槽12内；
57.2.5螺帽穿入螺杆13固定在角铁和不锈钢板11上；
58.2.6采用活动扳手调整螺帽位置带动螺杆13产生拉力调整不锈钢板11与弧形玻璃90吻合度；
59.2.7量取固定长、宽、高的角铁并进行焊接，形成镀膜工装的框架；
60.2.8将不锈钢板11居中焊接在镀膜工装的框架上；
61.2.9玻璃放置在不锈钢板卡槽12内，在玻璃一周安装限位块30进行玻璃固定；
62.2.10工装两侧焊接加强筋14，可进行玻璃装卸。
63.2.11将镀膜工装推入真空泵20,确认工装将玻璃完全罩在加热罩50正下方并与之对齐；
64.2.12.根据玻璃的弧形尺寸进行编辑磁控溅射镀膜阴极70运动轨迹，完成镀膜工作。
65.综上所述，本实用新型采用此装置解决了弧形玻璃在真空磁控溅射镀膜保温过程中玻璃表面受热不均匀，工装易变形，工装外形差异性大的问题，能在工作现场根据不同弧形玻璃进行模块化式生产。
66.上述说明示出并描述了本实用新型的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述实用新型构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围，则都应在本实用新型所附权利要求的保护范围内。