一种晶圆用压力喷淋装置的制作方法

1.本实用新型涉及化学机械抛光技术领域，尤其涉及一种晶圆用压力喷淋装置。


背景技术：

2.化学机械抛光是集成电路制造中获得全局平坦化的一种超精密表面加工工艺；随着集成电路制造技术的发展，对晶圆表面缺陷的控制越来越严格；在晶圆制造过程中，为了保证晶圆材料切割表面的洁净程度，集成电路的制造工艺中存在数百道清洗工序，清洗工序占了整个制造过程的20％；传统的晶圆在生产切割过程中，需要用到压力喷淋喷洒正在切割的晶圆表面，达到去除切割过程中晶圆表面附着的残屑；但是现有的喷淋装置长时间使用后由于水中自带的水质容易的堵塞喷水孔，导致喷淋装置喷水量减少，导致晶圆表面残屑，影响晶圆生产后续的加工；对此本实用新型提供一种晶圆用压力喷淋装置来解决上述问题。


技术实现要素：

3.根据以上技术问题，本实用新型提供一种晶圆用压力喷淋装置，其特征在于包括喷洒壳、流砂管、固定座、出流板、观察镜、挡板、六角螺母，所述喷洒壳上侧设置有流砂管，所述流砂管外侧套装有固定座，所述喷洒壳右侧设置有出流板，所述出流板内开设有出流孔，所述喷洒壳内通过螺栓安装有挡板，所述喷洒壳下侧开设有凹槽，且喷洒壳的凹槽外侧设置有螺纹孔，所述凹槽内设置有观察镜，所述螺纹孔内设置有六角螺母。
4.所述喷洒壳通过六角螺母与外界固定架固定。
5.所述挡板与喷洒壳成45
°
至60
°
斜角，所述挡板为滤网型结构。
6.所述固定座内开设有安装孔，所述流砂管通过固定座内的安装孔与外界水箱固定连接。
7.本实用新型的有益效果为：本实用新型通过在喷洒壳内设置有挡板，使其挡板与喷洒壳成45
°
至60
°
斜角，并且使挡板为滤网型结构；在使用时，冲洗水由流砂管灌入，通过高压水进入到喷洒壳内，再由喷水壳中的挡板对其冲洗水进行过滤，过滤完成后的水由出流板中的出流孔喷出对其加工中的晶圆进行冲洗；本实用新型通过设置挡板，能使挡板过滤冲洗水中的沙石，防止出流板中的出流孔堵塞；并且再在喷洒壳下侧设置有观察镜，能方便操作人员随时对喷洒壳内的挡板进行观察，方便操作人员定期对挡板进行拆卸清洗，提高了其实用性。
附图说明
8.图1为本实用新型结构示意图；
9.图2为本实用新型剖视图；
10.图3为本实用新型仰视图。
11.如图，1-喷洒壳、2-流砂管、3-固定座、4-出流板、5-观察镜、6-挡板、7-六角螺母、
8-螺纹孔。
具体实施方式
12.实施例1
13.本实用新型提供一种晶圆用压力喷淋装置，其特征在于包括喷洒壳1、流砂管2、固定座3、出流板4、观察镜5、挡板6、六角螺母7，喷洒壳1上侧设置有流砂管2，流砂管2外侧套装有固定座3，喷洒壳1右侧设置有出流板4，出流板4内开设有出流孔，喷洒壳1内通过螺栓安装有挡板6，喷洒壳1下侧开设有凹槽，且喷洒壳1的凹槽外侧设置有螺纹孔8，凹槽内设置有观察镜5，螺纹孔8内设置有六角螺母7。
14.喷洒壳1通过六角螺母7与外界固定架固定。
15.挡板6与喷洒壳1成45
°
至60
°
斜角，挡板6为滤网型结构。
16.固定座3内开设有安装孔，流砂管2通过固定座3内的安装孔与外界水箱固定连接。
17.实施例2
18.本实用新型通过在喷洒壳1内设置有挡板6，使其挡板6与喷洒壳1成45
°
至60
°
斜角，并且使挡板6为滤网型结构；在使用时，冲洗水由流砂管2灌入，通过高压水进入到喷洒壳1内，再由喷水壳中的挡板6对其冲洗水进行过滤，过滤完成后的水由出流板4中的出流孔喷出对其加工中的晶圆进行冲洗；本实用新型通过设置挡板6，能使挡板6过滤冲洗水中的沙石，防止出流板4中的出流孔堵塞；并且再在喷洒壳1下侧设置有观察镜5，能方便操作人员随时对喷洒壳1内的挡板6进行观察，方便操作人员定期对挡板6进行拆卸清洗，提高了其实用性。
19.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本实用新型提到的各个部件为现有领域常见技术，本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.一种晶圆用压力喷淋装置，其特征在于包括喷洒壳、流砂管、固定座、出流板、观察镜、挡板、六角螺母，所述喷洒壳上侧设置有流砂管，所述流砂管外侧套装有固定座，所述喷洒壳右侧设置有出流板，所述出流板内开设有出流孔，所述喷洒壳内通过螺栓安装有挡板，所述喷洒壳下侧开设有凹槽，且喷洒壳的凹槽外侧设置有螺纹孔，所述凹槽内设置有观察镜，所述螺纹孔内设置有六角螺母。2.按照权利要求1所述的一种晶圆用压力喷淋装置，其特征在于所述喷洒壳通过六角螺母与外界固定架固定。3.按照权利要求1所述的一种晶圆用压力喷淋装置，其特征在于所述挡板与喷洒壳成45
°
至60
°
斜角，所述挡板为滤网型结构。4.按照权利要求1所述的一种晶圆用压力喷淋装置，其特征在于所述固定座内开设有安装孔，所述流砂管通过固定座内的安装孔与外界水箱固定连接。

技术总结
本实用新型提供一种晶圆用压力喷淋装置，其特征在于包括喷洒壳、流砂管、固定座、出流板、观察镜、挡板、六角螺母，所述喷洒壳上侧设置有流砂管，所述流砂管外侧套装有固定座，所述喷洒壳右侧设置有出流板，所述出流板内开设有出流孔，所述喷洒壳内通过螺栓安装有挡板，所述喷洒壳下侧开设有凹槽，且喷洒壳的凹槽外侧设置有螺纹孔，所述凹槽内设置有观察镜，所述螺纹孔内设置有六角螺母；本实用新型通过设置挡板，能使挡板过滤冲洗水中的沙石，防止出流板中的出流孔堵塞；并且再在喷洒壳下侧设置有观察镜，能方便操作人员随时对喷洒壳内的挡板进行观察，方便操作人员定期对挡板进行拆卸清洗，提高了其实用性。提高了其实用性。提高了其实用性。


技术研发人员：孟庆雨
受保护的技术使用者：唐山联威科技有限公司
技术研发日：2021.12.29
技术公布日：2022/5/29