一种蓝宝石晶片表面涂布用旋涂装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种旋涂装置，具体为一种蓝宝石晶片表面涂布用旋涂装置，属于蓝宝石晶片加工技术领域。


背景技术：

2.蓝宝石，是刚玉宝石中除红宝石之外，其它颜色刚玉宝石的通称，主要成分是氧化铝，可用于生产蓝宝石晶片，蓝宝石晶片在加工时需在表面涂覆涂层，在涂覆涂层时需用到旋涂装置。
3.现有的旋涂装置多数为固定式结构，不便于对不同型号的蓝宝石晶片进行夹持固定，且在旋涂完成后，不便于进行取出，工作人员手动抠出易对涂层造成损坏，在对蓝宝石进行涂液后，需等待自然风干，降低了涂液效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种蓝宝石晶片表面涂布用旋涂装置，可控制涂液的供给量并对涂液进行均匀刮平，微型电动伸缩杆可对加工后的晶片进行顶出，便于拿取，可对涂液后的晶片进行快速吹干，不需等待自然风干。
5.本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种蓝宝石晶片表面涂布用旋涂装置，包括工作柜，所述工作柜内部设有液压油缸，所述液压油缸底部固定连接有横板，所述横板底部两侧固定连接有连接杆，所述连接杆底部固定连接有安装板，所述安装板顶部固定连接有涂液箱，所述涂液箱底部贯穿安装板固定连接有滴液管，所述滴液管下方设有旋涂盘，所述旋涂盘底部固定连接有顶出箱，所述顶出箱底部固定连接有托板，所述托板下方设有支架，所述支架底部固定连接有伺服电机，所述伺服电机输出端与托板底部固定连接。
6.优选的，所述工作柜底部固定连接有工作台，所述工作台底部固定连接有底座，所述底座两侧转动连接有密封门，所述底座底部四角处固定连接有支腿。
7.优选的，所述底座内部固定连接有隔板，所述隔板侧壁与底座内壁之间滑动连接有收纳板，所述收纳板顶部固定连接有晶片收纳槽。
8.优选的，所述滴液管外围固定连接有计量泵，所述滴液管底部固定连接有涂液喷头，所述涂液喷头外围固定连接有电磁阀。
9.优选的，所述安装板底部一侧固定连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆末端固定连接有支撑柱，所述支撑柱顶部固定连接有滑块，所述滑块顶部滑动连接有滑轨，所述滑轨与安装板底部固定连接，所述支撑柱底部固定连接有微型油缸，所述微型油缸底部固定连接有刮板。
10.优选的，所述旋涂盘包括外环与内环，所述外环内壁处固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆末端贯穿内环固定连接有弧形夹持板，所述弧形夹持板侧壁固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧一侧固定连接有软质夹持垫。
11.优选的，所述顶出箱顶部为开口式结构，所述顶出箱内部固定连接有竖板，所述竖板一侧固定连接有支板，所述支板之间设有微型电动伸缩杆，所述微型电动伸缩杆顶部固定连接有顶出置放台，所述顶出置放台顶部位于旋涂盘内部，所述顶出置放台底部两侧固定连接有限位杆，所述限位杆与支板滑动连接。
12.优选的，所述工作柜内壁固定连接有鼓风机，所述鼓风机一侧通过管道固定连接有吸入管道，所述吸入管道末端固定连接有过滤集气板，所述鼓风机另一侧固定连接有吹气管道，所述吹气管道上固定连接有节流阀。
13.本实用新型的有益效果是：
14.本实用新型通过设置第一电动伸缩杆可带动支撑柱进行水平移动，从而使刮板可进行同步移动，便于对蓝宝石晶片表面的涂液进行均匀刮平，提高涂液效果，通过设置计量泵可对涂液量进行精准控制，电磁阀可避免涂液完成后，涂液喷头内部的残留涂液滴落，影响蓝宝石晶片的涂液效果，通过设置第二电动伸缩杆可对弧形夹持板的夹持范围进行调整，便于对不同型号的蓝宝石晶片进行稳定夹持，避免旋转过程中，蓝宝石晶片发生脱落，通过设置缓冲弹簧与软质夹持垫可避免弧形夹持板的夹持力度过大，对蓝宝石晶片造成损坏，通过在顶出箱内部设置微型电动伸缩杆可对顶出置放台的高度进行调整，便于对加工后的蓝宝石晶片进行顶出，不需工作人员手动抠出，便于拿取，顶出置放台底部设置的限位杆可提高顶出置放台的运动平稳度，避免晃动，通过设置鼓风机可对涂液后的蓝宝石晶片进行快速吹干，不需等待自然风干，提高了涂液效率。
附图说明
15.图1是本实用新型的整体结构示意图。
16.图2是本实用新型的a处放大图。
17.图3是本实用新型的旋涂盘结构示意图。
18.图4是本实用新型的顶出箱内部结构示意图。
19.图中标号：1、工作柜；2、液压油缸；3、安装板；4、涂液箱；5、滴液管；6、旋涂盘；7、顶出箱；8、伺服电机；9、底座；10、收纳板；11、计量泵；12、涂液喷头；13、电磁阀；14、第一电动伸缩杆；15、微型油缸；16、刮板；17、外环；18、内环；19、第二电动伸缩杆；20、弧形夹持板；21、缓冲弹簧；22、软质夹持垫；23、微型电动伸缩杆；24、顶出置放台；25、限位杆；26、鼓风机。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.实施例1，请参阅图1-4所示，一种蓝宝石晶片表面涂布用旋涂装置，包括工作柜1，所述工作柜1内部设有液压油缸2，所述液压油缸2底部固定连接有横板，所述横板底部两侧固定连接有连接杆，所述连接杆底部固定连接有安装板3，所述安装板3顶部固定连接有涂液箱4，所述涂液箱4底部贯穿安装板3固定连接有滴液管5，所述滴液管5下方设有旋涂盘6，
所述旋涂盘6底部固定连接有顶出箱7，所述顶出箱7底部固定连接有托板，所述托板下方设有支架，所述支架底部固定连接有伺服电机8，所述伺服电机8输出端与托板底部固定连接。
22.具体而言，所述工作柜1底部固定连接有工作台，所述工作台底部固定连接有底座9，所述底座9两侧转动连接有密封门，所述底座9底部四角处固定连接有支腿。
23.具体而言，所述底座9内部固定连接有隔板，所述隔板侧壁与底座9内壁之间滑动连接有收纳板10，所述收纳板10顶部固定连接有晶片收纳槽。
24.具体而言，所述滴液管5外围固定连接有计量泵11，所述滴液管5底部固定连接有涂液喷头12，所述涂液喷头12外围固定连接有电磁阀13，通过设置计量泵11可对涂液量进行精准控制，电磁阀13可避免涂液完成后，涂液喷头12内部的残留涂液滴落，影响蓝宝石晶片的涂液效果。
25.具体而言，所述安装板3底部一侧固定连接有第一电动伸缩杆14，所述第一电动伸缩杆14末端固定连接有支撑柱，所述支撑柱顶部固定连接有滑块，所述滑块顶部滑动连接有滑轨，所述滑轨与安装板3底部固定连接，所述支撑柱底部固定连接有微型油缸15，所述微型油缸15底部固定连接有刮板16，通过设置第一电动伸缩杆14可带动支撑柱进行水平移动，从而使刮板16可进行同步移动，便于对蓝宝石晶片表面的涂液进行均匀刮平，提高涂液效果。
26.具体而言，所述旋涂盘6包括外环17与内环18，所述外环17内壁处固定连接有第二电动伸缩杆19，所述第二电动伸缩杆19末端贯穿内环18固定连接有弧形夹持板20，所述弧形夹持板20侧壁固定连接有缓冲弹簧21，所述缓冲弹簧21一侧固定连接有软质夹持垫22，通过设置第二电动伸缩杆19可对弧形夹持板20的夹持范围进行调整，便于对不同型号的蓝宝石晶片进行稳定夹持，避免旋转过程中，蓝宝石晶片发生脱落，通过设置缓冲弹簧21与软质夹持垫22可避免弧形夹持板20的夹持力度过大，对蓝宝石晶片造成损坏。
27.具体而言，所述顶出箱7顶部为开口式结构，所述顶出箱7内部固定连接有竖板，所述竖板一侧固定连接有支板，所述支板之间设有微型电动伸缩杆23，所述微型电动伸缩杆23顶部固定连接有顶出置放台24，所述顶出置放台24顶部位于旋涂盘6内部，所述顶出置放台24底部两侧固定连接有限位杆25，所述限位杆25与支板滑动连接，通过在顶出箱7内部设置微型电动伸缩杆23可对顶出置放台24的高度进行调整，便于对加工后的蓝宝石晶片进行顶出，不需工作人员手动抠出，便于拿取，顶出置放台24底部设置的限位杆25可提高顶出置放台24的运动平稳度，避免晃动。
28.实施例2，请参阅图1，本实施例与实施例1的区别在于：所述工作柜1内壁固定连接有鼓风机26，所述鼓风机26一侧通过管道固定连接有吸入管道，所述吸入管道末端固定连接有过滤集气板，所述鼓风机26另一侧固定连接有吹气管道，所述吹气管道上固定连接有节流阀，通过设置鼓风机26可对涂液后的蓝宝石晶片进行快速吹干，不需等待自然风干，提高了涂液效率。
29.本实用新型在使用时，通过设置第一电动伸缩杆14可带动支撑柱进行水平移动，从而使刮板16可进行同步移动，便于对蓝宝石晶片表面的涂液进行均匀刮平，提高涂液效果，通过设置计量泵11可对涂液量进行精准控制，电磁阀13可避免涂液完成后，涂液喷头12内部的残留涂液滴落，影响蓝宝石晶片的涂液效果，通过设置第二电动伸缩杆19可对弧形夹持板20的夹持范围进行调整，便于对不同型号的蓝宝石晶片进行稳定夹持，避免旋转过
程中，蓝宝石晶片发生脱落，通过设置缓冲弹簧21与软质夹持垫22可避免弧形夹持板20的夹持力度过大，对蓝宝石晶片造成损坏，通过在顶出箱7内部设置微型电动伸缩杆23可对顶出置放台24的高度进行调整，便于对加工后的蓝宝石晶片进行顶出，不需工作人员手动抠出，便于拿取，顶出置放台24底部设置的限位杆25可提高顶出置放台24的运动平稳度，避免晃动，通过设置鼓风机26可对涂液后的蓝宝石晶片进行快速吹干，不需等待自然风干，提高了涂液效率。
30.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
31.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。